Chalcogenization-Derived Band Gap Grading in Solution-Processed CuIn_<i>x</i>Ga_1–<i>x</i>(Se,S)₂ Thin-Film Solar Cells

Park, Se Jin,Jeon, Hyo Sang,Cho, Jin Woo,Hwang, Yun Jeong,Park, Kyung Su,Shim, Hyeong Seop,Song, Jae Kyu,Cho, Yunae,Kim, Dong-Wook,Kim, Jihyun,Min, Byoung Koun American Chemical Society 2015 ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES Vol.7 No.49

<P>Significant enhancement of solution-processed CuInxGa1-x(Se,S)(2) (CIGSSe) thin-film solar cell performance was achieved by inducing a band gap gradient in the film thickness, which was triggered by the chalcogenization process. Specifically, after the preparation of an amorphous mixed oxide film of Cu, In, and Ga by a simple paste coating method chalcogenization under Se vapor, along with the flow of dilute H2S gas, resulted in the formation of CIGSSe films with graded composition distribution: S-rich top, In- and Se-rich middle, and Ga- and S-rich bottom. This uneven compositional distribution was confirmed to lead to a band gap gradient in the film, which may also be responsible for enhancement in the open circuit voltage and reduction in photocurrent loss, thus increasing the overall efficiency. The highest power conversion efficiency of 11.7% was achieved with J(sc) of 28.3 mA/cm(2), V-oc of 601 mV, and FF of 68.6%.</P>

A Comparative Study of Nanoparticle-Ink-Based CIGSSe Thin Film Solar Cells on Different Back Contact Substrates

Se Jin Park,Jin Woo Cho,Gi Soon Park,Jae Seung Jeong,김지현,고두현,황윤정,민병권 대한화학회 2016 Bulletin of the Korean Chemical Society Vol.37 No.3

The effect of the back contact electrode in nanoparticle-ink-based CIGSSe solar cells was investigated using different glass substrates with either a fluorine-doped SnO2 (FTO) conducting layer or a molybdenum (Mo) conducting layer. The morphologies, crystal structures, and compositional distributions of the Cu(In x Ga1– x )(S y Se1– y )2(CIGSSe) films are very similar in spite of the different back contact materials. The observed performances of the solar cell device, however, are somewhat different. The device that was fabricated on the FTO back contact substrate revealed a lower open-circuit voltage ( V oc) and fill factor (FF) than the Mo back contact substrate, resulting in lower solar cell efficiencies (6.5% for FTO and 7.4% for Mo). The differences between the behaviors are attributed to the interfacial properties between the CIGSSe film and the back contact electrode.

미백보조광 조사가 치아미백의 효과에 미치는 영향

박종현,신혜진,박덕영,박세희,김진우,조경모 대한치과보존학회 2009 Restorative Dentistry & Endodontics Vol.34 No.2

