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      • KCI등재후보

        LTCC 기술을 이용한 MEMS 소자 진공 패키징

        전종인,최혜정,김광성,이영범,김무영,임채임,황건탁,문제도,최원재 한국마이크로전자및패키징학회 2003 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.10 No.1

        MEMS 소자는 현재의 전자산업환경에서 여러 요구조건을 만족시킬 수 있는 특징을 갖추고 있으며 이러한 MEMS 소자를 이용한 MEMS 구조물의 packaging 방법에 있어서는 내부 MEMS 소자의 동작을 위한 외부 환경으로부터의 보호를 위하여 Hermetic sealing에 대한 요구를 충분히 만족시켜야 한다. 본 논문에서는 이와 같은 MEMS device의 진공 패키지를 구현함에 있어서 기판내부에 수동소자를 실장할 수 있는 LTCC 기술$^{1)}$ 을 이용하여 진공 패키징하는 방법에 대하여 소개한다. 본 기술을 이용하는 경우 기존의 Hermetic sealing이외에 향후 적층 기판 내부에 수동소자를 내장시켜 배선 길이 및 노이즈 성분을 감소시켜 더욱 전기적 성능을 향상시킬 수 있는 장점이 있게된다. 본 논문에서는 LTCC기판을 이용하여 패키징 시킨 후, 내부 진공도에 영향을 줄 수 있는 계면들에서의 시간에 따른 진공도 변화로부터 leakage rate를 측정 (stacked via : $4.1{\pm}1.11{\times}10^{-12}$/Torr1/sec, LTCC 기판/AgPd/solder/Cu의 여러 가지 계면구조: $3.4{\pm}0.33{\times}10^{-12}$/ Torrl/sec)하여 LTCC 기판의 Hermetic sealing 특성에 관하여 조사하였다. 실제 적용의 한 예로 LTCC 기술을 이용하여 Bolometer를 성공적으로 진공패키징할 수 있었으며 실제 관찰된 이미지를 함께 소개한다. In the current electronic technology atmosphere, MEMS (Microelectromechanical System) technology is regarded as one of promising device manufacturing technologies to realize market-demanding device properties. In the packaging of MEMS devices, the packaged structure must maintain hermeticity to protect the devices from a hostile atmosphere during their operations. For such MEMS device vacuum packaging, we introduce the LTCC (Low temperature Cofired Ceramic) packaging technology, in which embedded passive components such as resistors, capacitors and inductors can be realized inside the package. The technology has also the advantages of the shortened length of inner and surface traces, reduced signal delay time due to the multilayer structure and cost reduction by more simplified packaging processes owing to the realization of embedded passives which in turn enhances the electrical performance and increases the reliability of the packages. In this paper, the leakage rate of the LTCC package having several interfaces was measured and the possibility of LTCC technology application to MEMS devices vacuum packaging was investigated and it was verified that improved hermetic sealing can be achieved for various model structures having different types of interfaces (leak rate: stacked via; $4.1{\pm}1.11{\times}10^{-12}$/ Torrl/sec, LTCC/AgPd/solder/Cu-tube; $3.4{\pm}0.33{\times}10^{-12}$/ Torrl/sec). In real application of the LTCC technology, the technology can be successfully applied to the vacuum packaging of the Infrared Sensor Array and the images of light-up lamp through the sensor way in LTCC package structure was presented.

      • KCI등재
      • 200m 수영 경기의 기록향상을 위한 훈련방안에 관한 연구

        전종,강병길,이규승,오인석 忠南大學校體育科學硏究所 1995 體育科學硏究誌 Vol.13 No.1

        The purpose of this paper is to provide elementary data for the adequate program by comparing and analying the intensity of training during the contest and training. The subject is composed of eight(8) swimmers who are participating in the training program in Taejon City. The results of the experiments are as follows: (1) The training for the 200m crawl and back stroke must be done in different ways (2) The personal differences of the athletes must be considered when the training for the contests are being conducted. (3) The must influential factor for the crawl and back stroke contest is the training of 150m. and for the other distances intensified trainings are needed. (4) More than six(6) times of repetitive trainings are necessary for the crawl and eight times for the back stroke and the more intensified training is needed for the training less the eight times in back stroke.

