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- 저자 : 윤상원(Yun, Sang-won) (검색결과 80 건)
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Plasma Assisted ALD 장비를 이용한 니켈 박막 증착과 Ti 캡핑 레이어에 의한 니켈 실리사이드 형성 효과
윤상원,이우영,양충모,하종봉,나경일,조현익,남기홍,서화일,이정희,Yun, Sang-Won,Lee, Woo-Young,Yang, Chung-Mo,Ha, Jong-Bong,Na, Kyoung-Il,Cho, Hyun-Ick,Nam, Ki-Hong,Seo, Hwa-Il,Lee, Jung-Hee 한국반도체디스플레이기술학회 2007 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3
The NiSi is very promising candidate for the metallization in 45 nm CMOS process such as FUSI(fully silicided) gate and source/drain contact because it exhibits non-size dependent resistance, low silicon consumption and mid-gap workfunction. Ni film was first deposited by using ALD (atomic layer deposition) technique with Bis-Ni precursor and $H_2$ reactant gas at $220^{\circ}C$ with deposition rate of $1.25\;{\AA}/cycle$. The as-deposited Ni film exhibited a sheet resistance of $5\;{\Omega}/{\square}$. RTP (repaid thermal process) was then performed by varying temperature from $400^{\circ}C$ to $900^{\circ}C$ in $N_2$ ambient for the formation of NiSi. The process temperature window for the formation of low-resistance NiSi was estimated from $600^{\circ}C$ to $800^{\circ}C$ and from $700^{\circ}C$ to $800^{\circ}C$ with and without Ti capping layer. The respective sheet resistance of the films was changed to $2.5\;{\Omega}/{\square}$ and $3\;{\Omega}/{\square}$ after silicidation. This is because Ti capping layer increases reaction between Ni and Si and suppresses the oxidation and impurity incorporation into Ni film during silicidation process. The NiSi films were treated by additional thermal stress in a resistively heated furnace for test of thermal stability, showing that the film heat-treated at $800^{\circ}C$ was more stable than that at $700^{\circ}C$ due to better crystallinity.
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페라이트 층을 갖는 유전체 슬랩 도파관 격자 구조의 해석
윤상원,Yun, Sang-Won 대한전자공학회 1989 전자공학회논문지 Vol. No.
페라이트 층을 갖는 유전체 도파관이 갖는 비가역 전자파 전파특성을 아이솔레이터와 같은 비가역 소자에 응용 가능하도록 페라이트로 되어 있는 격자 구조를 제시하였다. 격자 구조를 유전체 도파관의 계단형 불연속이 cascade로 연결된 것으로 보고, 모드 정합법으로 구한 계단형 불연속의 산란 행렬을 이용하여 격자 구조의 특성을 해석하였다. 주기적인 격자 구조의 저지 주파수 대역이 사용하고자 하는 주파수 근처에 있을 때와 상당히 떨어져 있는 두 경우의 비가역 산란 특성을 35GHz 근처에서 해석하였으며, X-Band에서 제안된 격자 구조를 제작 실험하였다. In this paper, dielectric waveguide gratings, which can be applied to the nonreciprocal devices such as isolators, are proposed. Those grating structures can be considered as cascade connections of step discontinuities between uniform dielectric waveguides and another uniform dielectric waveguides with a ferrite layer. Therefore, the nonreciprocal scattering characteristics of such gratings can be obtained form the scattering characteristics of step discontinuities and uniform dielectric wave guides. For the periodic grating structures, band-reject characteristics can be located inside or outside the frequency range of interest. Numerical analyses are performed at 35GHz and experimental results at X-band are also presented.
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Report_Invention & Creation - 발명창의력 증진을 위한 전문블록 개발
윤상원,Yun, Sang-Won 한국발명진흥회 2010 發明特許 Vol.35 No.6
본 연구에서는, 방명창의력 증진을 위한 전문 블록(다모블록)개발을 시도하고, 대학생들의 사용성 평가를 통해 통계적 검증이 이루어졌다. 개발된 다모블록은 각 면을 오목과 블록구조로 형성하여, 4면을 자유롭게 결합하는 슬라이드 방식의 특허기술이 적용된다. 결론적으로 개발된 다모블록은 발명교구로 사용될 수 있음은 물론, 발명원리를 발견하고 학생들의 다양한 발명사고 능력개발에 유용한 블록으로 평가된다.
