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직접 메탄올 연료전지용 대면적 막-전극 접합체 공기극의 위치별 열화 현상
김수길,이은숙,김이영,김장미,조한익,하흥용,Kim, Soo-Kil,Lee, Eun-Sook,Kim, Yi-Young,Kim, Jang-Mi,Joh, Han-Ik,Ha, Heung-Yong 한국전기화학회 2009 한국전기화학회지 Vol.12 No.2
대면적 ($150cm^2$) 막전극 접합체(MEA)를 사용하는 직접메탄올연료전지(DMFC)의 내구성과 관련하여, 장시간 운전에 따른 공기극의 열화 현상을 공기극면의 위치별로 고찰하였다. 500시간 동안 정전류 조건으로 운전한 대면적 MEA를 공기극 입구, 중간, 출구의 세 부분으로 분할 하여 각각의 MEA에 대한 성능을 관찰한 결과, 대면적 MEA 운전시 홍수 (flooding) 현상이 심했던 공기극 출구 쪽 MEA의 성능 저하가 두드러졌다. 이는 홍수 현상에 의한 촉매의 열화 및 GDL의 박리에 의한 것으로 판단된다. 이 중 특히 촉매의 열화 현상과 관련하여, 출구 방향으로 갈수록 촉매의 전기화학적 활성 면적의 감소가 관찰되나 이는 촉매 입자의 뭉침 (agglomeration) 현상에 의한 것이라기 보다는 촉매 입자의 용해 (dissolution)와 이동 (migration)으로 인한 촉매의 유실 때문인 것으로 판단된다. 전체적인 성능 감소 및 촉매의 열화 정도는 공기극의 홍수와 직접적인 비례관계가 있으며, 이를 해소하기 위한 물관리 기법 및 분리판 디자인의 개선이 요구된다. With respect to the durability of large scale ($150cm^2$) membrane electrode assembly (MEA) of direct methanol fuel cell (DMFC), degradation phenomena at cathode is monitored and analyzed according to the position on the cathode surface. After constant current mode operation of large scale MEA for 500 hr, the MEA is divided into three parts along the cathode channel; (close to) inlet, middle, and (close to) outlet. The performance of each MEA is tested and it is revealed that the MEA from the cathode outlet of large MEA shows the worst performance. This is due to the catalyst degradation and GDL delamination caused by flooding at cathode outlet of large MEA during the 500 hr operation. Particularly on the catalyst degradation, the loss of electrochemically active surface area (ECSA) of catalyst gets worse along the cathode channel from inlet to outlet, of which the reason is believed to be loss of catalysts by dissolution and migration rather than their agglomeration. The extent of loss in the performance and catalyst degradation has strong relation to the cathode flooding and it is required to develop proper water management techniques and separator channel design to control the flooding.
김수길,정태식,임상욱,박영목,박달,Kim, Soo-Kil,Jeung, Tae-Sig,Lim, Sang-Wook,Park, Yeong-Mouk,Park, Dahl Korean Society of Medical Physics 2010 의학물리 Vol.21 No.1
The purpose of this study was to measure curvature contour skin dose using radiochromic film and TLD for a conventional open field. We also attempted to quantify the degradation of skin sparing associated with use of immobilization devices for high energy photon beams and to calculate the skin dose with a help of Monte Carlo (MC) simulation. To simulate head-and-neck and shoulder treatment, a cylindrical solid water phantom 11 cm in diameter was irradiated with 6 MV x-rays using $40{\times}40\;cm^2$ field at 100 cm source axis distance (SAD) to the center of the phantom. Aquaplastic mesh mask was placed on the surface of the cylindrical phantom that mimicked relevant clinical situations. The skin dose profile was obtained by taking measurements from $0^{\circ}$ to $360^{\circ}$ around the circumference of the cylindrical phantom. The skin doses obtained from radiochromic film were found to be 47% of the maximum dose of $D_{max}$ at the $0^{\circ}$ beam entry position and 61% at the $90^{\circ}$ oblique beam position without the mask. Using the mask (1.5 mm), the skin dose received was 59% at $0^{\circ}$ incidence and 78% at $80^{\circ}$ incidence. Skin dose results were also gathered using thin thermoluminescent dosimeters (TLD). With the mask, the skin dose was 66% at $0^{\circ}$ incidence and 80% at $80^{\circ}$ incidence. This method with the mask revealed the similar pattern as film measurement. For the treatments of the head-and-neck and shoulder regions in which immobilization mask was used, skin doses at around tangential angle were nearly the same as the prescription dose. When a sloping skin contour is encountered, skin doses may be abated using thinner and more perforated immoblization devices which should still maintain immoblization. 곡면 형태의 피부표면의 방사선량을 방사선크롬 필름과 열형광 선량계를 이용하여 측정하고자 한다. 또한 고정 장치의 사용으로 인한 고에너지 방사선의 피부보존효과의 감쇠를 정량적으로 측정하여 Monte-Carlo 프로그램으로 계산한 값과 비교하고자 한다. 머리-목 그리고 어깨의 곡면 형태를 모의하여 만든 11 cm 직경의 원통 팬텀에 $40{\times}40\;cm^2$의 조사야, SAD 100 cm, 6 MV의 방사선을 쪼였다. 또한 관련된 치료 상황과 유사한 조건으로 만들기 위해 그물망 형태의 고정 마스크를 원통형 팬텀에 씌워서 실험하였다. 원통 팬텀의 원둘레 주위를 따라 $0^{\circ}$에서 $360^{\circ}$까지의 피부선량곡선을 구하였다. 방사선크롬 필름을 이용하여 구한, 정면 입사위치($0^{\circ}$)에서의 피부선량은 최대값 깊이($D_{max}$) 방사선량의 47%, 접선 각도인 $90^{\circ}$에서는 61%로 측정되었다. 1.5 mm의 고정마스크를 씌운 경우 $0^{\circ}$ 입사지점에서는 59%, $80^{\circ}$에서는 78%였다. TLD를 통한 결과는 고정마스크를 씌운 경우 $0^{\circ}$ 입사지점에서는 66%, $80^{\circ}$에서는 80%였고 필름의 경우와 유사한 형태를 보였다. 고정 마스크를 머리-목 그리고 어깨 부위에 부착시켜서 치료를 하는 경우에 접선 부근 각도에서의 피부선량이 치료선량과 거의 같은 값을 보였다. 곡면 부위의 피부에는 고정성을 잃지 않는 범위 안에서 보다 더 얇고 더 구멍이 많이 뚫린 고정마스크를 사용해야 과도한 피부선량을 줄일 수 있을 것으로 사료된다.
김수길,강민철,구효철,조성기,김재정,여종기,Kim, Soo-Kil,Kang, Min-Cheol,Koo, Hyo-Chol,Cho, Sung-Ki,Kim, Jae-Jeong,Yeo, Jong-Kee 한국전기화학회 2007 한국전기화학회지 Vol.10 No.2
반도체 소자의 고속화, 고집적화, 고신뢰성화에 대한 요구는 알루미늄 합금으로부터 구리로의 배선 물질의 변화를 유도하였다. 낮은 비저항과 높은 내열화성을 특징으로 하는 구리는 그 전기적, 재료적 특성이 알루미늄과 상이하여 배선 형성에 있어 새로운 주변 재료와 공법을 필요로 한다. 본 총설에서는 상감공정(damascene process)을 사용하는 다층 구리 배선 공정에 있어 핵심이 되는 구리 전해 도금(electrodeposition) 공정을 중심으로 확산 방지막(diffusion barrier) 및 도전층(seed layer), 바닥 차오름(bottom-up filling)을 위한 전해/무전해 도금용 유기 첨가제, 화학적 기계적 평탄화(chemical mechanical polishing) 및 표면 보호막(capping layer) 기술 등의 금속화 공정에 대한 개요와 개발 이슈를 소개하고 최근의 연구 결과를 통해 구리 배선 공정의 최신 연구 동향을 소개하였다. The transition of interconnection metal from aluminum alloy to copper has been introduced to meet the requirements of high speed, ultra-large scale integration, and high reliability of the semiconductor device. Since copper, which has low electrical resistivity and high resistance to degradation, has different electrical and material characteristics compared to aluminum alloy, new related materials and processes are needed to successfully fabricate the copper interconnection. In this review, some important factors of multilevel copper damascene process have been surveyed such as diffusion barrier, seed layer, organic additives for bottom-up electro/electroless deposition, chemical mechanical polishing, and capping layer to introduce the related issues and recent research trends on them.