$RuO_2$박막의 미세 구조가 박막형 마이크로 슈퍼캐패시터의 특성에 미치는 영향

김한기,윤영수,임재홍,조원일,성태연,신영화,Kim, Han-Ki,Yoon, Young-Soo,Lim, Jae-Hong,Cho, Won-Il,Seong, Tae-Yeon,Shin, Young-Hwa 한국재료학회 2001 한국재료학회지 Vol.11 No.8

All solid-state thin film micro supercapacitor, which consists of $RuO_2$/LiPON/$RuO_2$ multi layer structure, was fabricated on Pt/Ti/Si substrate using a $RuO_2$ electrode. Bottom $RuO_2$ electrode was grown by dc reactive sputtering system with increasing $O_2/[Ar+O_2]$ ratio at room temperature, and a LiPON electrolyte film was subsequently deposited on the bottom $RuO_2$ electrode at pure nitrogen ambient by rf reactive sputtering system. Room temperature charge-discharge measurements based on a symmetric $RuO_2$/LiPON/$RuO_2$ structure clearly demonstrates the cyclibility dependence on the microstructure of the $RuO_2$ electrode. Using both glancing angle x-ray diffraction (GXRD) and transmission electron microscopy (TEM) analysis, it was found that the microstructure of the $RuO_2$ electrode was dependent on the oxygen flow ratio. In addition, x- ray photoelectron spectroscopy(XPS) examination shows that the Ru-O binding energy is affected by increasing oxygen flow ratio. Furthermore, TEM and AES depth profile analysis after cycling demonstrates that the interface layer formed by interfacial reaction between LiPON and $RuO_2$ act as a main factor in the degradation of the cyclibility of the thin film micro-supercapacitor. $RuO_2$ 박막을 전극으로 하여 Pt/Ti/Si 기판 위에 $RuO_2$ /LiPON/$RuO_2$의 다층 구조로 이루어진 전고상의 박막형 마이크로 슈퍼캐패시터를 제작하였다. 전극용 $RuO_2$박막은 반응성 dc 마그네트론 스퍼터를 이용하여 $O_2$/[Ar+$O_2$]비를 증가시키며 성장시켰고, 비정질 LiPON 고체전해질 박막은 순수한 질소분위기 하에서 rf 스퍼터링으로 성장시켰다. 상온에서의 충-방전 측정을 통해 $RuO_2$ 박막의 미세구조에 따라 슈퍼캐패시터의 사이클 특성이 영향을 받는 것을 알 수 있었다. Glancing angle x-ray diffraction(GXRD)과 transmission electron microscopy (TEM) 분석을 통해 산소 유량의 증가가 $RuO_2$박막의 미세 구조의 영향을 주는 것을 알 수 있었고, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) 분석을 통해 산소 유량 비의 증가가 Ru과 산소간의 결합에도 영향을 줌을 알 수 있었다. 또한 사이클 후 슈퍼캐패시터의 TEM 및 AES depth profiling 분석을 통해, 충-방전 시 $RuO_2$와 LiPON과의 계면반응에 의해 형성된 계면 층이 사이클 특성에 영향을 줌을 알 수 있었다.

Development of the Large-capacity ESS Using Seawater

Han Ki Kim(김한기),최지연,이동건,박정민,기다림 한국고분자학회 2022 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 Vol.47 No.1

음이온 계면활성제를 사용한 modified Fenton 반응의 과수안정제 개발에 관한 연구

김한기(Kim Han Ki),박강수(Park Kang Su),김정환(Kim Jeong Hwan),박주양(Park Joo Yang) 대한토목학회 2011 대한토목학회논문집 B Vol.31 No.4B

