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오늘 본 자료
게이트를 상정한 니켈 코발트 복합실리사이드 박막의 물성연구
김상엽,정영순,송오성,Kim, Sang-Yeob,Jung, Young-Soon,Song, Oh-Sung 한국마이크로전자및패키징학회 2005 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.12 No.2
We fabricated Ni/Co(or Co/Ni) composite silicide layers on the non-patterned wafers from Ni(20 nm)/Co(20 nm)/poly-Si(70 nm) structure by rapid thermal annealing of $700{\~}1100^{\circ}C$ for 40 seconds. The sheet resistance, cross-sectional microstructure, and surface roughness were investigated by a four point probe, a field emission scanning electron microscope, and a scanning probe microscope, respectively. The sheet resistance increased abruptly while thickness decreased as silicidation temperature increased. We propose that the poly silicon inversion due to fast metal diffusion lead to decrease silicide thickness. Our results imply that we should consider the serious inversion and fast transformation in designing and process f3r the nano-height fully cobalt nickel composite silicide gates. 궁극적으로 게이트를 저저항 복합 실리사이드로 대체하는 가능성을 확인하기 위해 70 nm 두께의 폴리실리콘 위에 각 20nm의 Ni, Co를 열증착기로 적층순서를 달리하여 poly/Ni/Co, poly/Co/Ni구조를 만들었다. 쾌속열처리기를 이용하여 실리사이드화 열처리를 40초간 $700{\~}1100^{\circ}C$ 범위에서 실시하였다. 복합 실리사이드의 온도별 전기저항변화, 두께변화, 표면조도변화를 각각 사점전기저항측정기와 광발산주사전자현미경, 주사탐침현미경으로 확인하였다. 적층순서와 관계없이 폴리실리콘으로부터 제조된 복합실리사이드는 $800^{\circ}C$ 이상부터 급격한 고저항을 보이고, 두께도 급격히 얇아졌다. 두께의 감소는 기존의 단결정에서는 없던 현상으로 폴리실리콘의 두께가 한정된 경우 금속성분의 inversion 현상이 커서 폴리실리콘이 오히려 실리사이드 상부에 위치하여 제거되기 때문이라고 생각되었고 $1000^{\circ}C$ 이상에서는 실리사이드가 형성되지 못하였다. 이러한 결과는 나노급 두께의 게이트를 저저항 실리사이드로 만 들기 위해서는 inversion과 두께감소를 고려하여야 함을 의미하였다.
융복합을 활용한 고령여성의 건강운동프로그램이 인슐린저항성 및 혈중지질에 미치는 영향
김상엽 한국디지털정책학회 2016 디지털융복합연구 Vol.14 No.4
The purpose of this study was to examine the effect of Health exercise program on insulin resistant and blood lipid factor of elderly women for 12 weeks. The two groups were classified into one group(exercise group: EG) with aerobics exercise and band exercise both, the other group(control group: CG) controled. The group of EG was applied to doing aerobics exercise and band exercise 4 times for 60 minutes a week. The intensity of the exercise was ACSM. Each measurement variable was measured before and after 12 weeks to investigate the effect. During this study the result came out with this step. First, EG have shown interaction with blood lipid(TC, HDL, LDL, TG) and blood pressure(SBP, DBP)factor. Second, EG have shown interaction with insulin resistant(insulin, glucose). Therefore, this study gives us positive result to effect of health exercise program on blood lipid factor and insulin resistant factor of elderly women for 12 weeks. 본 연구는 고령여성의 12주간 건강운동프로그램을 통해 인슐린저항성 및 혈중지질의 변화를 살펴보고자 하였다. 이를 위해 운동집단(EG)과 통제집단(CG)으로 구분하여 두 그룹을 선정하였다. 운동집단에는 건강운동프로그램을 12주간 적용하였으며, CG는 통제집단으로서 프로그램에 참여하지 않고 비교집단으로 활용하였다. 운동집단에 적용된 건강운동프그램은 유산소운동과 밴드운동을 주 당 4회 준비운동과 정리운동을 포함해 60분간 실시되었다. 자료분석은 고령여성의 12주간 건강운동프로그램 적용 전과 후에 측정하여 프로그램의 효과를 검증하고자 하였다. 이와 같은 절차를 통해 다음과 같은 결론을 얻었다. 첫째, 고령여성의 12주간의 건강운동프로그램은 혈중지질과(TC, HDL, LDL, TG) 혈압(SBP, DBP) 변화에 유의한 상호작용효과를 나타냈다(p<.05). 둘째, 고령여성의 12주간의 건강운동프로그램은 인슐린저항성(insulin, glucose) 변화에 유의한 상호작용효과를 나타냈다(p<.05). 본 연구는 고령여성의 건강운동프로그램을 통해 인슐린저항성 및 혈중지질 변화에서 긍정적 개선을 나타냈다.