      • KCI등재

        중량줄넘기 운동의 생리적 효과

        전종 한국운동과학회 1997 운동과학 Vol.6 No.1

        중량줄넘기 운동의 생리적 효과. 운동과학, 제6권 제1호, 1-12, 1977. 중량줄넘기 운동훈련의 생리적 효과를 규명코자 운동훈련 경험이 없는 14명의 남자 중학생을 한 집단 7명씩 일반 및 중량줄넘기 운동훈련 집단에 무선배정하고 이들을 대상으로 각각 무게 200g의 일반줄넘기 및 무게 500g의 중량줄넘기 운동훈련을 1일 5분간, 주 6회 빈도로 6주간 실시하였다. 일반 및 중량줄넘기운동시의 평균 운동강도는 각각 75.8% 및 82.2% HRreserve였다. 준최대 부하운동에 대한 호흡순환계 반응과 근력, 근파워 및 무산소성 운동역치 등을 운동훈련전 측정치들과 비교하고 훈련집단 간에도 비교 관찰하였던 바, 각 평균치의 차의 유의성을 t(independent, paired t) 검정법을 이용하여 p<.05의 유의수준에서 규명하여 다음의 결론을 얻었다. 장기적인 줄넘기 운동훈련으로 비훈련자의 무산소성 운동역치가 개선되고 동일강도 준최대 부하운동시의 V˙E, V˙O₂, V˙CO₂, R, HR 등의 요인이 저하된다. 비훈련자의 악력과 하지근 파워도 줄넘기 운동훈련으로 개선될 수 있다. 이상과 같은 줄넘기 운동의 생리적 효과는 일반 줄넘기 운동훈련보다 중량줄넘기 운동훈련의 경우가 보다 우수하다. The effects of weighted rope skipping training on the Physiological factors. Exercise Science, 6(1): 1-12, 1977. The purpose was to study the effects of weighted rope skipping training on the physiological factors. Fourteen untrained middle school boys were assigned into one of the two rope skipping groups : general rope(200g) skipping(GRS, N=7) and weighted rope(500g) skipping group(WRS, N=7). 75.8% and 82.2%HRreserve were the training intensity of GRS and WRS, respectively. The rate, duration, and frequency of rope skipping were 1 times/sec., 5 min/day, and 6 days/week, respectively. The cardiorespiratory responses to submaximal traemill running, anaerobic threshold, grip strength, and muscle power were measured before and after 6 weeks of the training period. Data were tested(p<.05) with paired and independent t. V˙E, V˙O₂, V˙CO₂, R, and HR response to submaximal treadmill running after GRS and WRS training were decreased significantly. Grip strengrh was improved significantly with GRS and WRS training. But anaerobic threshold and muscle power were improved signiflcantiy with only WRS training.

      • KCI등재

        반복되는 동하중에 의한 구조물 상부바닥 균열 감소를 위한 진동저감 연구

        전종균(Chun, C.K.),박삼진(Park, S.J.),박상곤(Park, Sang-Gon),김도영(Kim, Do-Young) 한국산학기술학회 2011 한국산학기술학회논문지 Vol.12 No.4

        본 연구에서는 반복되는 동하중에 의한 구조물 상부바닥에 나타나는 균열에 대한 연구를 수행하였다. 물류 센터 상층 바닥슬라브에 균열발생 원인으로 의심되는 지게차의 진동이 향후 운영상에 문제가 되고 있다. 따라서 본 연구에서는 주요지점에서 지게차의 운행/적하차시 발생하는 진동을 측정 및 분석 하였다. 측정된 진동을 바탕으로 진 동허용규제치와 비교분석한 결과, 허용규제치를 초과하는 과도진동으로 판명되어 구조적 균열의 원인을 규명하였다. 또한 측정 결과 값을 바탕으로 범용 유한요소모델링 및 해석을 통해 진동저감을 위한 영향성을 평가하였다. 이에 따 른 대책방안을 제시하였으며, 대책 안 시공 후 진동저감효과를 검증할 수 있었다. In this study, we investigate the cracks that formed on the upper floor of the structures due to continuous dynamic loading. We explain the cause of floor slab cracks on the upper floor of the distribution center and discuss preventive measures that can enhance the center’s functions and security. In order to explain how a forklift's excessive vibration can cause the cracks, we have measured and analyzed the vibration during a forklift's operation and discovered that the cracks form because the vibration exceeds the vibration criteria. Using a finite element modeling on such results, we have come up with optimal methods to reduce the vibration and confirmed their validity by measuring the vibration after implementing our methods.

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