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단결정 실리콘 기판에 이온주입된 불순물이 $TaSi_2$형성에 미치는 영향
조현춘,최진석,고철기,백수현,Jo, Hyun-Chun,Choe, Jin-Seok,Go, Chul-Gi,Baek, Su-Hyeon 한국재료학회 1991 한국재료학회지 Vol.1 No.1
불순물이 주입된 실리콘 기판에 500 두께의 탄탈륨 박막을 증착한 후 실리사이드를 형성시키기 위해 아르곤 분위기에서 급속열처리(RTA)률 하였다. 형성된 $TaSi_2$와 불순물의 거동은 XRD, SEM, 4-point probe, HP4145와 SIMS로 조사하였다. 불순물의 종류에 관계없이 $TaSi_2$는 RTA 온도가 $800^{\circ}C$일때 형성되기 시작하였으며 $1000^{\circ}C$이상에서 증착된 Ta가 전부 $TaSi_2$로 상 전이가 일어났다. 또한 $TaSi_2/P^+$영역에 대한 접촉저항간은 contact size가 $0.9{\times}0.9({\mu}{m^2}$)일때 $22{\Omega}$ 낮은값을 가졌으며 이온 주입된 불순물은 RTA처리시 형성된 $TaSi_2$층으로 out-diffusion이 일어났다. Tantalum thin films were deposited by DC sputtering on heavily doped single Si substrates. These substrates were treated by means of a rapid thermal annealing (RTA) under Ar atmosphere for various temperatures($600-1100^{\circ}C$). The silicide formation and the impurities behavior in the substrate are studied by means of XRD, SEM, four-point probe, HP4145, and SIMS. The formation of $TaSi_2$ started at $800^{\circ}C$ for all kinds of impurities and the entire Tantalum thin metal films were transformed into $TaSi_2$ above $1000^{\circ}C$ Also the contact resistance for $TaSi_2/P^+$ region had a low value; $22{\Omega}$, at contact site of $0.9{\times}0.9(\mu\textrm{m^2}$), and implanted impurities were diffused out into the $TaSi_2$ for rapid thermal annealing.
Composite target으로 증착된 Mo-silicide의 형성 및 불순물의 거동
조현춘,백수현,최진석,황유상,김호석,김동원,심태언,정재경,이종길,Cho, Hyun-Choon,Paek, Su-Hyon,Choi, Jin-Seog,Hwang, Yu-Sang,Kim, Ho-Suk,Kim, Dong-Won,Shim, Tae-Earn,Jung, Jae-Kyoung,Lee, Jong-Gil 한국재료학회 1992 한국재료학회지 Vol.2 No.5
Molybdenum silicide films have been prepared by sputtering from a single composite MoS$i_2$ source on both P, B$F_2$respectively implanted (5${\times}10^{15}ions/cm^2$ single crystal and P implanted (5${\times}10^{15}ions/cm^2$) polycrystalline silicon substrates followed by rapid thermal annealing in the ambient of argon. The heat treatment temperatures have been varied in the range of 600-l20$0^{\circ}C$ for 20 seconds. The properties of Mo-silicide and the diffusion behaviors of dopant after the heat treatment are investigated using X-ray diffraction, scanning electron microscopy(SEM) , secondary ions mass spectrometry(SIMS), four-point probe and $\alpha-step.$ Annealing at 80$0^{\circ}C$ or higher resulted in conversion of the amorphous phase into predominantly MoS$i_2$and a lower sheet resistance. There was no significant out-diffusion of dopants from both single crystal and polycrystalline silicon substrate into molybdenum silicide layers during annealing. Composite target(MoS$i_{2.3}$)으로 부터 Mo-silicide를 형성시, 단결정 실리콘 위에 P, B$F_2$불순물(5${\times}10^{15}ions/cm^2$)과 다결정 실리콘 위에 P 불순물(5${\times}10^{15}ions/cm^2$)을 이온 주입하여 아르곤 분위기에서 급속열처리(RTA)하였다. 열처리는 600-120$0^{\circ}C$ 온도구간에서 20초간 행하였다. Mo-silicide의 특성 및 불순물의 거동은 4-point probe, X선 회절분석, SEM, SIMS, $\alpha$-step을 통해 조사하였다. 80$0^{\circ}C$에서 부터 MoS$i_2가 형성되며 열처리 온도가 증가할수록 낮은 비저항간을 갖는 안정한 MoS$i_2로 결정화가 이루어진다. 또한 열처리 동안 단결정 실리콘과 다결정 실리콘에서 Mo-silicide층으로 불순물의 내부 확산은 거의 발생하지 않았다.
조현춘 한국동서정신과학회 2003 동서정신과학 Vol.6 No.1
심리상담가나 교육자는 따뜻한 가슴, 과학적 사고, 정신문화를 가지고 있어야 합니다. 한국의 상담자들은 참으로 따뜻한 가슴을 가지고 있는 것 같습니다. 그런데, 과학적 사고에서는 많이 부족하며, 정신문화 흡수에서는 '상담을 할 수 있을까?'라는 생각이 들 정도로 미흡하다는 생각이 듭니다. 한국에는 참으로 존경받을 두 분이 있다고 봅니다. 한 분은 원효 스님이고, 다른 한 분은 교각 스님입니다. 필자는 이 논문을 통해서 교각 스님을 소개하는데, 스님의 행적 등을 소개하는 것이 아니라 스님의 정신세계를 소개합니다. 스님께서는 중국의 4대 불교 성지 중의 하나인 구화산을 개산하셨으며, 불교의 중흥지인 중국에서 지장 보살님의 환생으로 존갱받고 있기도 합니다. 그런데 문제는 교각스님의 정신세계를 대표하는 지장경에 대한 제대로 된 번역이 없다는 것입니다. 지장경의 핵심 내용을 제시함과 동시에 그렇게 번역하게 된 배경을 논합니다. 요약하면, 불교의 정의인 '나쁜행동 하나라도 하지마시고, 착한행동 빠짐없이 모두하시고, 깨끗하고 맑은마음 가지십시오'가 되겠으나 특히 보시와 회향을 강조하고 있습니다. 심리상담자들이 인용할 수 있도록 현대 한글로 지장경을 번역하여 제시합니다. I think that a counselor should have three abilities; warm heart scientific thinking and traditional mental resource. I think that Korean counselors have enough warm heart, but very poor ability in scientific thinking, and too poor traditional mental resource to counsel other people. We Korean han two most famous reverends; one is Wonhyo who studied in home and the other is Gyogak who studied in abroad. I wrote this paper to introduce Gyogak. I am interested in his mental resource but not in him as an historical person. He is venerated as a rebirther of the Ji-Jahng Boddhisattva in China where the Buddhism revived. He opened the Guhwa mountain and the Guhwa mountain is one of the four holist place in China. But now we have not any correct modern korean version of Ji-Jahng Sutra. I translated core content of it, and commented about it in this paper. I want counselors use this in counseling.