본 연구에서는 modified fenton 반응에서 과산화수소를 안정화하여 오염토양 정화의 효과를 증대시키고자 하였다. 오염토양을 모사하기 위하여 PAHs 계열의 대표적인 오염물질인 phenanthrene을 사용하였다. 과수안정제로는 음이온 계면활성제인 SDS(Sodium dodecyl Sulfate)를 사용하였다. Modified Fenton 반응에서 phenanthrene의 제거율을 확인하기 위하여 Fe(Ⅱ) 4 mM, SDS 5~50 mM 및 H₂O₂ 102.897 mM를 phenanthrene 125 ㎎/㎏으로 오염된 토양에 주입하였다. 과수안정제인 SDS가 30 mM이 사용된 경우 phenanthrene의 제거 효율이 95%로 가장 높게 나타났으며 30 mM이싱에서는 시스템에서 SDS가 scavenger로 작용하여 오염물질의 제거효율이 SDS 30 mM 일 때 보다 낮게 나타났다. 과수안정제를 사용한 뒤 과산화수소의 농도변화를 분석한 결과 Fe(Ⅱ) 2 mM에서 48시간 이후 14.6995 mM 이상 남아있어서 가장 안정적이었지만, Fe(Ⅲ)을 주입한 경우에는 과산화수소가 안정화되지 않았다. Modified Fenton 반응에서 철과 SDS 농도 사이의 최적의 비율을 찾기 위하여 SDS의 농도는 30 mM로 고정하고 철의 농도를 2~8 mM로 변화시켜 실험한 결과 Fe(Ⅱ) 4 mM 및 SDS 30 mM에서 약 95%의 가장 높은 제거율을 보였다. In this study, hydrogen peroxide is stabilized in modified Fenton reaction to improve the soil remediation. Phenanthrene, which is the typical compound in PAHs, was spiked into soil samples to copy the original contaminated site. Anionic surfactant, SDS (Sodium dodecyl sulfate) was used for hydrogen peroxide stabilizer. 4 mM of Fe(Ⅱ), 5~50 mM of SDS and 102.897 mM of H₂O₂ was injected into soil samples which is contaminated by 125 ㎎/㎏ of phenanthrene to analyze decomposition rate of phenanthrene in modified Fenton reaction. In condition which SDS was injected 30 mM, decomposition rate of phenanthrene has best efficiency as 95% and in condition which SDS was injected over 30 mM, decomposition rate is lower than SDS 30 mM because SDS enacted as scavenger in the system. Results which assess the change of hydrogen peroxide concentration after injecting hydrogen peroxide stabilizer showed that hydrogen peroxide concentration was 14.6995 mM so that is stabilized at Fe(Ⅱ) 2 mM condition in 48 hours. On the other hand, hydrogen peroxide is not stable in Fe(Ⅲ) condition. SDS concentration was fixed and iron concentration was changed 2~8 mM to find out optimize proportion between iron concentration and SDS concentration in modified Fenton reaction. Consequentially, in condition of which Fe(Ⅱ) 4 mM and SDS 30 mM, reaction has the highest removal rate as 95%.

펜톤 반응을 이용한 Diesel 오염 토양 처리에서 아세테이트의 영향

김한기 ( Han Ki Kim ),강수정 ( Su Jung Kang ),박주양 ( Joo Yang Park ) 한국물환경학회 2010 한국물환경학회·대한상하수도학회 공동 춘계학술발표회 Vol.2010 No.-

후천성 매독성 골수염

한기원(Ki Won Han),박준식(Jun Sik Park),조덕연(Duck Yun Cho),김기용(key Yong Kim) 대한정형외과학회 1978 대한정형외과학회지 Vol.13 No.2

나이티놀 와이어 스텐트의 피로도 특성에 대한 유한요소 해석

김한기,신일균,김동곤,김성현,이주호,기병윤,서태석,김상호,Kim, Han-Ki,Shin, Il-Gyun,Kim, Dong-Gon,Kim, Seong-Hyeon,Lee, Ju-Ho,Ki, Byoyng-Yun,Suh, Tae-Suk,Kim, Sang-Ho 한국의학물리학회 2009 의학물리 Vol.20 No.3

스텐트는 인체내 비혈관 또는 혈관의 내강에 직접 삽입되어 장기간 내강의 개통을 확보해 주어야 하는 보형기구로 체내에서의 안정성이 매우 중요하다. 스텐트의 성능은 크게 radial force, shortening, anti-migration, 방사선 불투과성, 유연성, 회복력, 삽입기구의 굵기 및 삽입 용이성 등의 항목으로 평가된다. 현재 스텐트는 다양한 제품이 널리 사용되어지고 있으며, 병변에 따라 선택이 가능하다. 스텐트는 개통이라는 고유 목적을 달성하면서 시술의 편의성이 고려되는 데 스텐트의 radial force와 유연성, 그리고 삽입기구의 유연성이 중요하다고 할 수 있다. 최근에 유한요소 해석법을 이용한 스텐트의 기계적 특성을 평가하기 위한 연구는 상당량 진행되어 왔다. 그러나 유한요소 해석법을 이용한 스텐트의 피로 거동 분석을 위한 전산 모사에 관한 연구는 드물다. 특히, 세선형 스텐트의 연구 및 시술 이후의 안정성에 대한 연구는 거의 없는 실정이다. 따라서 본 연구에서는 비혈관용 세선형 스텐트에 대하여 유한요소 해석법을 이용한 전산모의실험을 통한 피로특성 분석을 수행한 결과 해당 제품이 목표 수명을 지나서 피로 파괴(내구지수 : 1.74)가 발생한다고 예측할 수가 있었다. 이러한 유한요소 해석법은 스텐트 시술시의 장기적 안정성을 확보함으로써 산업체의 스텐트 개발 기간 및 예산 절감 등 경제적 개발에 많은 도움이 될 수 있을 것이다. Stents are frequently used throughout the human body. They keep pathways open in vascular or nonvascular duct for a long time. Therefore its stability is very important factor. In recent years, aconsiderable amount of research has been carried out in order to estimate mechanical properties of the stent such as expansion pressure behavior, radial recoil and longitudinal recoil using FEM (Finite element analyses). However, published works on simulation of stent fatigue behavior using FEM are relatively rare. In this paper, a nonlinear finite-element methodwas employed to analyses the compression of a stent using external pressure and fatigue behavior. Finite element analyses for the stent system were performed using NASTRAN FX. In conclusion this paper shows how the stent is behaved in the body, and its fatigue behavior.

