웨이퍼 레벨 3D Integration을 위한 Ti/Cu CMP 공정 연구

김은솔,이민재,김성동,김사라은경,Kim, Eunsol,Lee, Minjae,Kim, Sungdong,Kim, Sarah Eunkyung 한국마이크로전자및패키징학회 2012 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.19 No.3

Cu 본딩을 이용한 웨이퍼 레벨 적층 기술은 고밀도 DRAM 이나 고성능 Logic 소자 적층 또는 이종소자 적층의 핵심 기술로 매우 중요시 되고 있다. Cu 본딩 공정을 최적화하기 위해서는 Cu chemical mechanical polishing(CMP)공정 개발이 필수적이며, 본딩층 평탄화를 위한 중요한 핵심 기술이라 하겠다. 특히 Logic 소자 응용에서는 ultra low-k 유전체와 호환성이 좋은 Ti barrier를 선호하는데, Ti barrier는 전기화학적으로 Cu CMP 슬러리에 영향을 받는 경우가 많다. 본 연구에서는 웨이퍼 레벨 Cu 본딩 기술을 위한 Ti/Cu 배선 구조의 Cu CMP 공정 기술을 연구하였다. 다마싱(damascene) 공정으로 Cu CMP 웨이퍼 시편을 제작하였고, 두 종류의 슬러리를 비교 분석 하였다. Cu 연마율(removal rate)과 슬러리에 대한 $SiO_2$와 Ti barrier의 선택비(selectivity)를 측정하였으며, 라인 폭과 금속 패턴 밀도에 대한 Cu dishing과 oxide erosion을 평가하였다. The wafer level stacking with Cu-to-Cu bonding becomes an important technology for high density DRAM stacking, high performance logic stacking, or heterogeneous chip stacking. Cu CMP becomes one of key processes to be developed for optimized Cu bonding process. For the ultra low-k dielectrics used in the advanced logic applications, Ti barrier has been preferred due to its good compatibility with porous ultra low-K dielectrics. But since Ti is electrochemically reactive to Cu CMP slurries, it leads to a new challenge to Cu CMP. In this study Ti barrier/Cu interconnection structure has been investigated for the wafer level 3D integration. Cu CMP wafers have been fabricated by a damascene process and two types of slurry were compared. The slurry selectivity to $SiO_2$ and Ti and removal rate were measured. The effect of metal line width and metal density were evaluated.

How democracy is related with innovation in organizations: in public organizations in Korea

Kim, Eunsol(김은솔),Lee, Suk-Won(이석원) 한국조직학회 2023 한국조직학회보 Vol.20 No.2

시각적 사고 전략(VTS)을 적용한 설치미술 감상 지도 방안 : 고등학교 미술교육을 중심으로

김은솔(Eunsol KIM),심영옥(Youngok SIM) 한국조형교육학회 2021 造形敎育 Vol.- No.77

본 연구는 시각적 사고 전략을 적용한 설치미술 감상 프로그램을 개발하고 고등학생을 대상으로 프로그램을 감상 영역 수업에 적용하여, 학습자가 설치미술의 가치를 이해하고 시각적 사고 전략을 통해 자기주도적인 설치미술의 감상 및 비평 능력을 함양하는 데 연구 목적을 두었다. 격변하는 시각 문화 속에서 이미지와 정보, 시각매체에 대해 이해하고 비판적 사고력으로 해석할 수 있는 시각적 사고 전략은 토의 수업을 통해 학습자의 언어적 사고의 발달을 촉진한다. 이러한 시각적 사고 전략을 적용한 프로그램의 교육적 효과는 다음과 같다. 첫째, 설치미술의 이해력이 향상되었다. 둘째, 대화학습을 통한 시각적 의사 소통 능력이 함양되었다. 셋째, 문화 존중 능력 및 다원주의적 태도가 증진되었다. 본 연구의 활성화 방안으로는 다음과 같다. 첫째, 스마트 미디어 기반의 미술 감상 프로그램이 개발되어야 한다. 둘째, 미술관·박물관과 연계한 대화형 감상 프로그 램이 활성화되어야 한다. 이러한 시각적 사고 전략은 21세기를 살아가는 학생들에게 필요한 비판적 사고와 의사소통 능력을 함양할 수 있는 기회를 제공한다. This study develops an installation art appreciation program that applies a visual thinking strategy and applies the program to the appreciation domain class for high school students, so that learners understand the value of installation art. The purpose of research was to cultivate criticism. A visual thinking strategy that fosters the ability to understand and critically interpret images, information, and visual media in a changing visual culture promotes the development of learners linguistic thinking through discussion classes focused on conversational methods. The educational effect of the program applying this visual thinking strategy is as follows. First, the understanding of installation art was improved. Second, visual communication skills were cultivated through conversational learning. Third, the ability to respect culture and a pluralistic attitude were improved. The ways to activate this study are as follows. First, an art appreciation program based on smart media should be developed. Second, interactive appreciation programs in connection with art galleries and museums should be activated. This visual thinking strategy provides an opportunity to cultivate critical thinking and communication skills necessary for students living in the 21st century.

