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광원자층증착법에 의한 glass 기판에 TiO<sub>2</sub> 박막 코팅
김혁종(Kim, Hyug-Jong),김희규(Kim, Hee-Gyu),김도형(Kim, Doe-Hyoung),강인구(Kang, In-Gu),최병호(Choi, Byung-Ho) 한국신재생에너지학회 2009 한국신재생에너지학회 학술대회논문집 Vol.2009 No.11
염료감응형 태양전지의 구성체 중 전극으로 연구 되어 지고 있는 TiO₂는 기존에 대량 생산이 가능한 spin coating법, screen printing법, spray법의 연구가 이루어져 왔으나 고 효율 태양전지에 쓰이는 전극 시스템에 비해 고 분산성을 지닌 TiO₂페이스트를 제조 하는데 어려움이 있다. 그리고 플렉시블 디스플레이 소자의 응용을 위해서는 소자 공정 온도인 250?C 이하의 공정 온도가 요구 되어 지므로 고온공정인 CVD법은 이에 적합하지 않다. 이에 본 연구는 진공 증착 방법인 광원자층증착법을 이용하여 150?C이하의 저온공정온도에서도 적용이 가능한 TiO₂ 박막을 185nm의 UV light를 조사하여 glass 기판위에 제조 하고 그에 따른 박막의 물성 분석을 하였다. Mo source로는 titanium tetraisopropoxide(TTIP)와 reactant gas 로는 H₂O를 사용하였으며 불활성 기체인 Ar 가스는 purge 가스로 각각 사용하였다. 100?C{sim}250?C 공정온도를 변수로 TiO₂ 박막을 제조 하였으며 제조된 TiO₂ 박막의 물성 분석을 위해 FESEM, TEM을 이용하여 표면 및 두께를 분석하였다. 또한 100?C 400 cycles에서 약 12nm 막 두께를 관찰 할 수 있었으며 그 결과 박막의 성장률이 0.3{AA}/cycle 임을 확인 할 수 있었다. 그리고 UV-VIS을 이용하여 박막의 좌외선에 대한 흡수도 및 투과도 분석을 하였다. 또한 XPS 성분 분석을 통하여 100?C의 저온 공정에서 형성된 박막이 TiO₂임을 확인 하였다. 이러한 결과에서 185nm의 UV light에 의한 광원자층 증착법으로 100?C의 저온에서도 TiO₂ 박막이 증착 되는 것을 확인 할 수 있었다.
원자층증착법에 의한 TiO<sub>2</sub> 나노파우더 표면의 실리콘 산화물 박막 증착
김희규(Kim, Hee-Gyu),김혁종(Kim, Hyung-Jong),강인구(Kang, In-Gu),김도형(Kim, Doe-Hyoung),최병호(Choi, Byung-Ho),정상진(Jung, Sang-Jin),김민완(Kim, Min-Wan) 한국신재생에너지학회 2009 한국신재생에너지학회 학술대회논문집 Vol.2009 No.11
염료감응형 태양전지의 효율 향상을 위한 다양한 방법들 중 TiO₂ 나노 파우더의 표면 개질 및 페이스트의 분산성 향상을 위한 연구가 활발하게 진행되고 있다. 기존 나노 파우더의 표면 개질법으로는 액상 공정인 졸겔법이 있으나 표면 처리 공정에서의 응집현상은 아직 해결해야 할 과제 중 하나이다. 이에 본 연구에서는 진공증착방법인 ALD법을 이용하여 염료감응형 태양전지용 TiO₂ 나노 파우더의 SiO₂ 산화물 표면처리를 통한 분산특성을 파악하였다. 기존 ALD법의 경우 reactor의 온도가 300{sim}500?C 정도의 고온에서 공정이 이루어졌지만 본 실험에서는 2차 아민계촉매(pyridine)을 사용하여 reactor의 온도를 30?C정도의 저온공정에서 SiO₂ 산화물을 코팅을 하였다. MO source로는 액체상태의 TEOS(Si(OC₂H<sub>5</sub>)₄)를, 반응가스로는 H₂O를 사용하였고, 불활성 기체인 Ar 가스는 purge 가스로 각각 사용 하였다. ALD 공정에 의해 표면처리 된 TiO₂ 나노 파우더의 분산특성은 각 공정 cycle에 따라 FESEM을 통하여 입자의 형상 및 분산성을 확인하였으며 입도 분석기를 통하여 부피의 변화 및 분산 특성을 확인하였다. 공정 cycle 이 증가함에 따라 입자간의 응집현상이 개선되는 것을 확인 할 수 있었으며, 100cycles에서 응집현상이 가장 많이 감소하는 것을 확인할 수 있었다. 또한 표면 처리된 SiO₂ 산화막은 XRD를 통한 결정 분석 및 EDX를 통한 정성 분석을 통하여 확인하였다.
