2007푸른숲선도원 지도교사 각오와 다짐

조영아,Jo, Yeong-A 한그루녹색회 2007 우리들 숲 Vol.18 No.-

fabrication of Zirconia Thin Films by Plasma Enhanced Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

김기동,조영아,신동근,전진석,최동수,박종진,Kim, Gi-Dong,Jo, Yeong-A,Sin, Dong-Geun,Jeon, Jin-Seok,Choe, Dong-Su,Park, Jong-Jin Materials Research Society of Korea 1999 한국재료학회지 Vol.9 No.2

Zirconia thin films of uniform structure were fabricated by plasma-enhanced metal-organic chemical vapor deposition. Deposition conditions such as substrate temperature were observed to have much influence on the formation of zirconia films, therefore the mechanism of decomposition of $Zr[TMHD]_4$precursor and film growth were examined by XRD, FT-IR etc., as well as the determination of the optimal deposition condition. From temperature dependence on zirconia, below the deposition temperature of 523K, the amorphous zirconia was formed while the crystalline of zirconia with preferred orientation of cubic (200) was obtained above the temperature. Deposits at low temperatures were investigated by FT-IR and the absorption band of films revealed that the zirconia thin film was in amorphous structure and has the same organic band as that of Zr precursor. In case of high temperature, it was found that Zr precursor was completely decomposed and crystalline zirconia was obtained. In addition, at 623K the higher RF power yielded the increased crystallinity of zirconia implying an increase in decomposition rate of precursor. However, it seems that RF power has nothing with the zirconia deposition process at 773K. It was found that the proper bubbler temperature of $Zr[TMHD]<_4$ precursor is needed along with high flow rate of carrier gas. Through AFM analysis it was determined that the growth mechanism of the zirconia thin film showed island model.

URC에서의 소프트웨어 로봇 기술

김현,조영조,Kim Hyeon,Jo Yeong-Jo 대한전자공학회 2006 전자공학회지 Vol.33 No.3

URC(Ubiquitous Robotic Companion)는 기존 로봇에 네트워크 및 정보 기술을 접목한 지능형 서비스 로봇의 새로운 개념으로서, 언제, 어디서나 나와 함께하며, 나에게 필요한 서비스를 제공하는 네트워크 기반 로봇이다. URC에서의 서비스는 물리적인 로봇뿐만 아니라 환경 내 내재된 임베디드 로봇 및 소프트웨어 로봇을 통해서 제공받을 수 있게 된다. 소프트웨어 로봇은 "유비쿼터스 네트워크 환경에서 언제 어디서나 상황에 맞는 정보와 서비스를 능동적으로 제공하는 새로운 개념의 지능형 소프트웨어"로 정의된다. 본 고에서는 이러한 소프트웨어 로봇의 개념과 이 개념을 지원하기 위한 시스템에 대해 논의한다.

표준 기술동향 - 지능형 로봇의 국제 표준화 동향

정인철,조영조,Jeong, In-Cheol,Jo, Yeong-Jo 한국정보통신기술협회 2010 TTA저널 Vol.127 No.-

한국 남해안에서 살파류(Tunicata: Thaliacea)의 대번식과 해양생태계에 미치는 영향

강영실,조영조,고우진,김성수,전경암,오현주,Kang, Yeong-Shil,Jo, Young-Jo,Go, Woo-Jin,Kim, Seong-Soo,Jeon, Kyeong-Am,Oh, Hyun-Ju 한국해양학회 2000 바다 Vol.5 No.1

