HVPE 법을 활용한 GaN 성장 시 질화처리에 관한 연구

이승훈,이주형,이희애,오누리,이성철,강효상,이성국,양재득,박재화,Lee, Seung Hoon,Lee, Joo Hyung,Lee, Hee Ae,Oh, Nuri,Yi, Sung Chul,Kang, Hyo Sang,Lee, Seong Kuk,Yang, Jae Duk,Park, Jae Hwa 한국결정성장학회 2019 한국결정성장학회지 Vol.29 No.4

HVPE is one of the GaN single crystal manufacturing methods which has been commercially widely used due to its high growth rate. HVPE method consists of a number of processes, in particular the nitridation of the substrate prior to GaN growth has a significant effect on the crystalline quality of the manufactured GaN single crystal. In this study, we investigated the effect of nitridation for crystalline quality of GaN when it was grown on the sapphire substrate. The whole growth conditions except for the nitridation process were the same, and the gas flow rate supplied to the sapphire substrate was variously changed during the nitridation. Here, we examined the effect of nitridation via the surface characterization of GaN single crystal grown by HVPE. HVPE는 GaN 단결정의 제조 방법 중 하나로 빠른 성장 속도가 장점인 상업적으로 널리 사용되는 성장 방법이다. HVPE 법에 의한 GaN 단결정 성장은 여러 공정으로 이루어지며, 특히 GaN 성장 전 기판의 질화 처리는 성장되는 GaN 단결정 품질에 상당한 영향을 미친다. 본 연구에서는 사파이어 기판 위에 GaN 단결정 성장 시 기판의 질화처리가 성장되는 GaN 단결정 품질에 미치는 영향을 알아보고자 하였다. 질화 처리를 제외한 다른 성장 조건은 동일하게 하였고 질화처리 시 기판에 공급되는 가스 유량을 다양하게 변화시킨 후 GaN 박막을 성장시키고, 성장된 GaN의 표면 특성평가를 통하여, HVPE 법에서의 질화처리 효과를 고찰하여 보고자 하였다.

화재원인조사실무 - 탱크 및 배관 등 작업에 의한 폭발

이승훈,Lee, Seung-Hun 한국화재보험협회 2013 防災와 保險 Vol.150 No.-

Denitrification Potential and Denitrifier Abundance in Downstream of Dams in Temperate Streams

이승훈,정석희,강호정,Vo, Nguyen Xuan Que,Lee, Seung-Hoon,Doan, Tuan Van,Jung, Sokhee P.,Kang, Hojeong 한국미생물학회 2014 미생물학회지 Vol.50 No.2