신호위반 단속시스템 설치에 따른 교통사고 감소 효과와 편익산정 기법 연구
김상엽,최재성,김명규,성현진 한국ITS학회 2011 한국ITS학회논문지 Vol.10 No.1
신호위반 단속시스템은 신호교차로에서 운전자들이 신호를 위반해서 통과하는 것을 방지하기 위해 설치하는 지능형교통체계 사업의 한 형태로서 지난 십여년간 우리나라에서 큰 호응을 얻어 설치되는 중이다. 그 동안 사람들은 대개 신호위반 단속시스템을 설치하면 당연히 운전자 안전이 제고될 것으로 받아들였기 때문에 신호위반 단속시스템을 설치하는데 문제가 없었다. 그러나 향후 신호위반 단속시스템을 설치할 때 보다 효율성을 더 높이고 일반인들로부터 보다 큰 호응을 끌어내기 위해서는 신호위반 단속시스템 설치 효과를 좀 더 정확히 분석할 수 있는 방법이 요구된다. 이 요구를 만족시키기 위해, 이 연구는 다음과 같은 연구를 수행했다. 첫째, 신호위반 단속시스템의 효과를 밝히기 위해 신호위반 단속시스템 설치 이후 나타난 운전자들의 신호위반 건수를 분석했다. 둘째, 신호위반 단속시스템 설치 이후 나타난 교통사고 발생건수를 수집해서 신호위반 건수와 비교했다. 셋째, 신호위반 건수와 교통사고 발생건수 간 관계식을 규명하기 위해 음이항분포를 적용한 통계분석을 수행했으며, 교통사고 건수는 신호위반 단속시스템 설치여부, 교통량, 차량속도, 신호현시 수, 주도로 직진 차로 수와 밀접한 관계가 있는 것으로 밝혀졌다. 끝으로, 이 연구에서 산출한 분석결과를 토대로 하여 신호위반 단속시스템 설치 이후 나타나는 안전성 효과를 분석할 수 있는 기법을 제시했는데, 이 기법은 신호위반 단속시스템이 나타낼 경제적 효과를 분석하는데 기여할 것이다. The RLC systems is one of the intelligent transportation systems that has gained a nation-wide support for last decades and being installed to discourage motorists from running the red lights at signalized intersections. It is taken for granted that the RLC will provide motorists with increased safety, so that their installments are always justifiable. However, in order to acquire more efficiency and wider supports from the general public in future RLC installments, an improved methodology for analyzing the effects of the RLC systems is required. In order to satisfy this requirement, this research performed the following tasks. First, the number of signal violations after the RLC systems were investigated in order to check its resulting effects. Second, the number of crashes after the RLC systems were collected and compared with the number of signal violations. Third, a statistical analysis was carried out to develop the relationships between the signal violations and the crashes based on negative binomial distribution. The analysis revealed that the number of crashes has a close relationship with the RLC placement, traffic volume, vehicle speed, the number of phases, and the number of lanes for major approaches. Finally, based on the results found in this analysis, this research presents a methodology for analyzing the safety effects of placing the RLC that should be of service when investigating the economic consequences of the RLC systems.