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XPS와 SEM을 이용한 폴리실리콘 표면에 형성된 잔류막에 대한 연구
김태형(T. H. Kim),이종완(J. W. Lee),최상준(S. J. Choi),이창원(C. W. Lee) 한국진공학회(ASCT) 1998 Applied Science and Convergence Technology Vol.7 No.3
HBr/Cl₂/He-O₂반응 기체를 이용한 반응성 이온 식각후, 폴리실리콘 표면에 형성된 잔류막을 x-선 광전자 분광법(x-ray photoelectron spectroscopy, XFS)과 전자 현미경(scanning electron microscopy, SEM)을 이용하여 관찰하였다. 그 결과 잔류물은 패턴된 폴리실리콘의 맨 윗부분에 잔존하고 있었으며, 화학 결합 상태는 실리콘 산화물임이 밝혀졌다. 잔류물인 실리콘 산화물의 형성 메카니즘을 규명하기 위하여 원래의 혼합 기체 성분중 한가지씩의 반응 기체를 제외시켜 가면서 실험하였다. 비록 플라즈마 성질이 다를지라도, 잔류물은 산소의 존재하에서 잘 형성됨을 알 수 있었는데, 이는 휘발성이 낮은 실리콘-할로겐 화합물이 산소에 의해 산화됨으로써 형성되는 것으로 이해하게 되었다. 또한 반응성 이온 식각후 형성된 잔류층은 소자의 전기적 특성과 후처리 공정에 영향을 미치는 것으로 알려져 있어서, 이를 제거하기 위해 습식과 건식 후처리 공정을 도입하여 비교하였다. 그 결과 건식 공정의 경우 반응 기체에 의해 새로운 잔류물이 형성됨을 XPS를 통하여 관찰하였다. 따라서 잔류물을 제거하고 깨끗한 표면을 얻기 위해서는 습식 공정이 더 적합함을 알았다. The plasma etching of polysilicon was performed with the HBr/Cl₂/He-O₂ gas mixture. The residual layers after photoresist strip were investigated using x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and scanning electron microscopy (SEM). The etch residue was identified as silicon oxide deposited on the top of the patterned polysilicon. In order to clarify the formation mechanism of the etch residue, the effects of various gas mixtures such as Cl₂/He-O₂, HBr/He-O₂ and HBr/Cl₂ were investigated. We found that the etch residue is well formed in the presence of oxygen, suggesting that the etch residue is caused by the reaction of oxygen and non-volatile silicon halide compounds. Wet cleaning and dry etch cleaning processes were applied to remove the polysilicon etch residue, which can affect the electrical characteristics and further device processes. XPS results show that the wet cleaning is suitable for the removal of the etch residue.
SIMS, XPS, AFM을 이용한 LCD blue color filter의 고분자 표면 연구
김승희(S. H. Kim),김태형(T. H. Kim),이상호(S. H. Lee),이종완(J. W. Lee) 한국진공학회(ASCT) 1997 Applied Science and Convergence Technology Vol.6 No.4
LCD용 칼라 필터를 제작하는 방법으로 감광성 고분자(photosensitive polymer)에 광리소그라피(photolithography) 기술이 많이 이용되어지고 있다. 이로 인해 감광성 고분자 표면의 물리적, 화학적 성질이 변하게 되는데, 이는 후속 공정인 플라즈마 식각이나 ITO 전극의 증착 등에도 많은 영향을 주므로, 각 공정에 따른 이들 고분자의 표면 연구는 매우 중요하다. 본 논문에서는 blue 칼라 필터의 고분자 표면에 대한 연구를 SIMS와 XPS를 이용하여 수행하였으며, 표면의 거칠기 변화를 AFM을 통해 관찰하였다. SIMS와 XPS결과로 부터 초기 공정인 blue 칼라 필터를 스핀 코팅하고 pre bake한 상태에서는 주로 칼라 필터의 주 성분인 단량체와 결합제의 고분자 물질이 표면에 드러나 있다가, 노광 과정을 거치고 post bake한 시료에서는 색깔을 내는 안료 성분이 표면에 드러남을 확인하였고, AFM을 통해서는 post bake후에 표면이 더 거칠어 짐을 관찰하였다. Recently, photosensitive color filters have received much attention for their use in the liquid crystal display (LCD) industry. It is well known that chemical and physical properties of polymer surfaces can be modified by special surface treatments. In this work, we have studied the polymer surfaces of LCD blue color filters which were exposed to the UV light during photolithography. A better understanding of the irradiated polymer surfaces is required for the subsequent processes such as plasma etching, ITO electrode deposition, etc. The surface analysis has been undertaken using secondary ion mass spectrometry (SIMS), x-ray photoelectron spectroscopy (XPS), and atomic force microscopy (AFM). A significant enrichment of the pigment component and roughening of surface with bubble-like feature have been observed at the modified polymer surface.