댐의 존재가 하천 생태계에 미치는 영향을 연구하기 위해 다양한 연구가 지금까지 수행되어 왔지만, 댐이 하류의 탈질화에 미치는 영향은 잘 알려져 있지 않다. 대한민국 낙동강의 댐 원류에서 탈질화 효소 활성도(잠재 탈질율)와 탈질균 분포(nirS, nirK, nosZ 유전자를 표지유전자로 사용)를 조사하였다. 자갈 혹은 모래로 채워진 하천의, 갈대가 우거진 하변지역과 강바닥의 침전물을 채취하여 조사하였다. 이 실험의 가설은 다음과 같다. (i) 하천 침전물의 N과 C의 사용유효량이 높을수록 대조군에 비해 미생물 군집의 탈질화 작용이 더욱 증진한다, (ii) 하천생태계마다 상이하게 나타나는 잠재 탈질율 간의 차이는 탈질 미생물의 양에 비례한다. 30여 년간 댐에 의해 수문학적으로 큰 차이가 있었고 또한 댐 하류의 저서에 무기질소와 용존유기탄소 농도가 대조군에 비해 매우 높았음에도 불구하고, 탈질균 군집의 양과 잠재 탈질율은 하천 간에 큰 차이가 없었다. 하지만 nirS 유전자와 nosZ 유전자의 양과 잠재 탈질율은 댐 하류에 존재하는 자갈이 많은 하변과 모래가 많은 하천 바닥에서 홍수빈도와 계절별 온도변동에 관련하여 크게 증가함을 알 수 있었다. nirK 유전자는 모든 시료에서 발견되지 않았다. Canonical correspondence analysis (CCA) 분석결과는 탈질균 군집 양과 영양염류 가용도와 잠재 탈질율 사이에는 약한 상관관계가 있음을 보여주었다. Various studies have been conducted to investigate effects of dams on river ecosystems, but less information is available regarding damming impacts on downstream denitrification. We measured denitrification enzyme activity (potential denitrification rate) and denitrifier abundances (using nirS, nirK, and nosZ as markers) in dammed headstreams of the Nakdong River in South Korea. Sediments in Phragmites-dominated riparian areas and in-stream areas across streams (dammed vs. reference) with different streambed materials (gravel and sand) were sampled occasionally. We hypothesized that (i) the higher available N and C contents in sediments downstream of dams foster larger denitrifier communities than in the reference system and (ii) differences in potential denitrification rates across the systems correspond with denitrifier abundances. Despite 30 years of different hydrological management with dams and greater inorganic N and DOC contents in sediments downstream of dams, compared to the references, abundances of denitrifier communities and potential denitrification rates within the whole sediment were not significantly different across the systems. However, nirS and nosZ denitrifier abundances and potential denitrification rates were considerably increased in specific sediments downstream of dams (gravelly riparian and sandy in-stream) with regard to flooding events and seasonal temperature variation. nirK was not amplified in all sediments. Canonical correspondence analyses (CCA) revealed that the relationship between abundances of denitrifier communities and nutrient availabilities and potential denitrification rates was a weak one.

화재원인조사실무 - 화재조사 지표로서 유리파괴 분석의 법공학적 가치

이승훈,Lee, Seung-Hun 한국화재보험협회 2014 防災와 保險 Vol. No.

에폭시/구상실리카 콤포지트의 전기적 절연파괴 및 인장 강도 특성 연구

이승훈,Lee, Seung-Hun 한국전기전자재료학회 2013 전기전자재료학회논문지 Vol.26 No.10

In order to develop a high voltage insulation material, spherical silicas with two average particle sizes of 5 ${\mu}m$ and 20 ${\mu}m$ were mixed in different mixing ratios (1:0, 0.7:0.3, 0.5:0.5, 0.3:0.7, 0:1) and their total filling content was fixed at 65 wt%. In order to observe the dispersion of the spherical silicas and the interfacial morphology between silica and epoxy matrix, field emission scanning electron microscope (FE-SEM) was used. The electrical insulation breakdown strength was estimated in sphere-plate electrodes with different insulation thicknesses of 1, 2, and 3 mm. Electrical insulation breakdown strength decreased with increasing mixing ratio of 5/20 ${\mu}m$ and the thickness dependence of the breakdown strength was also observed. The tensile strength of the neat epoxy was 82.8 MPa as average value and its increased with decreasing particles size and that of epoxy/silica (2 ${\mu}m$) was 107 MPa, which was 130.8% higher value.

돈분뇨 슬러리 액비저장조내 침전물 특성 연구

이승훈,정광화,김중곤,곽정훈,한덕우,Lee, Seung-Hun,Jeong, Kwang-Hwa,Kim, Jung-Gon,Khan, Modabber ahmerd,Kwag, Jung-Hun,Han, Deug-Woo 한국축산환경학회 2014 한국축산시설환경학회지 Vol.20 No.4

Liquid fertilization of pig manure slurry is very useful treatment method to recycle organic waste matter as a valuable fertilizer. The solids precipitate and accumulated at the bottom of liquid fertilization tank. The content of nitrogen and phosphate are higher in sediment than pig manure slurry. The pH of sediment was 7.53. S-COD/T-COD ratio of pig manure slurry and sediment were 0.477, 0.29, respectively. The moisture content of sediment of pig manure slurry and sediment were 80.45~83.82%, 97%, respectively. The content of organic matter of sediment was 8.79~10.56%. The content of nitrogen and phosphate of sediment and pig manure slurry were 9,000~11,100 mg/L, 9,100~11,100 mg/L, respectively. The particle size of pig manure slurry was distributed from 2 mm to 0.125 mm. On the other hand. the particle size of sediment was under 0.125 mm.

