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ECR plasma CVD법에 의한 저유전율 SiOF 박막의 특성
이석형,오경희,Lee, Seok-Hyeong,O, Gyeong-Hui 한국재료학회 1997 한국재료학회지 Vol.7 No.10
본 실험에서는 저유전율 층간절연물질로서 SiOF박막을 ECR plasma CVD를 이용하여 증착하였다. 또한 증착시에 발생시킨 플라즈마의 특성 분석을 위하여 Langmuir probe를 반응챔버에 부착하여 플라즈마 밀도, 마이크로파 전력은 700W, 기판온도는 30$0^{\circ}C$에서 행하였다. 증착된 SiOF 박막을 분석한 결과, 가스유량비(SiF$_{4}$/O$_{2}$)가 0.2에서 1.6으로 증가하였을 때 불소의 함량은 약 5.3at%에서 14.5at%로 증가하였으며, 굴절률은 1.501에서 1.391로 감소하였고 이는 불소 첨가에 의한 박막의 밀도감소에 의한 것으로 생각된다. 또한 박막의 유전상수는 가스유량비가 1.0(11.8qt.% F함유)일 때 3.14였다.
이석형,유재윤,오경희,박종완,Lee, Seok-Hyeong,Yu, Jae-Yun,O, Gyeong-Hui,Park, Jong-Wan 한국재료학회 1997 한국재료학회지 Vol.7 No.11
저유전율 층간절연물질인 불소첨가 SiO$_{2}$박막을 ECR(electron cyclotron resonance) Plasma chemical vapor deposition 법으로 성막하였다. SiOF박막의 증착은 SiF$_{4}$/O$_{2}$의 가스유량비를 변수로하여 0.2에서 1.6까지 변화시켜 증착하였고, 이때 마이크로파 전력은 700W, 기판온도는 30$0^{\circ}C$에서 행하였다. 증착된 SiOF박막의 흡습특성을 알아보기 위하여 Fourier transformed infrared spectroscopy(FTIR)을 이용하여 분석한 결과, 가스유량비 (SiF$_{4}$O$_{2}$)가 0.2 에서 1.6으로 증가하였을 때 Si-Ostretching피크의 위치는 1072$cm^{-1}$ /에서 1088$cm^{-1}$ /로 증가하였으며, Si-F$_{2}$피크는 가스유량비가 1.0이상에서 나타나기 시작하였다. 또한 가스유량비가 0.2에서 0.8까지 변화하여 증착한 시편은 Si-OH 피크가 관찰되지 않았지만 가스유량비가 1.0이상(11.8at.% F함유)의 시편의 경우 Si-OH 피크가 관찰되어 내흡습성이 저하되고 있음을 확인할 수 있었다.
이석형,김현,류범종,강남규,양명석,Lee, Seok-Hyeong,Kim, Hyeon,Ryu, Beom-Jong,Gang, Nam-Gyu,Yang, Myeong-Seok 한국과학기술정보연구원 2001 지식정보인프라 Vol.7 No.-
국가연구개발사업은 연간 4조원이 넘는 국가예산을 연구개발부문에 투자하는 사업으로 이 사업의 효율적인 관리는 국가과학기술 경쟁력 제고에 직결된다. 그러나, 현재 국가연구개발사업의 관리는 부처별로 분산되어 이루어지고 있기 때문에 종합적인 정보자원의 획득과 사업관리에 어려움이 있으며 연구개발사업의 중복투자가 발생되는 문제점이 있다. 이에 국가연구개발사업의 부처간 정보장벽을 해소하고 효율적이고 포괄적인 국가연구개발사업의 기획 및 관리가 이루어지며, 대국민 정보 서비스가 실현된 국가연구개발사업 종합정보시스템이 구축되었다. 이에 본 논문에서는 국가연구개발사업 종합정보시스템 개요에 대해 설명하고, 본 시스템의 성공 요인 및 기대효과에 대해 논하고자 한다.
