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      • MEMS 공정을 위한 여러 종류의 산화막의 잔류응력 제거 공정

        李相佑,김성운,李尙禹,김종팔,박상준,이상철,조동일 경북대학교 센서기술연구소 1998 센서技術學術大會論文集 Vol.9 No.1

        Various oxide films are commonly used as a sacrificial layer or etch mask in the fabrication of microelectromechanical systems (MEMS). Large residual strain of these oxide films cause the wafer to bow, which can have detrimental effects on photolithography and other ensuing processes. This paper investigates the residual strain of tetraethoxysilane (TEOS), low temperature oxide (LTO), 7wt% and lOwt% phosphosilicate glass (PSG). Euler beams and a bent-beam strain sensor are used to measure residual strain. A polysilicon layer is used as a sacrificial layer, which is selectively etched away by XeF_(2). First, the residual strain of as-deposited films is measured, which is quite large. These films are annealed at 500℃, 600℃, 700℃ and 800℃ for 1 hour and residual strain is measured. Then, the residual strain after annealing at the conditions for depositing a 2μm thick polysilicon at 585℃ and 625℃ are also measured. Our results show that the 7wt% PSG is best suited as the sacrificial layer for 2μm thick polysilicon processes.

      • 현장측정 및 IPCC GL을 이용한 온실가스 발생량 비교 - 소규모 매립장을 대상으로 -

        이상우,유한녕,이원재,연익준,남안우,강병욱 한국폐기물자원순환학회 2013 한국폐기물자원순환학회 학술대회 Vol.2013 No.2

        현재 개별 매립지의 매립가스 발생량을 추정을 위해 폐기물의 분해를 일차분해반응으로 가정한 수학적 model들인 Scholl Canyon model, Palos Verdes model, Sheldon Arleta model과 IPCC GL 그리고 EPA의 LAEEM(Landfill Air Emissions Estimation Mode) 등이 주로 사용되고 있다. 일차분해 model을 이용한 온실가스 발생량의 추정은 매립된 폐기물의 양 및 조성, 매립시기와 경과시간 등의 기초자료, 폐기물의 메탄최대발생량(L0)와 메탄발생속도계수(k)를 사용되기 때문에 온실가스의 정확한 예측을 위해서는 이들에 대한 보다 적절한 값이 선정되어야 한다. 현재 선진국들은 매립지 특성을 반영한 메탄발생속도상수(k)를 제시하고 있으나 국내에의 경우 이러한 연구가 전무한 상황으로 이에 대한 연구가 필요한 것으로 보인다. 본 연구에서는 현재 사용중인 2곳(H, Y 매립지)의 소규모 매립장에 대한 매립지 특성 자료수집과 현장측정을 통해 2006 IPCC FOD방법의 입력변수로 사용되는 메탄발생속도 상수(k)를 산출하여 보았으며, 또한 이 결과를 default valus 적용한 2006 IPCC GL의 FOD방법에 의한 메탄 배출량 산정결과와 비교하여 보았다. 2006 IPCC GL에 제시된 FOD방법의 메탄 배출량 산정식을 이용한 k값 산정 결과, H 매립지의 산정된 평균 k값은 0.0413 yr-1, Y 매립지의 산정된 평균 k값은 0.0117 yr-1로 나타나 IPCC 가이드라인에 제시된 기본값이 0.09 yr-1에 비하여 상대적으로 낮은 값을 보였다. 또한 현장측정에 의해 산출된 k값들과 2006 IPCC GL의 default value을 이용하여 H, Y매립장에 대하여 메탄가스 배출량을 비교해본 결과, H매립지(1994년~2012년)와 Y매립장의 메탄가스 총배출량이 현장측정에 비하여 492.7%와 166.5%나 과다산정되는 것으로 나타나 매립지에서 발생하는 정확한 온실가스 배출량 예측을 위해서는 각각의 매립지별 현장 측정을 통한 고유의 k값 결정을 통한 산정이 진행돼야 할 것으로 판단된다.

