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      • JSP/Servlet의 효율적인 학습을 위한 교육 플랫폼 개발에 관한 연구

        차현석 호남대학교 대학원 2019 국내석사

        RANK : 248655

        본 논문은 현재 국가기관 및 기업에서 서버사이드 스크립트언어에 대한 인력수급이 증가하고, 언제 어디서나 적은 비용으로 프로그래밍을 배우고자 하는 수요가 늘어남에 따라 서버사이드 스크립트 강의가 많이 이루어지고 있다. 일반적으로 서버사이드 스크립트를 짧은 시간 안에 가르치는 것은 매우 어렵다. 이유는 서버사이드 스크립트 언어의 종류가 대표적으로 JSP/Servlet, PHP, ASP 등이 있고 프로그래밍 기술뿐 아니라 전체적인 웹 개념과 클라이언트와 서버가 통신하는 흐름을 이해해야 하기 때문이다. 따라서 이 서버사이드 스크립트 강의를 효과적으로 가르치기 위한 효율적인 강의 전략과 교안에 관한 연구가 필요하다. 본 연구에서는 프로그래밍 교과목의 특성과 학습자들의 특징을 고려하고 프로그래밍 능력을 개발하기 위한 교육플랫폼을 통해 단기간에 효과적으로 수업하는 방법을 제안한다. 첫째, 기존 교재들의 문제점은 실습문제들이 각각의 기능이나 단계/모듈별로 학습이 진행되고 통합적으로 이해할 수 있는 실습이 부족하다는 것이다. 그래서 실습문제들을 연계시켜 하나의 홈페이지가 완성되어가는 과정을 실습하여 학습자로 하여금 성취감을 증가시킨다. 둘째, 학습자 혼자서 공부하는 것이 아닌 각 실습문제별로 PBL 기반의 학습 모형을 인용하여 짝꿍과 함께 해결하게 한다. 학습자들이 스스로 문제를 해결하고 토희 및 연구함으로써 개인의 실력 차를 극복할 수 있는 프로젝트 학습법을 적용한다. 위에서 제시하는 학습법을 통해 JSP/Servlet을 공부하는 교수자와 학습자에게 효율적으로 학습할 수 있는 플랫폼을 제안한다. Server sIDe script classes are largely being conducted because national agencies and companies need more staff for server sIDe scripting languages and there is also growing demand for learning programming at low cost anywhere, anytime. However, it is very difficult to teach a ServersIDe script in a short time. This is because the types of server sIDe script languages typically include JSP/Servlet, PHP, ASP, etc. and it is also required to understand not only the programming technology, but also the overall Web concept and the flow in which clients and servers communicate. Therefore, efficient teaching strategies and guIDance need to be developed to effectively teach the ServersIDe scripting class. In this paper, we propose strategies to effectively teach and evaluate and operate programming in a short period of time through our new educational platform for developing programming skills, taking into account the characteristics of programming subjects and the characteristics of learners.