윤성민,이석형,안태휘,서명원,이상원,김대성,문태영,박성진,윤상준,문지홍,이재구,주종훈,라호원,Sung Min Yoon,Seok Hyeong Lee,Tae Hwi An,Myung Won Seo,Sang Won Lee,Dae Sung Kim,Tae-Young Mun,Sung Jin Park,Sang Jun Yoon,Ji Hong Moon,Jae Goo Lee 한국청정기술학회 2023 청정기술 Vol.29 No.4
세계적으로 석탄은 다른 에너지원에 비해 매장량이 풍부하여 다양한 에너지원으로 사용되고 있다. 기존 석탄 이용 방식에서 발생하는 환경적인 문제를 해결하기 위해 청정 석탄 활용 기술 개발이 이루어지고 있으며 대표적인 기술로 IGCC발전 기술이 있다. IGCC 발전에서 사용되는 석탄은 CMD 공정에서 열풍을 동시에 공급하여 건조, 분쇄가 이루어지고 있으나, 공급되는 열풍의 온도가 너무 높을 경우, 탈휘발, 자연발화 현상이 발생하게 되고 이로 인한 CMD 공정의 안정적인 운전을 저하시킨다. 본 연구에서는 유연탄 9종을 이용하여 탈휘발, 자연발화 개시온도를 측정하고 석탄 특성분석결과와 함께 상관관계를 알아보고자 하였다. 탈휘발 현상의 경우 350 ~ 400 ℃ 사이에서 6종 석탄의 탈휘발이 확인되었고 400 ℃ 이상의 온도에서 3종의 석탄 탈휘발을 확인하였다. 자연발화의 경우 100 ℃ 이하에서 1종의 석탄, 100 ~ 150 ℃ 사이에서 6종의 석탄, 150 ℃ 이상에서 2종 석탄의 자연발화를 확인하였다. 측정한 개시온도를 석탄 분석 결과 중 Oxygen, Moisture, Fe<sub>2</sub>O<sub>3</sub>, CaO, H/C Ratio, O/C Ratio와 비교하여 상관관계를 확인하였다. 회귀분석으로 각 개시온도의 회귀계수와 결정계수를 계산하였으며, FC/VM 데이터의 52.44%가 탈휘발 개시온도에 대해, Fe<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 데이터의 59.10%가 자연발화 개시온도에 대해 영향을 주는 것에 대한 유의한 결과를 확인 하였다. Coal is abundantly available compared to other energy sources and is used as a versatile energy resource worldwide. To address the environmental issues stemming from conventional coal utilization, efforts are underway to develop clean coal utilization technologies, with IGCC technology being a notable example. In IGCC plants, coal is subjected to a CMD process where both drying and pulverization are achieved by supplying hot air. However, if the temperature of the supplied hot air is excessively high, it can lead to devolatilization and spontaneous combustion, thereby compromising the stable operation of the CMD process. This study aimed to measure the devolatilization and spontaneous combustion temperatures of different types of bituminous coal, and to explore their correlations with the characteristics of the coals. Six coal types exhibited devolatilization between 350 and 400 ℃, while three coal types showed devolatilization at temperatures exceeding 400 ℃. Spontaneous combustion ℃curred in one coal type below 100 ℃, six coal types between 100 and 150 ℃, and two coal types above 150 ℃. The measured initiation temperatures were compared with the coal characteristics including the oxygen, moisture, Fe<sub>2</sub>O<sub>3</sub>, and CaO content, the H/C ratio, and the O/C ratio to establish correlations. Regression analysis was used to calculate the regression coefficients and determination coefficients for each ignition temperature. It was found that 52.44% of the FC/VM data significantly influenced the volatile matter ignition temperature, and 59.10% of the Fe<sub>2</sub>O<sub>3</sub> data significantly affected the spontaneous combustionignition temperature.
김용안,양성훈,이석형,이경우,박종완,Kim, Yong-An,Yang, Seong-Hun,Lee, Seok-Hyeong,Lee, Gyeong-U,Park, Jong-Wan 한국재료학회 1999 한국재료학회지 Vol.9 No.6
The characteristics of copper thin films and pattern filling capability were investigated by ECD. Prior to deposition of copper film, seed-Cu/Ta(TaN)/$SIO_2$(BPSG)/Si structure was manufactured. Copper deposition was performed with various current waveforms(DC/PC, 1~10,000Hz) and current densities(10~60 mA/$\textrm{cm}^2$) after pretreatment (Oxident removal, wetting) of seed-layer. Conformal pattern filling was performed using PC method with fast deposition rate of 6,000~8,000$\AA$/min. Heat-treated($450^{\circ}C$, 30min) copper films showed good resistivities of 1.8~2.1$\mu$$\Omega$.cm. According to the XRD analysis, (111)-preferred orientation of copper film was found in ECD-Cu/seed-Cu/Ta/$Sio_2$/Si structure. Also, we have successfully achieved to fill via holes with 0.35$\mu\textrm{m}$ width and 4:1 aspect ratio.
중등도 치주염으로 인한 치주조직상실과 정중이개를 동반한 상악중절치에서 laminate를 이용하여 심미적인 공강폐쇄를 얻은 증례보고
김은하,최정한,이동환,이석형,정운호,임순호,Kim, Eun-Ha,Choe, Jeong-Han,Lee, Dong-Hwan,Lee, Seok-Hyeong,Jeong, Un-Ho,Im, Sun-Ho 대한심미치과학회 2009 Journal of the Korean Academy of Esthetic Dentistr Vol.18 No.1
전치부사이의 비정상적 공간이 생기는 원인은 순측소대, 악궁과 치아의 크기 부조화, 악습관, 과잉치, 치주염으로 인한 병적치아이동 등 다양하다. 이러한 일차적인 원인요소들을 먼저 제거한 후 남게 되는 공간을 해결하기 위해서 교정치료 또는 여러가지 보철수복방법을 고려해 볼 수 있다. 보철적으로 치료할 경우, laminate를 이용하여 심미적인 전치부를 만드는 술식은 보존적인 면에서나 심미적인 면에서 유리한 점이 있어 많이 사용되고 있다. 그러나 인접면사이에 비교적 큰 공간이 존재하며, 감소된 치주조직으로 인하여 치간유두의 소실이 많고 직경이 작은 치경부가 노출되었을 경우에는 laminate를 이용하여 공간을 수복하기가 쉽지 않기 때문에, 교정적으로 치아를 이동시킴으로서 보다 심미적인 결과를 얻을 수 있다. 본 증례는 중등도의 치주질환으로 인하여 치주조직이 감소된 상악중절치에서 정중이개의 양이 비교적 크고 치간유두의 소실 및 직경이 작은 치경부가 노출된 환자에서 laminate를 이용하여 심미적인 공간폐쇄를 도모하였다.