      • 공간통계기법을 이용한 도로교통기반의 온실가스 관한 연구 -대구광역시를 대상으로-

        이상우,이승욱,이승엽,홍원화,Lee, Sang Woo,Lee, Seung Wook,Lee, Seung Yeob,Hong, Won Hwa 한국공간정보학회 2014 한국공간정보학회지 Vol.22 No.1

        본 연구는 대구광역시의 주요도로를 대상으로 공간통계기법을 이용하여 도로교통 온실가스 배출량을 신뢰성있게 예측하여 추정된 배출량으로 행정구별에 따라 도로교통에서 발생한 온실가스 배출량을 산정하는 것을 목적으로 하였다. 첫째, 주요도로의 교통량 관측지점에서 실시간으로 조사한 교통량을 이용하여 관측지점에서 발생한 온실가스 배출량을 산정하였다. 둘째, 일반 크리깅(Universal Kriging)기법을 이용하여 공간적 상관성에 의해 미 관측지점의 온실가스 배출량을 신뢰성 있게 추정하기 위해 적합한 베리오그램 모델링을 설정하였다. 이에 교차검증을 통하여 적합한 베리오그램 모델과 크리깅 기법의 타당성을 검증하였다. 셋째, 검증된 크리깅 기법으로 미 관측지점의 도로교통에서 발생한 온실가스 배출량을 예측하여 행정구별로 도로교통 온실가스 배출량을 추정하여 산정하였다. 그 결과, 도로교통 온실가스 배출량을 행정구별로 보면 북구가 약 $291,878,020kgCO_2eq/yr$로 가장 많은 온실가스를 배출하는 것으로 나타났다. This study was intended to reliably predict the traffic green house gas emission in Daegu with the use of spatial statistical technique and calculate the traffic green house gas emission of each administrative district on the basis of the accurately predicted emission. First, with the use of the traffic actually surveyed at a traffic observation point, and traffic green house gas emission was calculated. Secondly, on the basis of the calculation, and with the use of Universal Kriging technique, this researcher set a suitable variogram modeling to accurately and reliably predict the green house gas emission at non-observation point suitable through spatial correlation, and then performed cross validation to prove the validity of the proper variogram modeling and Kriging technique. Thirdly, with the use of the validated kriging technique, traffic green gas emission was visualized, and its distribution features were analyzed to predict and calculate the traffic green house gas emission of each administrative district. As a result, regarding the traffic green house gas emission of each administration, it was found that Bukgu had the highest green house gas emission of $291,878,020kgCO_2eq/yr$.

      • KCI등재

        소형 연료전지 연계형 DC GRID 부하 특성

        이상우,이상철,권오성,배준형,박태준,강진규,이동하,Lee, Sang-Woo,Lee, Sang-Cheol,Kwon, O-Sung,Bae, Jun-Hyung,Park, Tae-Joon,Kang, Jin-Kyu,Lee, Dong-Ha 한국태양에너지학회 2012 한국태양에너지학회 논문집 Vol.32 No.suppl3

        In recent years, understanding the dynamics of DC distribution system has become critically important due mainly to the increasing needs for the interconnection of DC distributed generators and the (DC-based) electric vehicle (EV) charging systems. In this paper, the characteristics of the DC grid system connected to the compact proton exchange membrane fuel cell (PEMFC) has been studied. In particular, the voltage and current transient phenomena were measured by varying the load of the DC grid system. Also, the voltage and current ripple were measured at the different load conditions. Our experimental results clearly manifested that the study contributes to the establishment of fundamental method to characterize the small DC grid system including distributed generation.

      • 미래인터넷 보안 기술동향

        이상우,서동일,조현숙,Lee, S.W.,Seo, D.I.,Cho, H.S. 한국전자통신연구원 2011 전자통신동향분석 Vol.26 No.5

        약 40년 전 설계된 현재의 인터넷은 보안 취약점, 사용자 이동성 지원 부족, 효율적인 콘텐츠 전달의 어려움 등 많은 문제점에 직면하고 있다. 특히, 스마트폰, 스마트TV 등과 같은 인터넷 접속 디바이스의 폭발적인 증가 및 대용량 비디오 트래픽으로 인한 트래픽 폭증 현상에 대한 대처 방안을 마련하는 것이 시급하다. 또한, 7.7 DDoS(Distributed Denial-of-Service), 3.4 DDoS 대란 등의 네트워크 침해 사태에 대한 근본적인 대처 방안을 마련하는 것 역시 매우 중요하다. 이러한 현재 인터넷의 문제점을 해결하기 위하여, 기존 인터넷과의 호환성을 고려하지 않고, 네트워크를 새로이 설계하고자 하는 "미래인터넷" 연구가 시작되었다. 본 고에서는 최근의 미래인터넷 연구 동향을 살펴보고, 특히 보안성을 해결하고자 하는 미래인터넷 보안 기술의 동향을 소개한다.