      • 서울국제공연예술제 활성화 방안에 관한 연구 : 에딘버러프린지페스티벌의 성공요인 분석을 중심으로

        차현석 중앙대학교 예술대학원 2018 국내석사

        RANK : 248639

        오늘날 공연예술축제는 예술의 교류와 소통을 통해 문화산업을 주도해 나가고 있다. 문화산업은 국가 경쟁력을 제고(提高)하는 만큼 축제의 세계화는 국가적 과제이기도 하다. 한국을 대표하는 공연예술축제 중 하나인 서울국제공연예술제는 세계적인 무대로 발돋움하기 위한 취지로 주최되었지만 아직 세계적인 홍보나 유치가 미흡한 실정이며, 앞으로의 세계무대에서의 활약을 위한 보다 견고한 준비가 필요한 실정이다. 본 연구는 대표적인 국제공연예술축제로서 에딘버러프린지페스티벌을 대표표본으로 삼아 성공요인들을 분석하여 국제공연예술제의 발전방향에 기여하고자 한다. 본 연구는 에딘버러의 프린지 페스티벌의 성공요인으로 자율성, 개방성, 통합성을 도출해 내었고 이를 통해 다음과 같은 서울국제공연예술제의 발전방향을 도출해 내었다. -첫 번째, 서울국제공연예술제는 연극과 무용 및 다양한 공연 장르를 어우르는 규모와 역사를 가진 축제이지만 프로그램의 차별성을 갖추지 못했다. 프로그램이 차별성을 갖기 위해서는 정체성의 명확한 제시와 발전이 뒷받침 해야하며 프로그램 운영 방식에 있어 차별성을 두어야 한다. -두 번째, 문화산업의 발전을 제고하여 세계적인 인프라를 확보해야 하며, 보다 다양하고 창의적인 공연유치를 위한 운영방안의 개선을 실천해 나가야 한다. -세 번째 국내 작품의 기획공연의 사전제작이나 공동제작을 통해 지속적으로 완성도 있는 작품을 선보일 수 있어야 한다. 본 연구는 서울국제공연예술제의 국제적 행보를 실천하기 위한 발전방향을 선행연구와 문헌 및 사례연구를 통해 이론적 근거를 제시하였으며, 앞으로의 세계적 공연예술 축제로의 발전을 기대한다. Performing arts festivals lead the cultural industry through art acting as a way of exchange and communication these days. Globalization of festivals is a national task in that the cultural industry improves national competitiveness. Among the performing arts festivals that represent Korea, the Seoul Performing Arts Festival, which has been held to the effect that Korea stands on the global stage, is still unsatisfactory in terms of promoting the festival and attracting people all over the world and needs more thorough preparation to take an active part in the world stage in the future. The purpose of this study is to contribute to the development of the Seoul Performing Arts Festivals by analyzing success factors of the Edinburgh Festival Fringe, one of the representative international performing arts festivals, serving as a representative sample. This study concludes that autonomy, openness and integrity are success factors of the Edinburgh Festival Fringe, and the following directions for the development of the Seoul Performing Arts Festival were drawn accordingly. First, the Seoul Performing Arts Festival’s programs lack uniqueness which is necessary in a performing arts festival, while it involves drama and dance as a festival with a larger scale and a longer history than those in other regions. Distinctiveness in its programs can be obtained based on clear suggestion and development of its identity and a discriminating way of its operation. Second, international infrastructure needs to be secured through the development of the cultural industry, and operational improvements are required for more diverse and creative performances to be shown. Third, pre- and co-production of special domestic performances should continuously be attempted to improve their maturity level. In this study, the directions for the Seoul Performing Arts Festival’s growth into a worldwide performing arts festival are provided with the rationale obtained through prospective studies, literature reviews and case