The aim of this study was to evaluate the influence of light energy on the tooth whitening effect of bleaching agent in vitro. Extracted human mandibular molars were sectioned to 2 fragments(mesial distal) and lingual portions of crown were used in this study. All specimens were stained using a red wine for 24 hours and immersed in artificial saliva. Specimens divided into four groups, group 1 and 2 light-activated by LumaCool (LED, LumaLite. Inc. Spring Valley, USA) group 3 and 4 light-activated by FlipoWhite2 (Plasma acr lamp, Lokki Australia) Group 1 and 3 bleached with LumaWhite(LumaLite, Inc.. Spring Valley USA), group 2 and 4 bleached with Polaoffice(SDI, Victoria, Australia). Bleaching treatment Performed during 10 minutes every 24 hours and repeated 6 times. During bleaching treatment, distal fragments was light-activated(L) but mesial fragments was not(NL). Shade assessment employed before and after bleaching treatment using spectrophotemeter. The results of the change in shade was compared and analysed between NL and L by using paired-sample T test with 95 % level of confidence. There were no significant differences between NL and L with a few exceptions. In group 2, a^(*) value more change in L, in group 3, b^(*) value more change in L in gioup 4, a(*) value less change in L. After bleaching L^(*) value and ΔE increased in all groups and the value of a^(*) and b^(*) decreased in all groups. Within the limitation of this test conditions, the results of this study indicate that the light energy has no obvious improving impact on the tooth whitening effect of a bleaching agent. 이 연구의 목적은 미백제의 치아미백효과에 미백보조광의 빛에너지의 영향을 평가하는 것이다. 발거된 하악 대구치 치관의 설면을 실험에 사용하였고, 하나의 대구치에서 근심과 원심으로 구분되는 2개의 치아 절편을 얻었다. 모든 시편을 24시간동안 적포도주에 보관하여 착색을 유도하고, 인공타액에 보관하였다. 시편들은 미백광조사기와 미백 powder의 종류에 따라 4개의 실험군으로 나뉘었으며, 실험군은 다음과 같다. Group 1: LumaCool로 광조사를 시행, LumaWhite를 사용 Group 2: LumaCool로 광조사를 시행, Polaoffice를 사용 Group 3: FlipoWhite 2로 광조사를 시행, LumaWhite를 사용 Group 4: FlipoWhite 2로 광조사를 시행, Polaoffice를 사용 미백처치는 10분간 매 24시간마다 총 6회 시행하였고, 미백처치시 동일한 치아에서 얻어진 두 개의 시편 중 원심시편에는 미백광조사를 시행한 반면, 근심시편에는 미백광조사를 시행하지 않았다. 색조의 평가는 spectrophotometer를 사용하여 매 미백처지 전과 후에 시행하였고, 근심측과 원심측에서 얻어진 색조 변화 차이를 paired-sample T test를 이용하여 95%의 신뢰수준으로 비교하였다. 미백처치 후 모든 실험군에서 L^(*) value와 ΔE의 증가와 a^(*) value와 b^(*) value의 감소가 관찰되었다. Group 2 원심절편의 a^(*) value와 group 3 원심절편의 b^(*) value에서의 더 큰 변화와 group 4의 원심절편에서의 a^(*) value가 좀 더 적은 변화를 제외하고, 모든 실험군에서 근심절편과 원심절편사이에서 색조변화의 차이는 통계적 유의성을 보이지 않았다. 이상의 연구 결과에서 미백보조광의 빛에너지는 미백제의 치아미백 효과를 증가시키는 것에 명백한 영향을 주지 않는 것으로 평가되었다.

곰쓸개 복용 후 발생한 육안적 혈뇨와 신유두부 괴사증 1예

김우진,한민석,김수항,박인형,박진석,선제형,홍세인,박옥영,신정현,이숭,신병철 朝鮮大學校 附設 醫學硏究所 2006 The Medical Journal of Chosun University Vol.31 No.3

Renal papillary necrosis occurs most commonly in association with urinary tract infection, diabetes mellitus, sickle cell disease, vascular disease, and analgesic nephropathy. Clinical presentation may be related to symptoms of pyelonephritis such as flank pain, renal colic, hematuria, Proteinuria, recurrent fever. The necrotic tissue may be sloughed off, and the diagnosis can sometimes be made by finding piece of renal medullary tissue in the urine. Pyelography may demonstrate cavities and sinuses in the resion of papillae. Anuria & oliguria can lead to the acute renal failure, and especially prognosis and progress may be affect influenced by urinary infection. We report a case of renal papillary necrosis with ingestion of bear gallbladder. On pyelography, Persistent contrast is diagnostic clue of renal papillary necrosis. This case is not be related to urinary tract infection, but occurred acute renal failure. Expectant treatment was gone.