ZnS:Cu,Cl 형광체의 특성에 미치는 원자층 증착 초박막 HfO<sub>2</sub>의 영향
김민완,한상도,김형수,김혁종,김휴석,김석환,이상우,최병호,Kim, Min-Wan,Han, Sand-Do,Kim, Hyung-Su,Kim, Hyug-Jong,Kim, Hyu-Suk,Kim, Suk-Whan,Lee, Sang-Woo,Choi, Byung-Ho 한국재료학회 2006 한국재료학회지 Vol.16 No.4
An investigation is reported on the coating of ZnS:Cu,Cl phosphors by $HfO_2$ using atomic layer deposition method. Hafnium oxide films were prepared at the chamber temperature of $280^{\circ}C$ using $Hf[N(CH_3)_2]_4\;and\;O_2$ as precursors and reactant gas, respectively. XPS and ICP-MS analysis showed the surface composition of coated phosphor powder was hafnium oxide. In FE-SEM analysis, the surface morphology of uncoated phosphors became smoother and clearer as the number of ALD cycle increased from 900 to 1800. The photoluminescence intensity for coated phosphors showed $7.3{\sim}13.4%$ higher than that of uncoated. The effect means that the reactive surface is uniformly coated with stable hafnium oxide to reduce the dead surface layer without change of bulk properties and also its absorptance is almost negligible due to ultrathin(nano-scaled) films. The growth rate is about $1.1{\AA}/cycle$.
원자층 증착법으로 성장한 HfO<sub>2</sub> 박막의 제조
김희철,김민완,김형수,김혁종,손우근,정봉교,김석환,이상우,최병호,Kim Hie-Chul,Kim Min-Wan,Kim Hyung-Su,Kim Hyug-Jong,Sohn Woo-Keun,Jeong Bong-Kyo,Kim Suk-Whan,Lee Sang-Woo,Choi Byung-Ho 한국재료학회 2005 한국재료학회지 Vol.15 No.4
The growth of hafnium oxide thin films by atomic layer deposition was investigated in the temperature range of $175-350^{\circ}C$ using $Hf[N(CH_3)_2]_4\;and\;O_2$ as precursors. A self-limiting growth of $0.6\AA/cycle$ was achieved at the substrate temperature of $240-280^{\circ}C$. The films were amorphous and very smooth (0.76-0.80 nm) as examined by X-ray diffractometer and atomic force microscopy, respectively. X-ray photoelectron spectroscopy analysis showed that the films grown at $300^{\circ}C$ was almost stoichiometric. Electrical measurements performed on $MoW/HfO_2$(20 nm)/Si MOS structures exhibited high dielectric constant$(\~17)$ and a remarkably low leakage current density of at an applied field of $1.5-6.2\times10^{-7}A/cm^2$ MV/cm, probably due to the stoichiometry of the films.
태양전지 interconnect ribbon용 Sn-Bi계 무연솔더 연구
강인구(Gang, In-Gu),김혁종(Kim, Hyeok-Jong),김도형(Kim, Do-Hyeong),김진식(Kim, Jin-Sik),김효재(Kim, Hyo-Jae),원수현(Won, Su-Hyeon),조성훈(Jo, Seong-Hun),이상권(Lee, Sang-Gwon),하정원(Ha, Jeong-Won),최병호(Choe, Byeong-Ho) 한국신재생에너지학회 2011 한국신재생에너지학회 학술대회논문집 Vol.2011 No.05
Sn-Ag계 합금은 대표적인 무연 솔더 조성으로 전자제품의 실장 및 접합에 적용되어 왔으며, 태양전지 분야에서도 모듈의 전극과 bus바로 사용되는 등 다양한 분야에서 사용되고 있다. 그러나 최근 Ag 가격의 급격한 상승과 솔더 접합부의 신뢰성을 보다 향상시키고자 Ag의 함량을 줄이고 다원계 합금 조성의 무연 솔더 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 실험에서는 기존의 연구 결과를 바탕으로 Sn-1.0Ag-0.5Cu-0.4In 4원계 무연솔더 조성에 Bi를 첨가하여 최적의 융점과 용융구간을 가지는 5원계 Sn-Ag-Cu-In-Bi 계 솔더 합금을 설계하였다. 이 설계된 합금은 기존의 유연 솔더인 Sn-Pb와 대표적인 무연 솔더인 Sn-3.5Ag와 각각의 특성을 비교 분석하였다. 젖음성을 평가하기 위하여 wetting balance tester를 이용하여 실험을 행하였고 Differential Scanning Calorimetry(DSC)를 분석하여 젖음 정도와 조성 분석 및 고상점과 액상점 등의 녹음 거동을 확인하였다. 또한 각각의 조성별 전단응력에 따른 파괴 거동을 분석하였다.
김정국,김혁종,고원일,구정회,남효온,Kim, Jeong-Guk,Kim, Hyuck-Jong,Ko, Won-Il,Ku, Jeong-Hoe,Nam, Hyo-On 한국시스템엔지니어링학회 2017 시스템엔지니어링학술지 Vol.13 No.2
Pyro project, one of complex project, is now under research and development. To manage this kind project successfully, it is essential to apply the processes of technical management (TM) based on systems engineering (SE) and project management (PM). In this paper, the project management processes from ISO-21500 standard, PMBOK guide, and PRINCE2 guide were reviewed, and then some common PM for the large national R&D project were selected. An integrated technical management and project management frame work was finally established and suggested for Pyro project.