      • 북한의 매스컴을 통한 선전선동에 관한연구

        차현석 고려대학교 대학원 2009 국내석사

        RANK : 248639

        This paper is a research on propaganda of North Korea through mass-media. History of propaganda was started from communism, and its origin can be found in Soviet Union. Mass-media was utilized for a tool that injects ideology of communism and justifies communization by many communists. If ideology of communism is a software, mass-media would be a hardware that preserves and implement it. Unlike passive concept of mass-media by Marx based on decision theory of lower and upper structure, Lenin specified mass-media itself as a mean and subject of revolution. This thought has been transformed into paradigm for totalitarian speech control which was applied not only for newspapers but also for overall mass-media such as cinema, radio and TV. North Korea had totally accommodated propaganda of socialism originated from Soviet Union from its regime's establishment. Although Soviet Union, originator of Communism, had collapsed, North Korea performed perfect brain washing job without any agitation. Ruling classes of North Korea advanced Marxism-Leninism into the Juche Ideology which is ruling ideology of household and father, and successfully unified party and the people through mass-media. Since collapse of Soviet Union, North Korea transformed Marxism-Leninism to the juche ideology, and opened military-leading era through the teachings of the departed. Politics and propaganda of North Korea has governed mass-media of North Korea more than half century. In addition, North Korea has persuaded and soothed the people producing ideology justifying itself and through this procedure. And forcing the people to be succumbed for their politics was carried out the most important task of party, and regime of North Korea used violence and force. At the same time, they successfully persuaded the people in terms of psychology. As a result, propaganda through mass-media established a base for consensus of the people. We need to know that one of major factors sustaining regime of North Korea is a propaganda of North Korea. And it is necessary to research more on mass-media as a mean of this propaganda. This paper has its goal for research on propaganda of North Korea which is shown in mass-media in North Korea. Especially it analyzes cases of propaganda primarily in newspapers and cinema. It's because Soviet Union also injected the ideology of socialism to the people using newspapers and cinema in the course of communization. The Soviet Union occupied the presses through media of newspapers, and trained the people with art of cinema. North Korea is same case. North Korea continuously disseminated propaganda of their regime through newspapers, and led the people through cinema. Characteristics of media, which is possible to be mass-produced, largely affected ideology training for the people. Ideology and thoughts justifying regime of North Korea are still given to the people leading them. The history of