겁에 질린 표정 : 브레인 센서 인터페이스를 활용한 바이오 아트

김은솔(Eunsol Kim),김현주(Hyun Ju Kim) 한국디지털콘텐츠학회 2019 한국디지털콘텐츠학회논문지 Vol.20 No.1

Brainwave is physically invisible and can be expressed visually via computer by receiving feedback from the brain sensor interface(BSI). Brainwave data can also be received without moving the body and therefore propose the possibilities of new expression that overcome the limitation in motion sensor interfaces that have been used frequently in various media art practices. By using BSI for creating bio-art works, human thoughts and physical changes can be reflected on the artworks in real time through the data from the brain which is an organ that goes beyond the border of body and mind symbolically. As a result, the viewers can operate and control the artworks by using their own data. In this study, post-human condition in technological environment is explored through the bio-artwork <Petrified Expression> by using brainwave data. The viewers experience both utopian and dystopian future brought by technological advances through the objects interacting with brainwaves. This study eventually aims to propose methodological possibilities of media art expression and new interpretation of its meanings, by creating a bio-artwork using brainwave.

Diverging budget expenses according to election competition : in local governments of Korea

김은솔(Eunsol Kim) 한국정치사회연구소 2024 한국과 국제사회 Vol.8 No.2

Covid-19로 발생하는 폐마스크 수거 및 활용 가능 인공지능 플랫폼

김은솔(Eunsol Kim),강윤아(Yunah Kang),이재인(Jaein Lee),임영재(Youngjae Im) 대한인간공학회 2021 대한인간공학회 학술대회논문집 Vol.2021 No.11