첫 경련이 간질 중첩증으로 발현된 소아의 특성

박석우(Seok Woo Park),장지연(Ji Yeon Chang),권영세(Young Se Kwon),홍영진(Young Jin Hong),손병관(Byong Kwan Son) 대한소아신경학회 2003 대한소아신경학회지 Vol.11 No.2

목 적 : 간질 중첩증은 신속한 치료를 요하는 신경학적 응급 질환으로 때로는 심각한 신경학적 후유증이 발생할 수 있으므로 원인 질환과 예후에 영향을 미치는 인자들에 대해 정확한 이해가 필요하다. 이에 저자들은 첫 경련이 간질 중첩증으로 발현된 소아의 원인, 임상 양상, 치료, 예후 및 신경학적 후유증의 발생 빈도의 연관 관계를 알아보고자 이 연구를 시행하였다. 방 법 : 1996년 7월부터 2002년 6월까지 인하대학교병원 소아과 및 응급실에서 첫 발작이 간질 중첩증으로 진단받은 1개월에서 5세 사이의 환아 25명을 대상으로 나이에 따른 분포, 원인 질환, 경련 형태, 지속 시간, 사용 약물, 뇌파 및 MRI의 소견, 예후를 기록지를 통하여 후향적으로 분석하였다. 결 과 : 1) 대상 환아의 남녀의 비는 2.1:1이었고 대상 환자 25명 중 남아 17명(68%), 여아 8명(32%)이었으며 연령은 20±1.6개월로 대부분 3세 이상(80%)에서 발생하였다. 2) 경련 형태는 전신 강직-간대형이 60%, 전신 강직형 16%, 부분 간대형이 16%, 부분 발작형이 8%이었다. 3) 원인 질환과 예후는 증후성인 경우가 64%였으며 특발성인 경우가 36%였다. 증후성의 경우 발열이 40%, 중추 신경계 감염이 20%, 허혈성 손상이 4%이었으며 원인 질환이 있는 경우와 그렇지 않은 경우와의 통계학적 유의성은 없었다. 4) 경련의 지속시간은 30분-1시간이 17례(68%), 1-2시간이 4례(16%), 2시간 이상이 4례(16%) 이었다. 지속 시간이 짧을수록 예후가 좋은 경향을 보였다. 5) 사용 약물은 phenobarbital, phenytoin, midazolam, valium, valproic acid이었다. 약물 한 가지로 조절된 경우 13례(52%), 두 가지로 조절된 경우 11례(44%), 세 가지로 조절 된 경우 2례(4%)이었으며 세 군간의 예후를 비교해 보았을 때 한 가지로 조절된 군이 다른 군 보다 예후가 좋은 경향으로 나타났다. 6) 뇌파는 20례에서 시행하였는데 정상 7례(35%)이었고, 13례(65%)는 비정상이었다. 비정상은 전기적인 지속경련을 보인 경우 6례(30%), 배경파 이상을 보인 경우 6례(30%), 국소적인 간질파를 보인 경우 1례(5%)이었다. MRI는 19례에서 시행하였는데 정상 소견 10례(53%), 이상 소견 9례(47%)이었다. 7) 원인이 발열인 경우에서의 예후는 정상을 보인 경우가 6례, HHE를 보인 경우가 2례, 복합 부분 발작을 보인 경우가 1례, 정신 지체를 동반한 뇌성 마비가 1례였다. 결 론 : 첫 경련이 간질 중첩증으로 발현된 소아는 대부분 3세 이하였다. 경련 시간이 1시간 이내, 한 가지 항경련제로 경련이 조절되는 경우는 예후가 좋았고, 경련 시간이 1시간 이상이거나, 여러 가지 항경련제를 사용하거나, 원인 질환이 있는 경우는 예후가 나빴다. Purpose : Status epilepticus(SE) is a pediatric and neurologic emergency associated with significant morbidity and mortality. Prompt recognition and management are needed for successful outcomes. We evaluated, clinical manifestations, treatment and prognosis of the patients whose first seizure attacks were presented as SE. Methods : According to the department of pediatrics and the emergency room in Inha University Medical Center, there were a total of 25 children between 1 month and 5 years old who were diagnosed as status epilepticus from July 1996 to June 2002. Also, their medical records were reviewed and analyzed interms of age distribution, accompaning diseases, the types and duration of convulsion, medications, EEG and MRI findings and prognosis. Results : Twenty-five cases were studied. The mean age at the time of the diagnosis was 20±1.6 months and 80% of the patients were less than 3 years old. The most common type of the status epilepticus was generalized tonic clonic seizure comprising 15 cases(60%). 64% of the patients were symptomatic: fever(40%), CNS infection(20%), ischemic injury(4%) while 36% were idiopathic. Seizure attacks were terminated within an hour in seventeen patients(68%) and they controlled by one antiepileptic drug in thirteen patients(52%). Of the 20 EEGs, abnormal findings were shown in 13 cases(65%); namely, electrical seizure(30%), abnormal background(30%), and focal epileptiform discharge(5%). Of the 19 brain MRIs, abnormal findings were shown in 9 cases(47%). Conclusion : The children whose first seizure attack were presented as SE were less than 3 years old. The prognosis is good in that most of the seizure attacks were terminated within an hour and controlled by one epileptic drug. However those seizure attacks with longer duration, multiple antiepileptic druge and underlying causeare had poor prognosis.