propaganda in North Korea was started from its regime's establishment, and its origin contains the frame of traditional socialism. Organizations and institutions related with propaganda are also robust and systematic. As appeared in history of socialism, many of leaders in communism have a expertise of propaganda. Kim Il-Sung who inherited Marxism and Kim Jung-Il who advanced ideology of Kim Il-Sung are very similar. In terms of paradox, if someone wants to be prominent leader of communism, he or she needs to have a good skill in propaganda. Propaganda is one of most important elements for governing and occupying countries of socialism. We should be more interested in writings and speeches that they left in literature. We need to research more on praise of communism that they had wanted to disseminate under the name of art with culture. That's because we can understand why so many people were trained by those propaganda. In addition, it will be helpful for studying and widely knowing North Korea. Therefore, this paper is intended to focus on propaganda which is the origin of power for pursuing North Korea's own line. 이 논문은 북한의 매스컴을 통한 선전선동에 관한 연구 이다. 선전선동의 역사는 사회주의로부터 시작되었고 공산주의 핵심이었던 구 소련에서 그 시초를 찾을 수 있다. 사회주의 이념을 많은 사람들에게 주입시키고 공산화를 정당화하는 도구로서 매스컴은 공산주의자들에게 활용 되었다. 사회주의 이념이 소프트웨어라면 매스컴은 그 것을 담아내고 구현하는 하드웨어라 볼 수 있다. 하부구조의 상부구조 결정론에 입각한 마르크스의 소극적 매스컴에 대한 인식과는 달리 레닌은 매스컴 그 자체를 혁명의 수단이자 주체로 규정한 것이다. 이런 사상은 이후 모든 공산정권에 있어 신문뿐 아니라 영화 라디오 TV 등 매스 미디어 전반에 적용되는 전체주의적 언론통제의 패러다임으로 발전했다. 구 소련에서 시작된 사회주의 프로파간다를 북한은 초창기 정권 수립시기에 고스란히 받아 들였다. 공산주의의 종주국인 소련이 무너지는데도 동요하지 않은 북한에선 가장 완벽한 인간세뇌작업이 이뤄졌다. 북한지배층은 마르크스 레닌주의를 주체사상이라는 가부장(家父長)적 지배사상으로 발전시키고 매스컴을 통한 당과 대중의 일체화에 성공했다. 탈소현상 이 후의 북한은 마르크스·레닌주의를 주체사상으로 전환시켰으며 유훈통치를 통하여 선군시대를 열었다. 북한의 정치 및 체제 선전 형태는 반세기 넘게 북한의 매스컴을 지배했다. 아울러 북한 체제는 자신을 합리화 하는 이데올로기를 끝없이 만들어 내며 이런 과정을 통해서 대중을 설득하고 대중을 달랬다. 또한 대중들을 체제에 복종케 하는 일을 가장 핵심적인 당 사업으로 추진했으며 북한 정권은 폭력과 강제성을 사용했다. 동시에 매스컴을 통한 선전선동으로 심리적 대중설득에도 성공했다. 결국 매스컴을 통한 선전선동은 대중적 동의의 기반을 구축 했다. 우리는 오늘 날 북한의 체제를 지탱하고 있는 주요 요인 중의 하나가 바로 북한의 선전선동이라는 점을 주목 해야 한다. 또한 선전선동의 수단으로서 매스컴에 대한 더 많은 자료조사도 필요하다. 본 논문은 북한의 매스컴 속에 보여 지는 선전선동에 관한 연구를 그 목적으로 둔다. 특히 매스컴에 나타나는 북한의 선전선동 사례를 분석 할 것이다. 특히 신문과 영화의 사례를 중심으로 북한의 프로파간다 분석에 대한 접근을 시도 할 것이다. 이유는 구 소련 역시 공산화 하는 과정에서 신문과 영화를 이용하여 사회주의 이념을 대중들에게 주입 시켰기 때문이다. 구 소련은 신문이라는 매체를 통해서 언론을 장악했고 영화라는 예술을 앞 세워 사회주의 교육을 했다. 북한 역시 마찬가지다. 북한은 신문을 통해서 지속 적으로 체제를 선전하고 영화를 통해서 대중들을 선동했다. 대량생산이 가능한 매체의 특성은 인민들의 사상 교육에 막대한 영향을 주었다. 북한체제를 정당화 하는 이념과 사상들은 지금도 대중들에게 선전되고 있고 대중들을 선동하고 있다. 북한의 선전선동에 대한 역사는 북한의 정권 수립초창기 부터이며 그 근원 또한 정통 사회주의의 틀을 담고 있다. 선전선동의 관련 된 조직과 기구 역시 견고하고 체계적이다. 사회주의 역사에도 나타나듯 다수의 공산주의 지도자들은 뛰어난 선전선동가이다. 마르크스의 사상을 이어 받은 레닌과 김일성 사상을 발전시킨 김정일은 서로 일치하는 부분이 많다. 역설적으로 눈에 띄는 공산주의 지도자가 되려면 뛰어난 선전선동가이어야 한다고 말 할 수 있다. 선전선동은 사회주의 국가를 통치하고 장악하는데 중요한 요소이다. 그들이 문헌에 남긴 글과 말들에 우린 더 많은 관심을 가져야 한다. 그들이 문화를 앞세워 예술이라는 이름하에 전하려 했던 공산주의 찬양 부분에 더 많은 고찰이 필요하다. 그래야만 많은 사람들이 왜 그런 선전에 선동되는지를 이해 할 수 있다. 나아가 북한을 연구하고 폭 넓게 알기 위한 연구에 도움이 될 것 이다. 따라서 본 논문은 북한이 독자적으로 자주노선을 가는 그 힘의 근원인 선전선동을 쟁점화 시켜 보고자 한다.

