고밀도 플라즈마에 의한 $CeO_2$ 박막의 식각 메커니즘 연구

오창석,김창일,Oh, Chang-Seok,Kim, Chang-Il 대한전자공학회 2001 電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices) Vol.38 No.12

$CeO_2$ 박막은 강유전체 메모리 디바이스 응용을 위한 금속-강유전체-절연체-실리콘 전계효과 트랜지스터 구조에서의 강유전체 박막과 실리콘 기판 사이의 완충층으로서 제안되어지고 있다. 본 논문에서는 $CeO_2$ 박막을 유도 결합 플라즈마를 이용하여 $Cl_2$/Ar 가스 혼합비에 따라 식각하였다. 식각 특성을 알아보기 위한 실험조건으로는 RF 전력 600 W, dc 바이어스 전압 -200 V, 반응로 압력 15 mTorr로 고정하였고 $Cl_2$($Cl_2$+Ar) 가스 혼합비를 변화시키면서 실험하였다. $Cl_2$/($Cl_2$+Ar) 가스 혼합비가 0.2일때 $CeO_2$ 박막의 식각속도는 230 ${\AA}$/min으로 가장 높았으며 또한 $YMnO_3$에 대한 $CeO_2$의 선택비는 1.83이였다. 식각된 $CeO_2$ 박막의 표면반응은 XPS와 SIMS를 통해서 분석하였다. XPS 분석 결과 $CeO_2$ 박막의 표면에 Ce와 Cl의 화학적 반응에 의해 CeCl 결합이 존재함을 확인하였고, 또한 SIMS 분석 결과로 CeCl 결합을 확인하였다. $CeO_2$ 박막의 식각은 Cl 라디칼의 화학적 반응의 도움을 받으며 Ce 원자는 Cl과 반응을 하여 CeCl과 같은 혼합물로 $CeO_2$ 박막 표면에 존재하며 이들 CeCl 혼합물은 Ar 이온들의 충격에 의해 물리적으로 식각 되어진다. Cerium oxide ($CeO_2$) thin film has been proposed as a buffer layer between the ferroelectric thin film and the Si substrate in Metal-Ferroelectric-Insulator-Silicon (MFIS) structures for ferroelectric random access memory (FRAM) applications. In this study, $CeO_2$ thin films were etched with $Cl_2$/Ar gas mixture in an inductively coupled plasma (ICP). Etch properties were measured for different gas mixing ratio of $Cl_2$($Cl_2$+Ar) while the other process conditions were fixed at RF power (600 W), dc bias voltage (-200 V), and chamber pressure (15 mTorr). The highest etch rate of $CeO_2$ thin film was 230 ${\AA}$/min and the selectivity of $CeO_2$ to $YMnO_3$ was 1.83 at $Cl_2$($Cl_2$+Ar gas mixing ratio of 0.2. The surface reaction of the etched $CeO_2$ thin films was investigated using x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) analysis. There is a Ce-Cl bonding by chemical reaction between Ce and Cl. The results of secondary ion mass spectrometer (SIMS) analysis were compared with the results of XPS analysis and the Ce-Cl bonding was monitored at 176.15 (a.m.u). These results confirm that Ce atoms of $CeO_2$ thin films react with chlorine and a compound such as CeCl remains on the surface of etched $CeO_2$ thin films. These products can be removed by Ar ion bombardment.