한국 남해안에서 1997년 4월과 6월에 대량 출현한 살파류(salps)의 출현밀도 및 분포 특성을 밝히고, 이들 종의 대량 발생과 해양환경과의 관계를 연구하였다. 또한, 이러한 살파류의 대량 발생이 해양생태계의 영양역학 구조에 미치는 영향을 논의하였다. 살파류는 주로 제주도 동남부 해역을 중심으로 대량 발생하였으며, 쓰시마난류와 밀접한 상관성을 보였다. 또한 1997년 4월과 6월의 표층수온이 평년(1961${\sim}$1998)에 비해 $2{\sim}5^{\circ}C$내외로 높았으며, 표층 염분은 평년에 비해 낮게 나타났다. 살파류의 출현밀도가 높은 4월과 6월에는 클로로필$_{-a}$농도와 요각류의 출현 밀도가 매우 낮았다. 고등어 어획량 역시 이 시기에 매우 낮았다. 따라서 한국 남해안에서 살파류의 대량 발생은 쓰시마난류의 강한 영향 및 이 시기에 먹이생물이 충분히 공급되므로서 일어난 것으로 판단된다. 이러한 살파류의 대량 발생은 상대적으로 먹이경쟁관계에 있는 요각류의 생산에 영향을 미치게 되고, 또한 피${\cdot}$포식자관계 및 먹이공급 변동 등으로 영양역학구조에 영향을 미치게 된다. 이러한 결과로 어류생산에도 영향을 미쳐 고등어의 어획량이 1997년 4월과 5월에 매우 낮아진 것으로 판단된다. Geographical distribution of salps was elucidated in the South Sea of Korea with focusing on the April and June, 1997 when swarm of salps occurred. We also discussed on its distributional pattern in relation to environment conditions and its impact on marine ecosystem with emphasizing on trophodynamics. Salps were abundantly distributed in the south-eastern area of Cheju Island where is closely associated with the Tsushima Warm Current. In April and June, 1997, surface water temperature was $2{\sim}5^{\circ}C$ higher than the average over 1961-1998, while surface water salinity was lower. Chlorophyll-a concentration, density of copepods and catches of mackerel sharply decreased in April and June, 1997. These results suggest that the swarm of salps was due to not only transportation by strong Tsushima Warm Current but also supply of abundant foods. Low densities of copepods may be related to the presence of swarm of salps because of food competition between them. The fact that the catches of mackerel were very low in April and May, 1997 suggests that the trophodynamics between salps and copepods also influence the fish resources.

고속 열처리 시스템에서 웨이퍼 상의 다중점 계측에 의한 온도 분포 추정 기법 연구

심영태,이석주,민병조,조영조,김학배,Sim, Yeong-Tae,Lee, Seok-Ju,Min, Byeong-Jo,Jo, Yeong-Jo,Kim, Hak-Bae 대한전기학회 2000 전기학회논문지 D Vol.49 No.11

The uniformity of temperature on a wafer is one of the most important parameters to control the RTP (Rapid Thermal Process) with proper input signals. Since it is impossible to achieve the uniformity of temperature without exact estimation of temperature at all points on the wafer, the difficulty of understanding internal dynamics and structural complexities of the RTP is a primary obstacle to accurately measure the distributed temperatures on the wafer. Furthermore, it is also hard to accomplish desirable estimation because only few pyrometers have been commonly available in the general equipments. In the paper, a thermal model based on the chamber geometry of the AST SHS200 RTP system is developed to effectively control the thermal uniformity on the wafer. First of all, the estimation method of one-point measurement is developed, which is properly extended to the case of multi-point measurements. This thermal model is validated through certain simulation and experiments. The work can be usefully contributed to building a run-by-run or a real-time controls of the RTP.

네트워크 기반소프트웨어 로봇의 기능 확장 체계

장민수,손주찬,조영조,Jang Min-Su,Son Ju-Chan,Jo Yeong-Jo 대한전자공학회 2006 전자공학회지 Vol.33 No.3

정보 네트워크는 데이터 뿐 아니라 사물들의 연결성을 부추기고 있으며, 이에 따라 소프트웨어의 현실에 대한 영향력은 더욱 커지고 있다. 한편 로봇의 몸체(하드웨어)와 두뇌(소프트웨어)를 분리하고 네트워크를 통해 연결하는 연구개발시도가 늘어나고 있으며 이는 저가형의 경제성 있는 로봇을 개발하는 원동력이 되고 있기도 하다. 따라서 소프트웨어를 중심으로 한 로봇의 필요성, 역할 비중, 가능성은 그 어느 때 보다 크다. 이 글에서는 소프트웨어 로봇의 기능을 자동으로 확장할 수 있는 체계 구축의 가능성을 따져보고 이를 가능하게 하는 기반 기술로서 웹서비스와 시맨틱웹 기술 동향을 소개한다. 이들은 열린 웹 공간에서 서비스와 지식을 공유할 수 있는 표준 프로토콜과 지식 표현 체계를 제공한다. 이들 기술과 열린 네트워크 환경을 기반으로 스스로 지식과 서비스 수단을 습득하여 능력을 확장할 수 있는 소프트웨어 로봇을 구현할 수 있으리라 기대한다.