6 MeV 전자선의 차폐물질 원자번호와 조사야 크기에 따른 선량변화 연구

이승훈,곽근탁,박주경,김양수,차석용,Lee, Seung Hoon,Kwak, Keun Tak,Park, Ju Kyeong,Gim, Yang Soo,Cha, Seok Yong 대한방사선치료학회 2013 대한방사선치료학회지 Vol.25 No.2

목 적: 본 연구에서 우리는 6 MeV 전자선의 조사야 확대에 따른 선량변화가 차폐물질 원자번호와 관계가 있음을 알아보고 그 영향인자를 분석 하고자 한다. 대상 및 방법: 먼저 평행평판형 전리함(Exradin P11)을 $25{\times}25cm^2$ 폴리스티렌 팬텀표면에 평탄하게 끼운다. 허용투과율 5% 두께의 알루미늄, 구리, 납 물질들을 팬텀 상단에 차폐시킨 후 조사야 $6{\times}6$, $10{\times}10$ 그리고 $20{\times}20cm^2$별로 측정하였다. 조사조건은 선원-표면간거리 100 cm에서 기준조사야인 $10{\times}10cm^2$에 6 MeV 전자선을 이용하여 100 cGy 조사하였다. 다음으로 MCNP (Monte Carlo N Particle Transport Code)를 이용하여 각 물질 통과 후 발생되는 광자수, 전자수, 그리고 축적에너지를 계산하였다. 결 과: 허용투과율 5% 두께에 대한 차폐물 종류에 따른 측정결과 조사야 $10{\times}10cm^2$을 기준으로 한 $6{\times}6cm^2$과 $20{\times}20cm^2$의 두께변화율은 알루미늄에서 각각 +0.06%와 -0.06%, 구리에서 각각 +0.13%와 -0.1%, 납에서 각각 -1.53%와 +1.92%였다. 계산결과 조사야 $10{\times}10cm^2$ 대비 $6{\times}6cm^2$, $20{\times}20cm^2$의 축적에너지는 차폐를 하지 않았을 경우 각각 -4.3%와 +4.85%, 알루미늄 사용 시 각각 -0.87%와 +6.93%, 구리 사용 시 각각 -2.46%와 +4.48%, 납 사용 시 각각 -4.16%와 +5.57%였다. 광자수의 경우 차폐를 하지 않았을 경우 각각 -8.95%와 +15.92%, 알루미늄 사용 시 각각 -15.56%와 +16.06%, 구리 사용시 각각 -12.27%와 +15.53%, 납 사용 시 각각 -12.36%와 +19.81%였다. 전자수의 경우 차폐를 하지 않았을 경우 각각 -3.92%와 +4.55%, 알루미늄 사용 시 각각 +0.59%와 +6.87%, 구리 사용 시 각각 -1.59%와 +3.86%, 납 사용 시 각각 -5.15%와 +4.00%였다. 결 론: 본 연구로 조사야 증가함에 따른 차폐물 두께가 저 원자번호에서 감소하며, 고 원자번호에서는 증가함을 볼 수 있었으며, 계산을 통해 저 원자번호물질에서는 저지방사선, 고 원자번호물질에서는 산란전자가 영향을 주는 것을 알 수 있었다. Purpose: In this study, we analyzed how the dose change by field size effects on atomic number of shielding materials while using 6 MeV election beam. Materials and Methods: The parallel plate chamber is mounted in $25{\times}25cm^2$ the phantom such that the entrance window of the detector is flush with the phantom surface. phantom was covered laterally with aluminum, copper and lead which thickness have 5% of allowable transmission and then the doses were measured in field size $6{\times}6$, $10{\times}10$ and $20{\times}20cm^2$ respectively. 100 cGy was irradiated using 6 MeV electron beam and SSD (Source Surface Distance) was 100 cm with $10{\times}10cm^2$ field size. To calculate the photon flux, electron flux and Energy deposition produced after pass materals respectively, MCNPX code was used. Results: The results according to the various shielding materials which have 5% of allowable transmission are as in the following. Thickness change rate with field size of $6{\times}6cm^2$ and $20{\times}20cm^2$ that compared to the field size of $10{\times}10cm^2$ found to be +0.06% and -0.06% with aluminum, +0.13% and -0.1% with copper, -1.53% and +1.92% with lead respectively. Compare to the field size $10{\times}10cm^2$, energy deposition for $6{\times}6cm^2$ and $20{\times}20cm^2$ had -4.3% and +4.85% respectively without shielding material. With aluminum it had -0.87% and +6.93% respectively and with lead it had -4.16% and +5.57% respectively. When it comes to photon flux with $6{\times}6cm^2$ and $20{\times}20cm^2$ of field sizes the chance -8.95% and +15.92% without shielding material respectively, with aluminum the number -15.56% and +16.06% respectively and with copper the chance -12.27% and +15.53% respectively, with lead the number +12.36% and -19.81% respectively. In case of electron flux in the same condition, the number -3.92% and +4.55% respectively without shielding material respectively, with aluminum the number +0.59% and +6.87% respectively, with copper the number -1.59% and +3.86% respectively, with lead the chance -5.15% and +4.00% respectively. Conclusion: In this study, we found that the required thickness of the shielding materials got thinner with low atomic number substance as the irradiation field is increasing. On the other hand, with high atomic number substance the required thickness had increased. In addition, bremsstrahlung radiation have an influence on low atomic number materials and high atomic number materials are effected by scattered electrons.