Effect of Molybdenum Thin Films with Different Density in Cu(InGa)Se<SUB>2</SUB> Solar Cells

Yunae Cho,Jae Ho Yun,Young-Joo Eo,Kihwan Kim,Soomin Song,Eunseok Cha,Ara Cho,Joo Hyung Park,Se Jin Ahn,Jin Su Yoo,Seung Kyu Ahn,Jun Sik Cho,Jihye Gwak 한국신재생에너지학회 2017 한국신재생에너지학회 학술대회논문집 Vol.2017 No.9

경주지역 여고생의 초경과 체성장간의 관계

김준섭,권오구,박진석,오종수,박정현,박제식,안세한,이용환,서정호,신태섭,최영배,김덕수,이관,박수경 東國大學校醫學硏究所 2002 東國醫學 Vol.9 No.1

본 연구는 경주지역 1개 고등학교 3학년 여고생을 대상으로 초경 시작 전인 초등학교 4학년부터 고등학교 2학년까지의 키, 몸무게, 가슴둘레 수치와 초경 연령을 파악하여 여성의 초경이 빠를수록 체성장 속도의 변화가 있을 것이라는 가설을 기초로 두 요인간의 관련성을 파악하고자 시행되었다. 경주시 1개 여자고등학교 3학년생 총 317명에 대해 ㅊ경 나이, 초경시 심리 상태, 초경이 시작되었을 때의 상담 여부와 상담하였던 사람, 부모 신장과 초경전후의 식사 규칙성, 다이어트 경험, 수면시간, 스트레스, 음주/흡연 여부, 질병력 등에 대한 설문 조사를 시행하였고, 초등학교 4학년부터 고등학교 2학년까지의 키, 몸무게, 가슴둘레에 대한 정보는 건강기록부에서 확보하였다. 상기 대상자 중 건강기록부가 분실된 39명, 초경나이에 대해 응답하지 않았던 29명 및 결석 등으로 조사를 하지 못하였던 42명을 제외한 조사 대상자는 206명으로 선정하였다. 대상자들의 초경연령 평균값(Mean±SD)은 13.0±1.11이었고, 초등학교 4학년부터 고등학교 2학년까지의 초경 이후 신장 성장률은 감소하였으며, 초경연령이 빠른 군이 초등학교 때는 신장에 있어서 우위를 차지하나 고등학교에 오면서 신장은 비슷한 수준이 되었다. 초경후 1-2년 사이에 체중과 흉위의 증가율은 감소하였고, 초경연령이 빠른 군이 초등학교와 고등학교 사이에 체중과 흉위에서 모두 우위를 차지하였다. 본 연구의 결과는, 흔히 이차 성징의 시작 시점 혹은 사춘기의 시작 시점으로 보고있는 초경 연령이 청소년기의 성장과 밀접한 관련성이 있고, 특히 체중과 흉위의 성장 속도와 밀접한 관련성이 있음을 시사한다. To understand the onset of menarche in relation to changes in physical growth that take place during female adolescence, especially the changes in height and weight velocity. The 207 senior in one women high school of Kyongju were investigated in April 3 to 8, 2001. We collected the information, relation in the age at menarche, height & weight of parents, regularity of eating, and obesity diet, duration of sleeping, sickness & stress near age at menarche, by self-recording. The status of height, weight & chest circumference between the 4th grade of primary school and the junior of high school was collected by individual Health Record. The results were followed; The average age at menarche was 12.95±1.11 years old and the most frequent age of menarche is 13 years. After menarche, the velocity of height, weight and chest circumference were decreased. The most rapid group of menarche hold dominant position in height during elementary school. As time passed, they dont hold dominant position in height. The most rapid group of menarche get an advantage in the weight and the girth of chest after elementary school. The height of subjects is directly proportional to the height of their parents. These results suggest that the starting age at menestuation can be closely associated with physical growth and development.

