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웨이퍼 레벨 Cu 본딩을 위한 Cu/SiO<sup>2</sup> CMP 공정 연구
이민재,김사라은경,김성동,Lee, Minjae,Kim, Sarah Eunkyung,Kim, Sungdong 한국마이크로전자및패키징학회 2013 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.20 No.2
Chemical mechanical polishing (CMP) has become one of the key processes in wafer level stacking technology for 3D stacked IC. In this study, two-step CMP process was proposed to polish $Cu/SiO_2$ hybrid bonding surface, that is, Cu CMP was followed by $SiO_2$ CMP to minimize Cu dishing. As a result, Cu dishing was reduced down to $100{\sim}200{\AA}$ after $SiO_2$ CMP and surface roughness was also improved. The bonding interface showed no noticeable dishing or interface line, implying high bonding strength. 본 연구에서는 웨이퍼 레벨 Cu 본딩을 이용한 3D 적층 IC의 개발을 위해 2단계 기계적 화학적 연마법(CMP)을 제안하고 그 결과를 고찰하였다. 다마신(damascene) 공정을 이용한 $Cu/SiO_2$ 복합 계면에서의 Cu dishing을 최소화하기 위해 Cu CMP 후 $SiO_2$ CMP를 추가로 시행하였으며, 이를 통해 Cu dishing을 $100{\sim}200{\AA}$까지 낮출 수 있었다. Cu 범프의 표면거칠기도 동시에 개선되었음을 AFM 관찰을 통해 확인하였다. 2단 CMP를 적용하여 진행한 웨이퍼 레벨 Cu 본딩에서는 dishing이나 접합 계면이 관찰되지 않아 2단 CMP 공정이 성공적으로 적용되었음을 확인할 수 있었다.
앉기자세에서 실시한 가상현실 균형훈련이 뇌졸중 환자의 앉기 균형 및 일상생활활동 능력에 미치는 영향
이민재,구현모,Lee, Minjae,Koo, Hyunmo 대한통합의학회 2017 대한통합의학회지 Vol.5 No.3
Purpose : This study examined the effects of balance training using virtual reality program on sitting balance ability and activities of daily living (ADL) in stroke patients. Method : In the study, 20 patients with hemiplegia were divided into two groups: experiment group (EG) of 10 patients and control group(CG) of 10 patients. The two groups received general occupational therapy for 30 minutes, per day, at a rate of 5 times per week for 6 weeks. The EG was additionally conducted which was performed virtual reality balance training and the CG was conducted general occupational therapy balance training for 30-minutes, once a day, 3 times a week for 6 weeks. Result : The evaluations of this study included: limit of stability(LOS), modified Functional Reach Test(mFRT), and modified Barthel Index(MBI). The patients were evaluated before and after their six week training programs. Significant differences in the LOS, mFRT, MBI were found between pretest and posttest scores in both the EG and CG groups(p<.05). Also, LOS, mFRT, MBI were significant different between the groups at post-test(p<.05). Conclusion : The study findings suggest that virtual reality balance training can improve sitting balance and ADL ability in stroke patients.
이민재,Bo-Hyun Kim,Yuna Lee,김범태,박준범 대한화학회 2014 Bulletin of the Korean Chemical Society Vol.35 No.7
We have developed an efficient method to generate highly active Pd and PdO nanoparticles (NPs) dispersed on graphene and graphene oxide (GO) by an impregnation method combined with thermal treatments in H2 and O2 gas flows, respectively. The Pd NPs supported on graphene (Pd/G) and the PdO NPs supported on GO (PdO/ GO) demonstrated excellent carbon-carbon cross-coupling reactions under a solvent-free, environmentallyfriendly condition. The morphological and chemical structures of PdO/GO and Pd/G were fully characterized using X-ray diffraction (XRD), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), and transmission electron microscopy (TEM). We found that the remarkable reactivity of the Pd/G and PdO/GO catalysts toward the cross-coupling reaction is attributed to the high degree of dispersion of the Pd and PdO NPs while the oxidative states of Pd and the oxygen functionalities of graphene oxide are not critical for their catalytic performance.
이민재,Lee, Min-Jae 벤처기업협회 2009 벤처다이제스트 Vol.131 No.-
대한민국은 지식재산권 보유규모만을 한정하면 세계 어디에도 손색이 없는 수준의 지식재산 강국이 되었다. 그러나 세계 4위의 지식재산 보유 강국이면서도, 지식재산권의 활용이나 보호 측면에서는 여전히 많은 노력이 필요한 것이 현실이다. 최근의 지식재산권 통계자료에 의하면, 특허출원 증가율에 있어 대기업은 연평균 18.2%, 중소기업은 2.7%로 중소기업이 대기업에 비해 정체되어 있고, 더욱이 우리나라의 특허활용도는 세계 21위 수준(IMD 경쟁력보고서)이고 보면 지식재산의 보유 양에 비하여 질적 수준이 낮아 가치 창출에 미흡한 편이다. 더욱이 경기침체로 국내 대기업을 비롯한 세계 굴지의 기업들이 생존경쟁과 특허 선점을 위한 글로벌 특허전쟁을 벌이는 가운데 국내 중소벤처기업은 부족한 자금과 인력풀 속에 온갖 특허분쟁에 시달리고 있는 실정이다. 이러한 상황에서 단순히 물건을 잘 만들어 잘 판매하는 것만으로는 험난한 글로벌 특허 전쟁에서 살아남을 수 없다. 지금껏 개발하여 잘 판매하고 있는데 느닷없이 관련된 권리를 가지고 판매 및 생산을 중지시키고, 수출을 위해 선적해둔 물건을 압류해 버리는 일이 종종 발생되고 있기 때문이다. 따라서 자신의 지식재산권을 지키고 다른 이의 지식재산권을 침해하지 않도록 조심하고, 문제가 생겼을 경우 적절히 대응하는 것은 물건을 잘 만들고, 잘 판매하는 것만큼 대단히 중요하며 어쩌면 큰 수익을 낼 수 있는 투자이기도 하므로, 최근 빈번한 지식재산권 분쟁 대처사항을 점검해 보자.