고주파 온열치료시 케모포트의 열적 변화 연구

이승훈,이선영,김양수,양명식,차석용,Lee, seung hoon,Lee, sun young,Gim, yang soo,Kwak, Keun tak,Yang, myung sik,Cha, seok yong 대한방사선치료학회 2015 대한방사선치료학회지 Vol.27 No.2

목 적 : 고주파 온열치료 시 약물투여 및 혈액채취에 사용되는 케모포트로 인한 열적 변화를 알아보고자 한다. 대상 및 방법 : 전극 크기 20 cm인 고주파 온열치료기(EHY-2000, Oncotherm Kft, Hungary)를 이용하여 현재 본원에서 사용 중인 케모포트 중 재질이 플라스틱인 소재, 티타늄을 둘러싼 에폭시 소재와 티타늄 소재 케모포트를 자체 제작한 직경 20 cm, 높이 20 cm 원통형 한천(Agar)팬텀에 삽입하여 온도를 측정하였다. 온도측정기(TM-100, Oncotherm Kft, Hungary) 그리고 Sim4Life(Ver2.0, ZMT, Zurich, Switzerland) 프로그램을 사용하여 실제 측정된 온도변화와 비교 분석하였다. 측정위치는 전극 중심축 및 중심축 측면 1.5 cm지점에 각각 0 cm(표면), 0.5 cm, 1.8 cm, 2.8 cm 깊이별로 하였다. 측정조건은 온도 $24.5{\sim}25.5^{\circ}C$, 습도 30 ~ 32%, 출력 전력 100 W로 5분 간격으로 총 60분을 측정 하였다. 결 과 : 케모포트 미사용, 플라스틱, 에폭시 그리고 티타늄 케모포트를 사용한 경우의 최고온도는 전극 중심축 2.8 cm 깊이에서 측정값 $39.51^{\circ}C$, $39.11^{\circ}C$, $38.81^{\circ}C$, $40.64^{\circ}C$와 모의실험값 $42.20^{\circ}C$, $41.50^{\circ}C$, $40.70^{\circ}C$, $42.50^{\circ}C$이며, 전극 중심축 1.5 cm 측면 2.8 cm 깊이에서 측정값 $39.51^{\circ}C$, $39.32^{\circ}C$, $39.20^{\circ}C$, $39.46^{\circ}C$와 모의실험값 $42.00^{\circ}C$, $41.80^{\circ}C$, $41.20^{\circ}C$, $42.30^{\circ}C$이다. 고안 및 결론 : 고주파 전자기장에 의한 케모포트 주위의 열적 변화량은 부도체 물질인 플라스틱과 에폭시 소재에서 미사용의 경우보다 낮게 나타났으며, 도체 물질인 티타늄 케모포트에서는 약간의 차이를 보였다. 이는 케모포트내 금속 함유량 및 기하학적 구조에 의한 것과 이용 장비의 낮은 고주파 대역를 사용함에 있는 것으로 여겨진다. 즉 본 연구에 사용된 케모포트는 열 변화가 미미하여 장해를 고려하지 않아도 된다고 사료된다. Purpose : This study evaluate the thermal changes caused by use of the chemoport for drug administration and blood sampling during radiofrequency hyperthermia. Materials and Methods : 20cm size of the electrode radio frequency hyperthermia (EHY-2000, Oncotherm KFT, Hungary) was used. The materials of the chemoport in our hospital from currently being used therapy are plastics, metal-containing epoxy and titanium that were made of the diameter 20 cm, height 20 cm insertion of the self-made cylindrical Agar phantom to measure the