Effects of dietary supplementation of Pediococcus pentosaceus strains from kimchi in weaned piglet challenged with Escherichia coli and Salmonella enterica

송동철,Ji Hwan Lee,Kangheung Kim,오한진,Jae Woo An,Se Yeon Chang,조현아,Sehyun Park,Kyeongho Jeon,Yohan Yoon,유윤정,Younghyun Cho,Jin Ho Cho 한국축산학회 2023 한국축산학회지 Vol.65 No.3

Escherichia coli (E. coli) and Salmonella enterica (SE) infections in pigs are major source associated with enteric disease such as post weaning diarrhea. The aim of this study was to investigate the effects of Pediococcus pentosaceus in weaned piglets challenged with pathogen bacteria. In Experiment.1 90 weaned piglets with initial body weights of 8.53 ± 0.34 kg were assigned to 15 treatments for 2 weeks. The experiments were conducted two trials in a 2 × 5 factorial arrangement of treatments consisting of two levels of challenge (challenge and non-challenge) with E. coli and SE, respectively and five levels of probiotics (Control, Lactobacillus plantarum [LA], Pediococcus pentosaceus SMFM2016-WK1 [38W], Pediococcus acidilactici K [PK], Lactobacillus reuteri PF30 [PF30]). In Experiment.2 a total of 30 weaned pigs (initial body weight of 9.84 ± 0.85 kg) were used in 4 weeks experiment. Pigs were allocated to 5 groups in a randomized complete way with 2 pens per group and 3 pigs per pen. Supplementation of LA and 38W improved (p < 0.05) growth performance, intestinal pathogen bacteria count, fecal noxious odor and diarrhea incidence. In conclusion, supplementation of 38W strains isolated from white kimchi can act as probiotics by inhibiting E. coli and SE.

전치부 반대교합아동의 발음장애에 관한 음향적 연구

박정삼,손동수,이상훈,김진태,한세현,장기택,김종철 大韓小兒齒科學會 1996 大韓小兒齒科學會誌 Vol.23 No.2

It has widely known for speech problem in patients with malocclusion,but there have been insufficient studies on degrees of serverity.Patients with openbite and CIⅢ malocclusion usually have speech problem.It has widly known that fricative /s/ is pronunciated most abnomally in CIⅢ malocclusion than any other consonant.Therefore 20 childen with anterior crossbite selected for control group.7 sounds such as /사(sa),서(sδ),소(so),수(su),스(sω),시(si),세(se)/ were recorded,and the formants and formants ratio were measured by using Sensimetric Speech Station,which is speech analyzing program in IBM pc. The results were as follows: 1.In anterior crossbite group,F1 of all 7 sounds were significantly higher than normal anterior relationship group(P<0.05). 2.There were no significant difference in F2 between two groups except/소(so),수(su)/(P>0.05). 3.In anterior crossbite group,F2/F1 ratio of all 7 sounds were significantly smaller than normal anterior relationship group(P<0.05). 4.There were no significant difference in accordance with tongue position(P>0.05).