      • 목조문화재 방염제 검정기준에 따른 방염처리 단청 목재의 성능 평가

        차현석 충북대학교 2012 국내석사

        RANK : 248639

        Some flame retardants were applied on Dancheong-decorated pine wood, and those flame retardant performance and hygroscopic-dry properties were evaluated according to the "Flame Retardant Guidelines for Historic Wooden Building". Charred area of 5mm thick wood treated with flame retardant was significantly smaller than that of 15mm thick wood. Charred area of 45° grain wood treated with flame retardant was significantly smaller than those of quarter and flat grain wood. And, charred area of sapwood treated with flame retardant was significantly smaller than that of heartwood. Charred areas of pine wood, plywood, and MDF were not significantly different. Ignition time of 5mm thick wood treated with flame retardant was significantly smaller than that of untreated wood. Although the binders for Dancheong decoration did not affect the flame retardant performance, but the acrylic emulsion resin and water-based paint were apt to cause whitening. Flame retardant performance of Dancheong decorated wood itself was excellent and was not significantly different with that of Dancheong decorated wood treated with flame retardant.

      • Sputter-deposition법을 이용한 Pt/Nafion 전극촉매의 제조 및 특성 평가

        차현석 연세대학교 대학원 2003 국내석사

        RANK : 248639

        Nafion 위에 이온빔 sputtering을 이용하여 10 nm∼100 nm 두께에서 백금을 물리적으로 증착시킨 후 화학적 환원법으로 다시 백금을 담지시킴으로써 Pt/Nafion복합체를 제조하였다. Sputter-deposition법에 의한 Pt/Nafion 전극촉매는 sputtering 두께와 관계없이 백금입자가 전체적으로 porous하게 잘 분포되어 있고 제조된 Pt촉매는 금속 Pt(0)으로만 이루어져 있음을 형태학적, 촉매 특성 분석을 통해 알 수 있었다. Sputter-deposition법을 이용함으로써 화학적 환원법만을 이용한 복합체보다 막과 전극간의 접합력이 향상되었음을 임피던스 측정에 의해 알 수 있었다. 단위면적당 담지량은 작아졌음에도 불구하고 계면저항과 전하 전달 저항을 줄여 거칠기인자와 활성비 표면적은 증가했다. Pt sputtering 두께가 100 nm 일때 수소흡착성능이 가장 좋았으며 이때의 거칠기 인자와 활성 비표면적은 236.76, 154.75 ㎠/mg 이었다. Pt/Nafion composites were prepared in 10 nm∼100 nm thickness range, as depositing Pt catalyst physically by ion beam sputtering after depositing Pt particles using chemical reduction method on Nafion. Pt/Nafion composite prepared by sputter-deposition distributed Pt particles in porous shapes independent of sputtering thickness and Pt/Nafion electrocatalysts which was prepared composed of Pt(0) metal by morphology and electrochemical analysis. It was known by AC impedance analysis that Pt/Nafion composite by Sputter-deposition increased the adhesion between membrane and electrode. Through its Pt loading is decreased, roughness factor and active specific surface area were increased. when Pt/Nafion composite sputtered in 100 nm thickness on Pt/Nafion composite had the best hydrogen absortion performance respectively and the roughness factor and active specific surface area were 236.76, 154.75 ㎠/mg.

      • 노인전문요양시설의 운영방식을 고려한 거주단위계획에 관한 연구

        차현석 亞洲大學校 大學院 2005 국내석사

        RANK : 248639