재활의학과 진료비 비중에 따른 병원 재무지표 비교연구

오창석,정구진,박보경,배성권,Oh, Chang Seok,Jung, Cu Jin,Park, Bo Kyung,Bae, Sung Kwon 보건의료산업학회 2007 보건의료산업학회지 Vol.1 No.1

The current hospital industry is showing relatively low profitability in comparison with other industries due to the low medical fees and high costs. Therefore, our government presented the direction of improvement through model execution and support of the specialized hospitals. However, it is estimated that the specialized hospitals also will show differentiated management performances in accordance with their specialized fields due to the characteristics of medical treatment. Therefore, this study had attempted an analysis on the financial index in accordance with the weight of medical treatment items for the rehabilitative medicine department among the whole hospital groups through getting out of analyzing financial indices of individual hospitals centered at their costs. For this p개pose, this study had carried out its research by partially reciting the study on the plan for utilizing participations of private health resources to expand rehabilitative medicine services into the private people of the Korea Health Industry Development Institute(KHIDI). As its results, it was shown that the stability, profitability, activity and productivity of hospitals with high weight of medical treatment for the rehabilitative medicine department were lower than those for the general hospitals. To support smooth operations of these hospitals 'with high weight of medical treatment for the rehabilitative medicine department or of specialized rehabilitation hospitals, it is judged that the plan such as the support for hospital management fund and the additional recognition on the rehabilitative fees, etc. together with the actualization of medical fees must be provided for the institutions which are providing rehabilitative medical services more than the fixed percentage and being equipped with the sufficient medical equipment and personnel to do them.

지적측량수수료의 개별공시지가 적용 개선방안

오창석,Oh, Chang-Seok 한국국토정보공사 공간정보연구원 2014 지적과 국토정보 Vol.44 No.1

본 논문은 2011년부터 시행되고 있는 지적측량수수료의 개별공시지가 적용 제도의 문제점과 개선방안을 제시하기 위하여 각종 관련 전문서적, 학술논문, 국토교통부의 관련 자료를 참고하고 대한지적공사 광주전남본부의 지적측량접수 담당직원들을 대상으로 설문을 실시하여 그 내용과 결과들을 두 가지로 분석하여 문제점과 개선방안을 제시하였다. 먼저 개별공시지가 적용 방법의 개선방안으로 가격대별 지가계수의 세분화와 개별공시지가가 없는 토지에 대해서는 표준지와 토지가격비준표 활용 방안을 제시하였다. 다음으로 지적측량접수 담당자의 개별공시지가 교육 및 교재와 홍보자료 미비 등의 문제점에 대한 개선방안으로는 대한지적공사 지적연수원에 개별공시지가 과정과 사이버 교육 등을 신설하여 담당직원과 일반직원들에게 교육하여 전문성을 강화하고 담당자의 입장에서 이해하기 쉬운 개별공시지가 관련 교재와 국민들에게 지적측량수수료에 개별공시지가 적용의 필요성과 방법에 대한 홍보자료를 작성하여 배포하고 이를 통해 정부3.0을 실현할 것을 제시하였다. This study presents the two major problems and those improvements of Cadastral Surveying Fee System. The system has been attempted to apply for Individual Public Land Price since 2011. To tackle those problems, this study examines a variety of literatures such as specialty publications, academic thesis, and reports from government. This study applies questionnaire survey method. And the data were collected by the personnel in charge of receiving cadastral surveying application in Gwangju and Jellanamdo branch, LX Korea Cadastral Survey Corp. In order to apply Individual Public Land Price to Cadastral Surveying Fee System, this study suggests subdivision of land at price and application of sample lot and land price standard index table. A number of curriculums provided by training institute in LX Korea Cadastral Survey Corp., education materials and cyber education method are necessary to promote awareness of personnel in charge. Publicity activities are also required to fulfill governmental basis.

메기 송과체의 신경세포에 관한 조직화학 및 전자현미경적 연구

오창석,김영우,김백윤,Oh, Chang-Seok,Kim, Young-Woo,Kim, Baik-Yoon 한국현미경학회 1995 Applied microscopy Vol.25 No.2

This study was carried out to clarify the neuronal organization in pineal body of catfish. The pineal body was observed by acetylcholinesterase histochemistry and electron microscopy. The neuronal types observed in the pineal body of catfish were bipolar and multipolar cells. Multipolar cells were found throughout the pineal end vesicle and whole stalk, but bipolar cells only in the end vesicle and distal stalk. The pineal tract was formed by the long axons of these neurons. The neuronal clusters(pineal ganglia) were also observed in the end vesicle. In summary, the type of neurons in catfish pineal was different from that of other species, and the neuronal distribution differed depending on the region of pineal body. These results reflect the interspecific and regional differences of the pineal organization of fishes.