첨단 수송장비용 센서 및 응용시스템 개발

朴世光,崔時永,全國鎭,李光萬 경북대학교 센서기술연구소 1997 연차보고서 Vol.1997 No.-

자동차의 안전성 향상과 편리성은 정밀한 기계적 시스템과 첨단 전자 시스템의 조화에 의한 것이다. 현재 자동차의 전자 시스템 중 엔진의 고효율을 위해 엔진유입 공기량, 실린더의 압력, 엔진의 회전수 등을 검출하는 센서부와 사고의 원인인 타이어 펑크를 모니터링하는 시스템이 첨단 수송 장비의 핵심 부품이다. 따라서 이를 개발하기 위해서 1) 자동차용 Air Flow Sensor, 2) 자동차용 엔진 MAP Sensor, 3) 멀터센서 모니터링 시스템, 4) 자동차 실내 환경제어용 센서시스템 개발을 위한 연구를 수행하였다. 자동차용 엔진 공기유량센서를 제작하기 위해서 유한차분법과 SPICE로 시뮬레이션을 수행하고 이 결과로 센서를 설계하였다. 센서의 저항체를 제작하기 위해서 백금박막을 제작하고 각각 조건별로 특성을 조사하여 패터닝이 잘되고 저항값이 크고 온도계수가 큰 조건을 선택하여 센서를 제작하였다. 센서는 lift-off법으로 백금을 패터닝하고 PI-2723을 보호막으로 사용하였다. 구동회로는 정온도형으로 동작하도록 피이드백 회로를 사용하였고, 기준유량계 출력과 일치하도록 피이드백 회로의 출력전압을 증폭하였다. 유체의 온도와 유량을 변화시킬 수 있는 실험장비를 제작하고 기준유량계와 제작한 유량계의 출력을 동시 측정하여 실험결과를 비교하였다. 유량에 대한 실험에서는 증폭한 출력전압은 기준유량계 출력과 거의 일치하였고, 스텝응답과 과도응답에서도 기준유량계 출력과 거의 일치함을 보았다. 자동차용 엔진 MAP Sensor의 연구에서는 SDB 웨이퍼를 이용하여 절대압 압력센서를 제조하였다. 센서의 구조는 두 개의 휫스톤 브릿지 회로와 다이아프램으로 구성되어있다. 두 개의 휫스톤 브릿지중 하나는 다이아프램의 가장자리에 위치하고, 다른 하나는 다이아프램의 가운데 부분에 위치한다. 다이아프램의 공극은 10^-5 Torr의 진공에서 형성시켜 공극안의 공기로 인한 압력센서의 감도에 미치는 온도효과를 줄였다. 이것은 압력센서의 온도보상에 대한 부수적인 방법이다. 본 실험의 주된 온도 보상법은 두 브릿지의 오프셋 전압의 차를 이용한 방법이다. 이 방법을 이용하여 22 ∼ 100℃ 범위에서 온도 영향을 80 %이상 보상할 수가 있었다. 멀티센서 모니터링 시스템 연구에서는 첨단 수송장치용에 적합한 직접 디지털 출력을 갖는 압력 센서와 온도 센서를 멀티 센서에 적합한 형태로 제작하였다. 압력 센서는 PR 희생층과 금속 구조층으로 하는 표면 마이크로머시닝 기술을 이용하여 제작하였으며, 온도 센서는 n-well CMOS 공정을 이용한 substrate PNP BJT 트랜지스터를 이용하여 제작하였다. 이 두 센서를 함께 제작할 수 있는 공정을 개발하였으며 각각소자에 대하여 측정 셋업을 구성하여 측정하였다. 직접 디지털 압력 센서의 출력에 대한 기본적인 동작 특성을 확인하였으며, 제작된 온도 센서의 감도는 1.57 ㎷/℃ 이다. 자동차 실내환경제어용 센서시스템 개발에서는 표준 CMOS 공정기술과 실리콘미세가공기술을 이용하여 자동차 실내환경 제어용 센서시스템을 개발하기 위하여 마이크로 가스유량센서와 습도센서를 설계하고 제조공정을 수행하였다. 가스유량센서의 경우 설계된 칩의 크기는 3 × 3 ㎟이고, 히터 좌우에 6 쌍의 n-poly/p-poly 열전대를 구성하였다. 습도센서의 경우 칩의 크기가 0.8 × 1.2 ㎟이고 단일 n-poly 실리콘히터로만 구성되어 있는 매우 간단한 구조를 하고 있다. 최소의 열용량과 기판 및 페케지를 통한 열손실을 최소화하기 위하여 열적 및 기계적 특성이 우수한 NON 구조의 브릿지형 다이아프램을 실리콘 미세가공 기술을 이용하여 구현하였다. 또한 NON절연막의 열전도특성을 연구하기 위한 측정소자를 설계·제작하고 그 특성을 측정 중에 있다. 마이크로 습도센서의 동작원리를 기술하고 마이크로 열센서를 구동하게 될 구동회로를 설계·검증하고 있으며 CMOS 회로화 하여 센서와 함께 집적된 센서시스템을 구현할 것이다. The improvement of safety and convenience in motor car lies on the harmony of a minute mechanical system and high-tech electric system. Nowadays the core part of the high-tech transport equipment is the system and the sensor part. The system monitors the flat tire that causes accidents and the sensor part detects the air amount of a engine intake, the pressure of the cylinder and the turn number of an engine for high efficiency of engine in car electronic system. In order to develop it, therefore we have studied 1) an air flow sensor for car engine, 2) a pressure sensor for car engine, 3) the system monitoring pressure of car tire. We designed air flow sensor in use of a finite different method and SPICE simulation to make it. In order to make resistors in the sensor, we made platinum thin film and then we tested the characteristics of the thin film in various conditions. So we chose the condition which is patterning better, higher