        최근 한국은 고령화 사회로의 진입으로 인해 장애 노인 인구가 급격히 늘어나고 있으며 그에 대한 시책이 시급한 상황이다. 또한 이들을 위한 요양보호 지원 활동을 지속적으로 제공해 줄 수 있는 적정 시설 및 서비스 프로그램의 개발이 요구되고 있다. 이에 보건복지부에서는 2011년까지 공적 시설 충족률 70%를 목표로 전문요양시설을 포함한 요양시설 707개소를 확충할 계획에 있다. 이에 본 연구는 이러한 전문요양시설의 계획에 대한 기초자료를 제공하기 위하여 운영방식을 고려한 거주단위에 대하여 관찰조사 하였다. 논문의 결과는 다음과 같다. 1) 요양시설의 입지(도시-근교-교외)에 따라 시설의 종사자 인력수급과 근무자의 교대방식이 달라진다. 또한 종사자의 근무패턴은 거주단위계획에 영향을 미친다. 따라서 시설의 입지는 거주단위 계획에 영향을 미친다. 2) 시설의 운영방식이 다르면 이에 적합한 거주단위 운영방식이 필요하다. 노인전문요양시설은 장기적인 생활보조서비스를 제공하므로 기능적 서비스 제공방식보다는 팀별 서비스 제공방식이나 개인별 서비스 제공방식 또는 이 둘이 혼합된 형태를 사용한다. 따라서 노인들의 인지력, 생활보조원의 동선 등을 고려해 볼 때 환자가 그룹화되어 서비스를 받는 것이 유리하다. 향후 노인전문요양시설의 거주단위 계획시 소규모 단위로 계획할 필요가 있음을 보여준다. 3) 현재 무료노인전문요양시설의 입소절차를 국가가 주도하는 상황에서는 시설에 입소하는 노인의 상태가 상이하게 달라 고정된 시설의 공간내에서 해결하기 어려운 문제점이 있었다. 따라서 향후 시설의 계획시 공간의 융통성을 고려하여야 한다. 4) 모든 시설에서 문제노인을 위한 1인실과 임종을 앞둔 노인을 위한 호스피스 요양실의 필요성이 나타나 향후 시설의 계획 시 고려해야 할 것으로 나타났다. 5) 시설의 운영이 효율적으로 이루어지기 위하여 각 거주단위 내 케어스테이션, 간이주방, 휴게실 등 생활서비스를 지원할 수 있는 시설이 고려되어야 한다. Recently, owing to the introduction of an aging society, it is urgent to shape policies to cope with the old handicapped. Moreover, it is also necessary to develop appropriate facilities and service programs which can offer activities to care them continuously. Consequently, the Ministry of Health and Welfare makes plans to increase the nursing home’s number to 707 including elderly care facility to meet 70 percents sufficiency of the public facilities by 2011. The purpose of this study is to research a residential unit in contemplation of the operational system so as to proffer fundamental data on the plan for these elderly care facilities. The results of this study were drove as follows: 1) The worker’s number and shift style in these facilities vary in accordance with the conditions of location. Therefore, the location of the facility has an effect on the plans for a residential unit. 2) If the operational system of the facilities are different, new one appropriate is necessary. Because the elderly care facilities provides a long livelihood assistance, we use more the primary care service method or team care service method or mixed style than the functional style. Therefore, it is more profitable to be served as classified patients. It shows that we need to plan a residential unit in small unit when we plan the elderly care facility’s residential unit in the future. 3) Now, there was a difficult problem because the government controls the free elderly care facility’s admission process. That problem is hard to solve in the fixed space of facility because there are big differences among the senior. Therefore, we need to take a spatial flexibility into consideration when we plan the facility in the future. 4) With feeling keenly the necessity of a single sick room and hospice in all facilities, we need to them into consideration when we plan the facility in the future. 5) To manage the facility efficiently, facilities that can provide livelihood service just like a care-station, rest room, need to be considered.