손실 비용 및 ㎿+㎹Ar-miles 배전 요금제를 고려한 분산전원의 위치 결정

오창석(Chang-Seok Oh),박종근(Jong-keun Park),정하섭(Ha Sub Jung),김유창(Yu Chang Kim),유태현(Tae Hyun Yoo),민창기(Chang Ki Min) 대한전기학회 2009 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2009 No.7

이 논문은 ㎿-㎹Ar mile 법에 의한 요금제를 배전계통에 대하여 적용하며, 배전손실에 의한 비용과의 비교를 목표로 하였다. 특히 분산전원이 배전계통에 투입되는 경우에 있어서 투입되는 부하점에 따라 배전 손실 내지 배전요금이 변할 수 있음을 확인하였고, 배전손실이 최소가 되는 지점과 배전요금이 최저가 되는 지점이 반드시 일치하지는 않음을 알 수 있었다. 8모선의 배전계통에서 시뮬레이션이 이루어졌으며, 각 배전선로 별로 임피던스, 길이, 용량, 연간 필요 수입액등을 정하였다. 논의의 간소화를 위하여 분산전원은 상시 정격 출력하는 것으로 가정하였다.

HV가 다른 0.57 wt.% 탄소강의 미소 균열에 따르는 피로 한도

오창석 ( Chang-seok Oh ),구경희 ( Kyoung-hee Gu ),이금화 ( Gum-hwa Lee ),남기우 ( Ki-woo Nam ) 한국산업융합학회 2022 한국산업융합학회 논문집 Vol.25 No.2

This study evaluated the fatigue limit depending on microcracks using 0.57 wt.% carbon steel with different Vickers hardness. The fatigue limit was almost constant up to a certain limit regardless of the carbon content. However, the fatigue limit decreased rapidly as the size of the crack increased. As the crack aspect ratio was smaller, the fatigue limit of the depth (point A) a lot decreased. The fatigue limit ratio of the depth decreased significantly because the crack propagation in the depth direction was fast as the crack aspect ratio became smaller. On the other hand, the fatigue limit ratio of surface cracks increased as the crack aspect ratio decreased.