1996년 여름철 남해 표층수의 이상저염수 현상과 영양염류의 분포특성

김성수,고우진,조영조,이필용,전경암,Kim, Seong-Soo,Go, Woo-Jin,Jo, Yeong-Jo,Lee, Pil-Yong,Jeon, Kyeong-Am 한국해양학회 1998 바다 Vol.3 No.3

In August 1996, seawater salinity and nutrient distribution were investigated at surface waters in the South Sea of Korea. The low-salinity (< 20.00 psu) waters were observed in the western and southwestern offshore areas of Cheju Island. Relatively low saline (< 30.0 psu) waters occupied most of the survey areas only except in the eastern part. The observed minimum salinity was lower by 11.78 psu than that of the average between 1963 and 1995. The low saline waters appeared in the upper layer of generally 10-20 m deep, and were obriously distinguished from high-salinity (> 32.00 psu) waters, 30 m deep. The low saline waters may originate from the freshwater discharge of vast amount of from Yangtze River during the heavy rainfall season in China. Phosphate concentrations in the surface waters were relatively low and were less variable than those of nitrate and silicate. The maximum concentrations of nitrate and silicate occured in the western and southwestern offshore areas of Cheju Island, where the salinities were the lowest. The concentrations of nitrate and silicate were inversely correlated with salinity, whereas that of phosphate showed a considerable scatter and non-conservative behaviours. This indicates extensive desorption reactions of suspended materials releasing phosphate. 1996년 8월 1일부터 10일까지 남해 해양조사에서 얻어진 자료를 이용하여 우리나라 남해 표층의 저염화현상과 표층수 중 영양염류의 분포특성에 대해 고찰하였다. 제주도 서쪽에 위치한 313선의 05점과 제주도 남쪽에 위치한 314선의 09점에서 20.00 psu 이하의 저염수가 출현하고 있으며, 이 저염수의 핵을 중심으로 30.00 psu 이하의 저염수가 남해 동부해역을 제외한 제주도 주변 대부분의 해역들에 나타나고 있다. 이러한 저염수의 최저염분 농도는 과거 30년 동안의 평균값보다 11.78 psu 낮은 값으로서 이는 양자강 유역에서 6월과 7월에 평년보다 훨씬 많은 강수량에 의해 막대한 양의 담수가 유출되었기 때문이라고 생각된다. 또한, 이러한 저염수는 대체적으로 수심 10~20 m 상부층에 존재하고 있어서 중 저층수와는 확실히 구분되고 있다. 표층수 중 영양염류는 인산인의 경우 농도가 비교적 낮고, 해역별 차이도 매우 작았다. 그러나, 질산질소와 규산규소는 저염수가 분포하고 있는 제주도 서쪽 및 남서쪽 해역에서 비교적 높은 농도를 보이며, 특히 염분농도가 가장 낮은 정점에서 농도가 가장 높았다. 질산질소와 규산규소의 경우 보존성 성분인 염분과 역의 상관성을 보이는데, 이는 양자강 유출수와 같이 영양염류 농도가 풍부한 물이 제주도 서쪽 해역으로 이동되어 왔음을 의미한다. 그라나, 인산인이 다른 영양염류 성분과는 달리 염분의 큰 변동에도 불구하고 농도 변화가 거의 일정한 것은 해수중의 물질순환과정이 질산질소 및 규산규소와는 다름을 의미한다.