temperature. Thermoscope(TM-100, Oncotherm Kft, Hungary) and Sim4Life (Ver2.0, Zurich, Switzerland) was compared to the actual measured temperature. Each of the electrode measurement position is the central axis and the central axis side 1.5 cm, 0 cm(surface), 0.5 cm, 1.8 cm, 2.8 cm in depth was respectively measured. The measured temperature is $24.5{\sim}25.5^{\circ}C$, humidity is 30% ~ 32%. In five-minute intervals to measure the output power of 100W, 60 min. Results : In the electrode central axis 2.8 cm depth, the maximum temperature of the case with the unused of the chemoport, plastic, epoxy and titanium were respectively $39.51^{\circ}C$, $39.11^{\circ}C$, $38.81^{\circ}C$, $40.64^{\circ}C$, simulated experimental data were $42.20^{\circ}C$, $41.50^{\circ}C$, $40.70^{\circ}C$, $42.50^{\circ}C$. And in the central axis electrode side 1.5 cm depth 2.8 cm, mesured data were $39.37^{\circ}C$, $39.32^{\circ}C$, $39.20^{\circ}C$, $39.46^{\circ}C$, the simulated experimental data were $42.00^{\circ}C$, $41.80^{\circ}C$, $41.20^{\circ}C$, $42.30^{\circ}C$. Conclusion : The thermal variations were caused by radiofrequency electromagnetic field surrounding the chemoport showed lower than in the case of unused in non-conductive plastic material and epoxy material, the titanum chemoport that made of conductor materials showed a slight differences. This is due to the metal contents in the chemoport and the geometry of the chemoport. And because it uses a low radio frequency bandwidth of the used equipment. That is, although use of the chemoport in this study do not significantly affect the surrounding tissue. That is, because the thermal change is insignificant, it is suggested that the hazard of the chemoport used in this study doesn't need to be considered.

기후위기 운동의 점화, 그러나 더 길고 단단한 운동을 시작할 때

김현우 연구공동체 건강과대안 2020 의료와사회 Vol.- No.10

출판저널 칼럼

이승훈,Lee, Seung-Hun 대한출판문화협회 1996 출판저널 Vol.195 No.-