resistor value and higher temperature coefficient. The sensor of platinum thin film was patterned by lift-off method and passivated with PI-2723. We used the feedback circuit to make an operation circuit drive in constant temperature. We amplified the output voltage of the fabricated sensor in accordance with that of a reference flowmeter. We made an equipment to change fluid temperature and flow. We measured the output of the reference flowmeter and the fabricated flow sensor simultaneously, and compared them. In the experiment, the amplified output voltage nearly agree to the output of the reference flowmeter. The absolute pressure sensor using SDB wafer has been fabricated. The structure of the sensor consists of two Wheatstone bridges and a diaphragm. One of the two Wheatstone bridges is located on the edge of diaphragm, and the other is located on the center of diaphragm. The diaphragm cavity is sealed in vacuum(∼10^-5 Torr) to reduce the effect of temperature due to the vapor in the cavity on the sensitivity of pressure sensor. This is the minor method of temperature compensation method. In this experiment the main compensation method is to use the differrence of the two bridge offset voltages. In this method the temperature effect in the range of 22 ℃ ∼ 100 ℃ was compensated over 80 %. We produced a pressure sensor and a temperature sensor, which are suitable for a multi sensor, and have the direct digital output suitable for an advanced transporting equipment. The pressure sensor was fabricated using a surface micromachining technique with a sacrificial PR layer and a structural metal layer. The temperature sensor was fabricated using a substrate PNP BJT made by use of an n-well CMOS process. We developed the process that could produce these two sensors together, organized and estimated the setup about each element. The basic operating characteristics are identified about the direct digital output of the pressure sensor, and the sensitivity of the produced temperature sensor is 1.57㎷/℃ Micro gas-flow sensor and humidity sensor were designed and fabricated using a standard CMOS process technology and silicon micromachining techniques for an Interior Environment of Automotive. The chip size of designed gas-flow sensor is 3 × 3 ㎟ with six pairs of n-poly/p-poly thermocouples around the heater. For the case of the humidity sensor, the size is 0.8 × 1.2 ㎟ with single n-poly silicon heater and simplicity. A bridge type diaphragm of NON structure having an excellent mechanical and thermal properties, was implemented by silicon anisotropic etch. The thermal properties of NON insulator is investigating using by the measurement device that was designed and made specially. The operating principle of micro humidity sensor was described and the driving circuits of the micro thermal sensors were designed and verified. The circuits in CMOS will be integrated into the sensor system with the thermal sensor.