      • Study on high performance of Indium-Gallium-Tin Oxide thin film transistors

        차현석 중앙대학교 대학원 2021 국내석사

        RANK : 248623

        본 연구는 비정질 Indium Gallium Tin oxide(a-IGTO) 박막 트랜지스터(TFT)의 채널 두께에 따른 전기적 특성 및 신뢰성에 대해 조사했다. 7, 15, 25, 35, 52 nm의 다른 두께를 가진 IGTO TFT는 채널 두께가 두꺼워질수록, IGTO 박막 트랜지스터의 문턱전압이 음의 방향으로 이동하고, SS 와 전계 이동도가 증가하는 것을 확인하였다. 또한 다양한 채널 두께에 따른 IGTO 박막 트랜지스터의 PBS 와 NBIS 신뢰성을 측정하였다. 채널의 두께가 증가함에 따라 IGTO TFT의 PBS 신뢰성은 self-passivation effect으로 인해 증가하였다. 반대로 NBIS 신뢰성은 두께가 증가함에 따라 NBIS 신뢰성이 열화 된다. 이 현상을 설명하기 위해 XPS를 사용하여 두께가 다른 IGTO 박막의 화학적 조성과 결합 상태를 확인한 결과, 긴 시간 동안의 sputter 공정은 IGTO 박막 내의 산소 공공을 생성시켜 NBIS 신뢰성을 열화 시키는 것을 알 수 있었다. 결론적으로 우리는 IGTO TFT에 최적 채널 두께를 발견하였으며, 최적의 두께인 15 nm 채널 두께를 가진 IGTO TFT는 26.5 cm2/Vs, 0.16 V/decade, 0 V 문턱전압의 전기적 특성과 각각 PBS, NBIS 조건에서 우수한 신뢰성(∆VTH = 0.9V, -1.9V)을 나타냈다. 또한, 본 연구는 알루미늄 캡핑 층의 두께에 따른 IGTO TFT의 전기적 특성 및 신뢰성 개선 효과에 대해 조사했다. IGTO 박막 위에 알루미늄 캡핑 층을 E-Gun evaporator를 사용하여 3, 5, 8nm의 두께로 증착하고 알루미늄이 캡핑 된 IGTO TFT와 되지 않은 IGTO TFT를 200도에서 1시간동안 열처리를 진행하였다. 이 중, 3nm 두께로 캡핑 된 IGTO TFT는 26.4 cm2/Vs 0.20 V/decade, -1.7 V 문턱전압의 전기적 특성 및 PBS 와 NBIS 신뢰성이 다른 소자들 보다 가장 우수하였다. 관찰된 현상의 원인이 되는 물리적 메커니즘을 밝히기 위해, XPS 분석을 진행하였다. XPS 결과, 3nm 두께로 캡핑 된 IGTO 박막은 oxygen deficient가 증가하지 않았고 약하게 결합된 산소들이 줄어들었다. 반대로, 그 이상의 캡핑 층 두께에서는 oxygen deficient가 증가하였다. 이러한 결과는 알루미늄 캡핑 층이 두꺼울수록 산화력이 강하기 때문이며, 3nm에선 IGTO내에서 tail state로 작용하는 약하게 결합된 산소들만 줄이므로 최적의 두께라고 할 수 있다. 따라서, 이번 연구결과는 최적의 두께를 가진 알루미늄 캡핑 층의 형성은 고이동도 IGTO TFT의 전기적 특성 및 신뢰성을 개선시키는 실용적이고 유용한 방법임을 보여준다. We investigated the effects of various channel thickness (tCh) on the electrical performance and stability of amorphous Indium Gallium Tin Oxide (a-IGTO) thin film transistor (TFT). IGTO TFTs with different tCh values of 7, 15, 25, 35, and 52 nm are prepared for experiments. With an increase in the channel layer thickness (tCh), the transfer curve exhibits threshold voltage shift in negative direction, and subthreshold swing and field-effect mobility increased. The a-IGTO TFT with various channel thickness is also tested under negative bias illumination stress (NBIS) and positive bias stress (PBS). It is found that the PBS stability of IGTO TFTs with the increase in tCh increased due to the self-passivation effect. In constact, the NBIS stability of IGTO TFTs decreased with the increase in tCh. To explain this phoenomenon, the chemical composition and bonding states of the IGTO thin-films with different thickness were characterized using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The XPS results demonstrated that the long-time sputter process during deposition attributed to generation of oxygen vacancy in IGTO film, which resulted in a decreased NBIS stability. Consequently, we found the optimumal channel thickness of IGTO for TFTs. The a-IGTO TFT with 15 nm-thick channel layer exhibited a field-effect mobility of 26.5 cm2/Vs, a near zero threshold voltage, sharp subthreshold swing and slightly small ∆VTH (∆VTH = 0.9V, -1.9V) at PBS and NBIS, respectively. In addition, we examined the effects of aluminum (Al) capping layer thickness on the electrical performance and stability of high-mobility IGTO TFTs. The Al capping layers with thicknesses (tAls) of 3, 5, and 8 nm were deposited, respectively, on top of the IGTO thin film by electron beam evaporation, and the IGTO TFTs without and with Al capping layers were subjected to thermal annealing at 200 °C for 1 h in ambient air. Among the IGTO TFTs without and with Al capping layers, the TFT with a 3-nm thick Al capping layer exhibited excellent electrical performance (field-effect mobility: 26.4 cm2/Vs, subthreshold swing: 0.20 V/dec, and threshold voltage: -1.7 V) and higher electrical stability under positive and negative bias illumination stresses than other TFTs. To elucidate the physical mechanism responsible for the observed phenomenon, we compared the O1s spectra of the IGTO thin films without and with Al capping layers using X-ray photoelectron spectroscopy analyses. From the characterization results, it was observed that the weakly bonded oxygen-related components decreased from 25.0 to 10.0-%, whereas the oxygen-deficient portion was maintained at 24.4-% after the formation of the 3-nm thick Al capping layer. In contrast, a significant increase in the oxygen-deficient portion was observed after the formation of the Al capping layers having tAl values greater than 3 nm. These results imply that the thicker Al capping layer has a stronger gathering power for the oxygen species, and that 3 nm is the optimum thickness of the Al capping layer, which can selectively remove the weakly bonded oxygen species acting as subgap tail states within the IGTO. The results of this study thus demonstrate that the formation of an Al capping layer with the optimal thickness is a practical and useful method to enhance the electrical performance and stability of high-mobility IGTO TFTs.

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