청소년의 통신 언어 사용실태 연구

오창석(Chang Seok Oh) 한국청소년문화연구소 2010 청소년 문화포럼 Vol.- No.25

개별공시지가 담당공무원 교육의 문제점과 개선방안 연구

오창석(Oh, Chang Seok),임이택(Lim, Rhee Taik) 한국지적학회 2011 한국지적학회지 Vol.27 No.2

본 연구에서는 국토해양부에서 실시하고 있는 개별공시지가 담당공무원의 교육 현황을 전체적으로 분석하고 타 직무교육과의 비교 등을 통해 개별공시지가 담당공무원에 대한 교육의 문제점을 도출한 후 이에 대한 개선방안을 제시 하였다. 개별공시지가 교육의 문제점으로는 교육인원 및 횟수의 부족과 교육과정 및 교육기관의 부족으로 단조로운 교육의 문제점과 개별공시지가 조사․산정지침 시달 교육 또한 비전문 강사에 의해 형식적으로 매년 반복 운영되고 있어 교육의 기대효과는 거의 없는 실정이다. 개선방안을 제시하면 먼저 국토해양인재개발원의 교육인원 및 횟수 확대로 담당공무원들이 2∼3년에1회 이상 이수 하도록 교육이수 비율을 33%이상으로 하고 교육 횟수 또한 10회로 늘려 업무에 지장 없는 시기에 교육을 참석할 수 있을 것이며, 다음으로는 사이버교육 등 다양한 교육과정 및 교육기관을 신설하여 담당공무원이 자기역량 및 참여하기 용이한 교육과정과 교육기관을 선택할 수 있도록 하여 할 것이다. 끝으로 차기년도 개별공시지가 조사․산정지침 시달 교육도 전문 교재개발 및 강사양성을 하여 국토해양부에서 직접 소집 또는 전국을 순회하면서 교육을 실시할 것을 제시하였다. This study firstly analyzes the overall education trends of the public officials taking part in Official Land Price appraising affairs under the supervision of Transportation and Maritime Affairs, and then to suggest the better educational system it indicates its problems and strategies of duty training throughout making a comparison with others. Several problems were found and it is difficult to expect effectiveness of duty training due to such factors like insufficient educational facilities, lack of participants, materials, and competent instructors as well. In response to these problems, this study suggests a number of strategies. First, The Training Institute for Land Transportation and Maritime Affairs (MLTM) should increase the opportunity to accommodate more trainees. When MLTM provides the duty trainings, the training participation rate should be more than 33% and more than 10 times a year. Second, it is imperative that MLTM establish other sources of educational approaches such as Internet or cyber tutoring. Finally, the Transportation and Maritime Affairs need to consider creating a task group who specialized in tutoring Official Land Price appraising Affairs in nationwide.

한국보건행정학회 창립 25주년 기념 학술대회 : 아시아 빈곤국가의 모성보건 개선에서의 국제원조사업 투입효과성에 분석

오창석 ( Chang Seok Oh ) 한국보건행정학회 2013 한국보건행정학회 학술대회 논문집 Vol.2013 No.2

도로안전 투자실적 및 사고특성 분석을 통한 도로안전사업 효과평가

오창석(OH, Chang-Seok),김동규(Kim, Dong-Kyu),조준한(Cho, Jun-Han),박병정(Byung Jung Park) 대한교통학회 2015 대한교통학회 학술대회지 Vol.72 No.-

이 연구는 우리나라 도로안전 투자 현황 및 규모를 조사하고 사고특성 분석을 통해 도로안전 투자에 대한 효과평가와 전략 수립 을 위한 시사점 도출을 목적으로 한다. 이를 위해 이 연구는 먼저 국토교통부 교통안전시행계획과 관련 기관 자료조사를 토대로 우 리나라 도로안전 투자 총량을 가늠해보았다. 또한, 도로안전 국제수준, 도로교통사고 발생원인 및 유형별 특성, 도로사고 취약군, 지 방자치단체별 사고 등에 대한 특성분석을 통해 우리나라 도로사고 특징 및 위험요인을 진단해 보았다. 분석 결과, 교통사고 감소의 더딘 진행과 선진국과의 비교 격차 증대 등을 근거로 볼때 우리나라의 도로교통사고 개선성과는 미진하다고 판단된다. 특히 노약자 사고 비중 증가와 보행자 사망사고 감소의 정체 문제가 심각한 것으로 관측되었다. 또한, 자전거, 농기계 사망자 수의 경우 비록 발 생 빈도는 낮지만 증감 폭이 크거나 증감률이 등락을 반복하는 등 소빈도・무작위적 사고발생 특성을 보여 선택적 교통안전 및 통제 제도가 필요해 보인다. 한편 발생 대비 사망자 수도 지방도시가 광역시에 비해 전체적으로 높았는데 이는 곧 지방시도의 교통안전 수준 저하가 우리나라 교통사고의 국제수준 저하요인 중 하나로 작용함을 함의한다. 본 연구는 도로안전투자와 사고특성 간의 연관 성을 정량화하는 모형 개발의 기초여구로서 기여할 수 있을 것으로 판단되며, 향후 모형 정립 및 검증 과정을 토대로 객관적이고 효율적인 안전재원 투자 전략 수립에 기여할 수 있을 것으로 사료된다.