Objective: 본 연구는 마스크 수거 및 재활용 인공지능 플랫폼을 구성하여 개개인의 친환경 활동 참여를 지속적으로 도울 수 있는 플랫폼을 만들고자 한다. Background: Covid-19로 인해 마스크 사용량은 증가하고 있고, 폐마스크 쓰레기로 인한 환경오염의 심각성이 사회문제로 대두되고 있다. 더 나아가 포장 및 배달에 쓰이는 플라스틱 폐기물이 급증하고 있어 이와 같은 폐기물을 처리하는 것 또한 문제가 되고 있다. 따라서 이러한 재활용 가능 폐기물에 대한 관리와 재활용 플랫폼 참여를 유도하는 플랫폼을 만들 필요가 있다. Method: 친환경과 IoT의 접목 관련 문헌 연구를 통해 현재 IoT 기술이 친환경과 얼마나 밀접해 있고 어떤 도움을 줄 수 있는지에 대한 가능성을 수집하였다. 다음으로 플랫폼을 구성하기 전 마스크 수거와 관련한 설문 조사를 진행하여 플랫폼에 필요한 항목들을 도출하였다. 이때 설문 조사 질문은 ‘마스크 수거 필요성에 대한 견해’, ‘마스크 수거함 설치 시 사용유무 및 이유’, ‘친환경 활동 참여유무’로 구성하였다. 그 후 연구자가 앞선 문헌 연구와 시장조사, 설문 조사를 토대로 Card Sorting을 진행하여 플랫폼에서 필수적으로 구성되어야 하는 항목을 선정하여 Prototyping을 진행하였다. Results: ‘마스크 수거의 필요성에 대한 견해’의 결과는 42%가 ‘마스크 수거를 해야 한다.’고 하였다. ‘마스크 수거함 설치 시 사용유무 및 이유’의 결과는 71.2%가 사용하지 않을 것 같다고 하였고 그 이유로 ‘그 과정이 귀찮을 것 같아서’가 44.7%로 가장 높게 차지하였다. ‘친환경 활동 참여유무’의 결과는 73.1%가 참여 경험이 있다고 하였다. 이후 Card Sorting에서 도출해 낸 주요 키워드인 ‘정보제공, 정보입력, 시각적 요소’를 바탕으로 Prototyping을 진행하였다. Conclusion: 설문 조사에서 마스크를 수거하는 것에 대해 사람들이 긍정적인 인식을 가지고 있다 판단하였고, 마스크를 수거해 따로 버리기 귀찮아 하는 사용자를 위해 방문 수거 서비스를 제공하는 것이 플랫폼 이용객에게 편의를 제공할 수 있을 것이라 생각하였다. 또한, 친환경 제품 구매와 운동 참여 비율이 높은 편으로 나타나 사람들에게 관련 자료를 소개했을 경우 많은 이들이 관심을 가지고 참여할 것이라 판단하였다. 이와 같은 설문 평가를 바탕으로 Prototyping을 진행한 주요 화면은 ‘홈 화면’, ‘정보제공화면’, ‘활동현황화면’이고, 이때 사용자들이 쉽고 간편하게 플랫폼을 사용할 수 있도록 인터페이스를 구상하였다. Application: 본 연구의 결과를 바탕으로 마스크 수거 및 재활용 플랫폼을 구성하고 이는 자원 순환과 환경보호를 이루어 내고, 지속적인 환경 보호에 큰 역할을 하는 플랫폼으로 자리할 수 있을 것이다.

자율주행환경에서의 액티브 시니어를 위한 UX 시나리오 서비스 제안

김은솔(Eunsol Kim),강윤아(Yunah Kang),주현수(Hyun soo Ju),이재인(Jaein Lee),임영재(Youngjae Im) 대한인간공학회 2022 대한인간공학회 학술대회논문집 Vol.2022 No.10

브레인 센서 인터페이스(BSI)를 활용한 미디어아트 제작 연구

김은솔(Kim, Eunsol),김현주(Kim, Hyun Ju) 한국HCI학회 2016 한국HCI학회 학술대회 Vol.2016 No.1

가상환경(VR) 운영체제 프로토타입 연구

김은솔(Eunsol Kim),김지연(Jiyeon Kim),유은진(Eunjin Yoo),박태정(Taejung Park) 한국방송·미디어공학회 2017 방송공학회논문지 Vol.22 No.1

컴퓨터 게임의 NPC를 위한 적응적 경로 이동의 구현

김은솔(Eunsol Kim),김혜연(Hyeyeon Kim),유견아(Kyeonah Yu) Korean Institute of Information Scientists and Eng 2016 정보과학회논문지 Vol.43 No.2

Uniform navigation of NPCs in computer games is an important factor that can decrease the interest of game players. This problem is particularly noticeable in pathfinding when using a waypoint graph because the NPCs navigate using only predefined locations. In this paper we propose a method that enables adaptive navigations of NPCs by observing player movements. The proposed method involves modification of waypoints dynamically by observing the players point designation and use of the modified waypoints for NPCs pathfinding. Also, we propose an algorithm to find the NPC-specific path by learning the landform preferences of players. We simulate the implemented algorithm in an RPG game made with Unity 4.0 and confirm that NPC navigations had more variety and improved according to player navigations.