PECVD에 의한 YSZ(Yttria Stabilized Zirconia)박막 제조

김기동,신동근,조영아,전진석,최동수,박종진,Kim, Gi-Dong,Sin, Dong-Geun,Jo, Yeong-A,Jeon, Jin-Seok,Choe, Dong-Su,Park, Jong-Jin 한국재료학회 1999 한국재료학회지 Vol.9 No.3

PECVD(Plasma enhanced chemical vapor deposition)을 이용하여 yttria-stabilized zirconia(YSZ) 박막을 제조하였다. 반응물질로 금속유기화합물을 $Zr[TMHD]_4$와 $Y[TMHD]_3$그리고 산소를 사용하였으며, 증착온도는 $425^{\circ}C$, rf power는 0~100W까지 적용하였다. YSZ 박막은 (200)면이 기판에 평행한 입벙정상 구조를 가졌으며, 1시간 내에 $1\mu\textrm{m}$ 두께를 형성하였다. EDX에 의한 막의 성분분석 결과로부터 환산된 박막내의 $Y_2O_3$의 함량은 0-36%의 범위였다. 버블러의 온도 및 운반기체의 유량이 증가함에 따라 박막의 두께 역시 비례하여 증가하였는데, 이는 precursor의 flux 증가로 인한 박막내의 $Y_2O_3$의 함량증가에 의한 것이었다. Zr 및 Y, O는 박막의 두께에 따라 일정한 조성비를 나타내었다. 운반기체를 Ar로 하였을 때 $1000\AA$이하의 크기를 갖는 YSZ 입자들이 column 모양으로 기판에 수직하게 성장하였으며, 운반기체가 He인 경우에도 column 모양으로 성장하였으며 입도가 $1000~2000\AA$으로 Ar의 경우보다 조대해졌다. XRD 분석결과 $Y_2O_3$의 함량이 증가함에 따라 YSZ의 격자상수 값이 약간씩 증가하였다. 이는 박막 전반에 걸쳐 형성된 균열에 의해 격자변형으로 인해 발생한 응력을 완화시켰지 때문이다. A Abstract Yttria-stabilized zirconia(YSZ) thin films were synthesized by plasma enhanced chemical vapor deposition process. $Zr[TMHD]_4$ $Y[TMHD]_3$ precursors and oxygen were used with the deposition temperature of $425^{\circ}C$ and rf power ranging 0-100 watt. Effects of the deposition parameters were studied by X-ray diffraction and thickness anal­ysis. YSZ thin films have cubic crystal structure with (200) orientation. From the results of EDX analysis, the converte ed content of $Y_2O_3$ was determined to be 0-36%, and the film thickness was increased with bubbling temperature which is considered to be due to increasing $Y_2O_3$ flux. The depth profiles of Zr, Y and 0 appeared relatively $\infty$nstant through film thickness. Columnar grains of $1000~2000\AA$ grew vertical to the substrate surface for the case of Ar carri­er gas. In case of He carrier gas, the grain size was observed to be about $1000~2000\AA$. X-ray diffraction data showed the increase of lattice constant with $Y_2O_3$ content. It was that the presence of the cracks formed during film deposition, partially released the stress generated by the increase of lattice constant.

소프트웨어 로봇을 위한 인간-로봇 상호작용

곽근창,지수영,조영조,Gwak Geun-Chang,Ji Su-Yeong,Jo Yeong-Jo 대한전자공학회 2006 전자공학회지 Vol.33 No.3

인간과 로봇의 자연스러운 상호작용을 위하여 영상과 음성을 기반으로 한 인간-로봇 상호작용 (HRI: Human Robot Interaction) 기술들을 소개한다. URC개념의 서버/클라이언트 구조를 갖는 소프트웨어 로봇에 수행 가능한 얼굴 인식 및 검증, 준 생체정보(semi biometrics)를 이용한 사용자 인식, 제스처인식, 화자인식 및 검증, 대화체 음성인식 기술들에 대하여 살펴본다. 이러한 인간-로봇 상호작용 기술들은 초고속 인터넷과 같은 IT 인프라를 이용하는 URC(Ubiquitous Robotic Companion) 기반의 지능형 서비스 로봇을 위한 핵심기술로서 사용되어진다.