      • KCI등재후보

        호텔구성원의 감정노동이 학습지향성과 조직몰입에 미치는 영향

        이상우,조문식 한국관광산업학회 2012 Tourism Research Vol.35 No.-

        The purpose of this research is to investigate the effect of emotional labor on learning orientation and organizational commitment of Hotel employees. The data were analyzed with frequency, factor, reliability, covariance, and structure analysis. The SPSS 10.1 and AMOS 4.0 for Windows program were used for the analysis. The major findings could be summarized as follow:Firstly, the analysis on relationship between emotional labor and learning orientation revealed that deep acting dimensions had effect on learning orientation, but surface acting dimension of emotional labor did not affect learning orientation. Secondly, the analysis on relationship between emotional labor and organizational commitment revealed deep acting affected organizational commitment only. Thirdly, learning orientation have been shown to give positive influence to organizational commitment.

      • KCI등재

        元杂剧中“神仙道化”剧的文化现象浅析

        이상우 중국인문학회 2012 中國人文科學 Vol.0 No.52

        The immortal plays in Yuan-dynasty plays have drawn mixed reviews. In order to carry out a proper evaluation, we have to find the cause of it. That means what kind of historical conditions that the authors existed, and what kind of the influence of culture psychology that the authors had. As the same time, we want to search after the immortal plays’ cultural properties and the ideological connotation.

      • 실화책임과 공작물책임 - 개정 실화책임에 관한 법률의 적용범위 및 직접화재부분과 연소부분의 구별기준을 중심으로 -

        이상우 민사판례연구회 2012 民事判例硏究 Vol.- No.34

        By the "Inconsistent with the Constitution" decision of the Constitutional Court of Korea, the Act on Civil Liability for Fire Caused by Negligence (the “Act”) was amended. The amendment is aimed to enable the reduction of the amount of compensation for damages caused by combustion while the Act before the amendment (the “Pre-amended Act”) provided for the requirements for establishing the civil liability. However, under the amended Act, it is still unclear whether Article 750 of Civil Act shall only be applicable for the liability in respect of parts damaged by combustion resulting from the defect in the construction or maintenance of structure or Article 758(1) of Civil Act shall be applicable. Further, the applicability of the amended Act will be debatable as the amend Act does not provide for a clear standard to distinct ‘part damaged by the combustion,’ the term used in the amended Act, from "part damaged by direct fire."Analyzing the relevant court ruling and history of the precedent cases, the theory on the distinction between the ‘part damaged by direct fire’ and the ‘part damaged by combustion’ with respect to relationship of the Pre-amended Act and Article 758(1) of Civil Act seemed to have been the standard to define the scope of the applicability of the Pre-amended Act and the scope of direct fire were tend to gradually extend. The trend is based on full considerations for social developments such as change in building environment and installation and maintenance of fire protection system as well as fair apportion of the responsibility based on the principles of responsible risk and such trend, in my opinion, is in the right direction. Based on the above analysis, I agreed that the Article 758(1) of Civil Act shall be applicable to the establishment of legal liability for damages caused by fire by negligence as the general provisions of Civil Act shall be applied generally to establishment of legal liability for damages caused by fire by negligence. Moreover, I plan to propose a standard for distinction between the part damaged by direct fire and the part damaged by combustion with respect to the issue of reduction of the amount of damages. 헌법재판소의 헌법불합치결정에 의하여 실화책임에 관한 법률이 개정되었다. 손해배상책임의 성립요건을 규정하였던 구 실화책임에 관한 법률과 달리 연소로 인한 부분에 대한 손해배상액의 경감이 가능하도록 하는 내용으로 개정이 이루어졌다. 개정 법률 하에서 공작물의 설치보존상의 하자에 의하여 발생한 화재로부터 연소된 부분의 손해배상책임에 관하여 민법 제750조만을 적용할 지, 아니면 연소부분에 관하여도 민법 제758조 제1항을 적용할 지가 문제된다. 또한 개정 법률에서 규정한 “연소로 인한 부분”과 “직접화재로 인한 부분”의 구분기준 역시 문제된다. 대상판결을 비롯한 판례의 흐름을 분석하여 보면, 개정전 법률과 민법 제758조 제1항의 관계에 관한 직접 화재․연소부분 구별설을 개정전 법률의 적용여부에 관한 일반적 기준으로 채택하고 있는 것으로 보이며, 직접 화재의 범위를 점차적으로 넓혀 가는 경향성을 가지고 있다고 할 수 있다. 이는 건축환경의 변화, 소방제도의 정비, 위험책임 원리에 기초한 손해의 적정한 분담 등을 고려한 타당한 방향이다. 이 글에서는 위와 같은 분석을 기반으로 하여, 실화로 인한 손해배상책임의 성립에 관하여는 민법의 일반적인 규정들이 제한 없이 적용되어야 하므로, 민법 제758조 제1항의 적용가능성을 긍정하였다. 또한 손해배상액의 경감 여부와 관련하여, 직접화재로 인한 부분과 연소로 인한 부분의 구분 기준을 구체화하고자 하였다.

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