체외수정 및 미세조작에 의한 가축배의 생산과 효율적 이용에 관한 연구 6. 소 핵이식배의 체외배양 , 동결보존 및 성판정에 관한 연구
정영채,김창근,윤종택,나광빈,오성종,이종완,김흥률,김광식,박선애,유영아 ( Y . C . Chung,C . K . Kim,J . T . Yoon,G . B . Luo,S . J . Oh,J . W . Lee,H . R . Kim,K . S . Kim,S . A . Park,Y . A . You ) 한국축산학회 1997 한국축산학회지 Vol.39 No.3
This study was carried out to establish an effective method for the improvement of subsequent development after nuclear transfer(NT) in bovine embryo, for the extension of utility through freezing and sexing of NT embryos. The rates of cleaved and developed embryos upto morula-blastocyst stages after the NT in in vitro produced embryos were 60.6 and 3.7%, respectively. Whereas, in in vivo embryos, slightly higher developments were obtained(70.8 and 5.6%), respectively. No difference was found in embryonic development upto morulablastocyst stages among the different levels of EGF added to the serum containing medium. The rates of cleaved and developed embryos upto morula-blastocyst were higher when electrostimulation was performed either before fusion or after addition at 21h IVM. The survival rate of frozen NT embryos was higher in late morula than that of earlier embryos. PCR-based sexing of NT embryo demonstrated that higher proportion of embryos was male(1.9:1), instead of normal ratio(1:1).
최선호,정영호,이종완 中央大學校 遺傳工學硏究所 2001 遺傳工學硏究論集 Vol.14 No.1
체세포 복제양 Dolly가 1996년에 혈청기아 배양법으로 세포주기가 조절된 유선상피세포로 탄생되었다. 그 이후에 양 이외 동물에서 수없이 많이 시도되었으나, 복제동물수정란 복제소를 포함하여, 현재는 222두가 생산되어 각종 시험이 이루어지고 있다. 수정란 복제소는 1990년에 태어나 1993년에 c-beef가 판매되기도 하였으며, 그 후 복제소 생산물(우유와 고기)에 대한 식품으로서의 안전성이 검사되기 시작하였다. 그러나 복제소의 생산에는 조기배 사멸, 유산, 거대산자, 비정상 태반 등 많은 문제점이 있었으며, 분만지연과 출생 후 사망도 발생되어 초반부터 분만시기인 최후까지 많은 어려움이 있다. 따라서 이러한 문제의 해결을 위하여, genomic imprinting과 DNA methylation 등 유전자적 기본적인 문제에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있으며, 탐구방법으로는 RLGS방법을 이용하고 있다. 이러한 문제들이 해결되고, 더욱 더 많은 시도를 하게되면, 복제동물의 생산기술은 향상되어 축산, 회귀동물 보존 및 의료등 생명공학에 많이 기여할 것으로 여겨진다. Somatic cell clone sheep(Dolly) was born by the use of epithelial cells of mammary gland with the control of cell cycle by serum starvation methods in 1996. Even though there are so many attempts for clone animals, others besides sheep was born some years later. The beginning of somatic cell clone cattle was produced in Japan in 1997 and goes up to 222 clones were born concluded with blastomere clone cattles (BCC) that were born firstly in 1990. However, C beef (clone beef) of BCC was sold from 1993 and then it was started to survey the satisfaction as the foods for the clone beef and milk. But there has many problems for the production of clone cattle, like the block of conception, abortion, large offspring syndrome and abnormal placenta. Also, delayed parturition and death just after born were occurred. For the researches about the production of clone cattle, it was investigated the basis of genomic imprinting and cDNA methylation with RLGS(restriction landmark genomic scanning) method. Suppose the problems of clone animals would be cleared and more researches will perform, the production of clone animals will improve.