http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
전기가열방식 스크러버의 NF<sub>3</sub> 제거 효율
문동민,이진복,이지연,김동현,이석현,이명규,김진석,Moon, Dong Min,Lee, Jin Bok,Lee, Jee-Yon,Kim, Dong Hyun,Lee, Suk Hyun,Lee, Myung Gyu,Kim, Jin Seog 한국분석과학회 2006 분석과학 Vol.19 No.6
현재 반도체 및 LCD(Liquid Crystal Display) 제조 공정에 널리 사용하는 $NF_3$는 국제적으로 대기중 배출량에 대한 규제를 실시 중인 온실가스 중의 하나다. 온실가스의 배출량 감축을 위하여 국내 대상 산업체들은 $NF_3$ 배출량의 감소에 지속적으로 노력을 해 오고 있다. 본 연구는 LCD를 제조하는 국내 3사에 설치된 $NF_3$ 처리용 전기가열방식 스크러버(scrubber)의 제거효율(DRE, Destruction and Removal Efficiency)과 process chamber에서의 $NF_3$ 사용 비율(use rate in process)을 측정하였다. 스크러버의 효율을 정확하게 측정하기 위하여, 비활성 기체인 He을 일정 유량으로 주입시켜주는 방법으로 시료를 채취하고, 정밀 가스질량분석기(Gas-MS)를 이용하여 시료 중 화학종들의 분압을 측정하였다. 세 회사에 설치되어 있는 스크러버의 효율을 측정한 결과, 2004년 이전에 설치한 스크러버의와 그 이후 개선한 스크러버의 DRE는 각각 52%와 95% 이상임을 확인하였다. 또한 Process chamber의 $NF_3$ 사용 효율은 1세대 및 2세대 공정라인에 설치한 RFSC(Radio Frequency Source Chamber)의 경우 75% 보다 낮지만, 3세대 이상 라인에 설치한 RPSC(Remote Plasma Source Chamber)의 경우는 95% 이상으로 측정이 되었다. 반도체 및 디스플레이 공정에 개선된 스크러버와 RPSC식 process chamber를 사용할 경우 $NF_3$ 배출량을 99.95% 이상 줄일 수 있을 것으로 예상된다. 따라서 $NF_3$에 대한 국내 3사의 온실가스 감축 목표가 성공적으로 이루어 질 것으로 예상된다.
문동민,진성아 국제문화기술진흥원 2020 The Journal of the Convergence on Culture Technolo Vol.6 No.3
Motion sickness or dizziness caused by visual and other sensory inconsistencies In virtual reality content seems to be a major problem. To solve the problem, research has been actively underway to satisfy the five senses. Among them, the most researches on the touch are many studies on hardness and texture, but the studies on temperature seem relatively small. In this paper, we analyze the temperature sensation based on the amount of heat energy moving from high to low temperature, not the material temperature. Because heat energy is determined by the heat conductivity, temperature, and area of contact, which are the inherent characteristics of a material, the degree of heat felt by a person depends on the type of material, the temperature of the material and the area of contact with the object. The thermal energy shift per unit time of the material was calculated using the thermal conductivity law and the specific heat formula, and the thermal energy reproduction method that changes per unit time of the material was studied using the thermoelectric element. We present empirical data to show whether thermal energy of a specific object can be expressed by arbitrary temperature regulation in virtual environment, and confirm that it is a thermal conduction model applicable to virtual reality contents as a haptic glove in addition to VR devices. 가상현실 콘텐츠에서 시각과 다른 감각의 불일치로 인한 멀미나 어지럼증이 큰 문제로 논란이 되고 있다. 해당 문제를 해결하기 위해 오감을 만족시키는 기기들이 연구가 활발히 진행 중이다. 그중 촉감에 관한 연구가 가장 많은데 경도나 질감에 의한 연구는 많지만 온도의 관한 연구가 상대적으로 적다. 본 논문에서는 재질의 온도가 아닌 고온에서 저온으로 이동하는 열에너지의 양을 기반으로 온도감각에 대해 해석한다. 열에너지는 물질의 고유특성인 열전도도와 온도, 접촉면적 등에 의해 결정되기 때문에 재질의 종류, 재질과 손의 온도, 물체와 닿는 부위에 따라 사람이 느끼는 열의 정도가 달라진다. 열전도법칙과 비열공식을 이용해 재질의 단위시간당 열에너지 이동량을 계산하고 열전소자를 이용하여 재질의 단위시간당 변하는 열에너지 재현방법을 연구하였다. 가상에서의 임의적 온도 조절로 특정 물체의 열에너지를 표현할 수 있는지 실증자료를 제시하고 VR기기에 더해 햅틱글러브로 가상현실 콘텐츠에서 적용 가능한 열전도 모델임을 확인한다.