유기물 광전소자 제작을 위한 박스 캐소드 스퍼터 기술

김한기,Kim, Han-Ki 한국전기전자재료학회 2006 전기전자재료학회논문지 Vol.19 No.4

We report on plasma damage free-sputtering technologies for organic light emitting diodes (OLEDs), organic thin film transistor (OTFT) and flexible displays by using a box cathode sputtering (BCS) method. Specially designed BCS system has two facing targets generating high magnetic fields ideally entering and leaving the targets, perpendicularly. This target geometry allows the formation of high-density plasma between targets and enables us to realize plasma damage free sputtering on organic layer without protection layer against plasma. The OLED with Al cathode prepared by BCS shows electrical and optical characteristics comparable to OLED with thermally evaporated Mg-Ag cathode. It was found that OLED with Al cathode layer prepared by BCS has much lower leakage current density ($1{\times}10^{-5}\;mA/cm^2$ at -6 V) than that $(1{\times}10^{-2}{\sim}-10^0\;mA/cm^2)$ of OLED prepared by conventional DC sputtering system. This indicates that BCS technique is a promising electrode deposition method for substituting conventional thermal evaporation and DC/RF sputtering in fabrication process of organic based optoelectronics.

전면발광 유기광소자용 박막 봉지를 위한 유도결합형 화학 기상 증착 장치

김한기,Kim Han-Ki 한국전기전자재료학회 2006 전기전자재료학회논문지 Vol.19 No.6

We report on characteristics of specially designed inductively-coupled-plasma chemical vapor deposition (ICP-CVD) system for top-emitting organic light emitting diodes (TOLEDs). Using high-density plasma on the order of $10^{11}$ electrons/$cm^3$ generated by linear-type antennas connected in parallel and specially designed substrate cooling system, a 100 nm-thick transparent $SiN_{x}$ passivation layer was deposited on thin Mg-Ag cathode layer at substrate temperature below $50\;^{\circ}C$ without a noticeable plasma damage. In addition, substrate-mask chucking system equipped with a mechanical mask aligner enabled us to pattern the $SiN_x$ passivation layer without conventional lithography processes. Even at low substrate temperature, a $SiN_x$ passivation layer prepared by ICP-CVD shows a good moisture resistance and transparency of $5{\times}10^{-3}g/m^2/day$ and 92 %, respectively. This indicates that the ICP-CVD system is a promising methode to substitute conventional plasma enhanced CVD (PECVD) in thin film passivation process.

Tension Band 내고정법을 이용한 골절 치료 결과

한기원(Han Ki Won),조덕연(Cho Duck Yun),김기용(Kim Key Young) 대한정형외과학회 1978 대한정형외과학회지 Vol.13 No.4

쥐의 적출 대동맥에 자외선 조사로 유발된 photorelaxation 기작의 생리학적 특성

이한기,홍용근,김경,Lee Han-Ki,Hong Yong-geun,Kim Kyung 대한물리치료학회 2003 대한물리치료학회지 Vol.15 No.2

Isolated rat thoracic aorta which is pharmacologically precontracted by phenylephrine induces photorelaxation when exposed to long wave length UV-light. The aim of the present study was to characterize the mechanism of UV-light induced by photorelaxation in the rat aorta. 1. UV light relaxed both endothelium-intact and -denuded rat aortic rings contracted by phenylephrine. The magnitude of relaxation on UV light was dependent on the exposure time and slightly greatly in endothelium-denuded rings than in endothelium-intact preparations. 2. L-NAME (10 nM - 100 $\mu$M) but not D-NAME completely inhibited the photorelaxation in a concentration dependent manner. 3. The UV-induced relaxation was inhibited by methylene blue (1 - 100 uM), and verapamil (100 nM), and removal of extracellular $Ca^{2+}$. In contrast, UV-light induced photorelaxation was potentiated by $N^{w}$-nitro-L-arginine (L-NNA) treatment. These results suggest that UV light-induced photorelaxation may be due to nitric oxide from exogenously administered L-arginine as well as endogenous nitric oxide donors such as amino acid and arginine derivatives