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Yun Sangwon(윤상원) 고려대학교 한국사연구소 2013 International Journal of Korean History Vol.18 No.1
이 글의 목적은 시베리아 내전이 끝난 1922년 이후 연해주 한인사회 정치지형의 변화를 밝혀내는 것이다. 내전에서 소비에트적군과 함께 백군 및 제국주의 간섭군들과 싸웠던 연해주의 한인들은 승리자가 되었다. 그러나 전쟁의 시기가 끝나고 건설의 시기가 시작되면서 연해주 한인사회의 정치지형도 그에 맞추어 변화되었다. 내전 기간에 소비에트적군 및 러시아 빨치산들과 함께 활동하던 한인 빨치산들도 새로운 길을 찾아야 했다. 대다수의 한인들은 연해주에 남아 그곳에 사회주의 사회를 건설하는 과업에 참여했다. 그들은 연해주에서 러시아혁명을 완수하는 사업에 노력을 기울였다. 한편 내전 이후 조선혁명을 위해 새로운 투쟁지를 찾아 떠난 이들이 있다. 그들은 만주와 중국 관내로 진출하여 항일투쟁을 지속했다. 조선혁명의 완수를 위해 조선으로 파견되어 조선공산당 조직운동과 민족해방운동을 전개한 이들도 있었다. 이들 중 많은 수는 상해파 고려공산당과 관계를 맺고 있던 인물들이었다. 이들이 떠난 빈 자리를 내전 종결과 함께 시베리아에서 연해주로 돌아온 한인들이 채워나갔다. 그들은 대체로 이르쿠츠크파 고려공산당 계열과 직간접적인 관계를 가진 인물들이었다. 특히 ‘4월 참변’으로 연해주를 떠났던 예전 대한국민회의 지도자들도 속속 연해주로 몰려들었다. 이들은 내전이 끝난 후 사회주의 건설의 도정에 서 있는 연해주에서 당과 정부의 중요 지위를 차지하며 한인사회에 영향력을 확대해 갔다. 이러한 일련의 과정을 통해 1920년대 중반 연해주 한인사회의 정치지형은 예전 대한국민의회 성원들이 주도하게 되었다. 이것은 블라디보스톡을 중심으로 한 연해주 지방이 이제 더 이상 한인 민족해방운동의 중심지로 역할을 하지 못하게 되었다는 사실을 의미한다. 한일합방 이후부터 1920년대 초까지 해외 민족해방운동의 중심지 역할을 하던 연해주 지역은 이후 민족해방운동과는 일정한 거리를 두게 되었다. 다만 러시아 내에서 사회주의 건설에 매진하며 한인들의 생활을 향상시키는 활동이 주로 이루어졌다. The purpose of this article is to shed light on how the political topography of the Korean community in the Russian Maritime Province changed, in 1922 and thereafter, with the end of the Russian Civil War in Siberia. Koreans in the region had fought on the side of the Soviet Red Army against the White Army of Russia and the international intervention army in that war, and had come out as victors. After the war, came an era of reconstruction. Koreans in the region had to adapt to the changing situation in the province. Korean partisan guerrillas who had fought on the side of the Red Army and Russian guerrillas now had to build a new life. A majority of them chose to stay there and applied themselves to the work of building socialism and participating in the fulfillment of the Russian revolution. Meanwhile, some of them chose to continue the struggle for their home country’s independence and left for new sites, including Manchuria and China, to campaign against Imperial Japan. Some of them were dispatched to Korea with the aim of fulfilling the objective of the Korean revolution and helping organize the Korean Communist Party and the national liberation movement. Many of these people were affiliated with the Shanghai Faction of the Korean Communist Party. The positions left vacant by their departure came to be filled by people who had returned to the Russian Maritime Province following the end of the civil war. They were mostly those affiliated, directly or indirectly, with the Irkutsk Faction of the Korean Communist Party. Senior members of the old Korean National Council, who had left the Maritime Province after the massacre of Koreans in the province’s New Korean Town by the Japanese army, in April 1920, returned in droves. They soon took up important positions in the party and the soviet, and so increased their influence on the Korean community. In this process, senior members of the old Korean National Council came to play a leading role in the province. Such was the political topography of the Korean community in the Russian Maritime Province in the mid-1920s. Amid such changes, the Russian Maritime Province, including Vladivostok, which had served as the center of the overseas national liberation movement for Korea between 1910 and the early 1920s, could no longer play such a role. Koreans in the province applied themselves to working for the construction of socialism and for the enhancement of the living standards of Koreans in Russia.
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시베리아내전기 연해주 수찬지방 한인빨치산부대의 조직과 활동
윤상원(Yun Sang-won) 가천대학교 아시아문화연구소 2010 아시아문화연구 Vol.19 No.-
The paper presents an in depth study on the establishment of an anti-Japanese partisan in Suchan province of the Primorskii kraii during the Siberian Civil War. The Suchan Korean Partisan Army(SKPA hereafter) initiated various Korean armed forces and the Red Army in Siberia. It was organized in 1918 in the Nikolayevka(Sinyeong-dong), a local Korean village in Suchan province. After the SKPA was reorganized in late 1920, it was associated with other local units of the Korean and Russian Partisan in the Third-Fuzin, named 'Primorskii kraii Korean Conference'. The study deals with the historical development of SKPA focusing on significant issues that shaped its heroic contribution. The movement which was guided by a socialist principle as majority of its army were peasant farmers from Suchan province. Contact with the Russian partisan forces of the region strengthened its socialist nature. It underwent the process of dissolution until it was finally reorganized. Incidents like the uprising of the Czech Republic army and the dispatch of Japanese military in Siberia among others contributed to its further development. It also followed extension and integration with other Korean nationalist movement as well as in Far East of Russia. Finally, a major turnaround happened as the movement tried to consolidate after the April incident in Primorski Kraii. It then continued to fight against imperialist intervention group and the White Army.
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