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TDMAT와 TDMAT/$NH_3$ 로 형성한 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) Titanium Nitride 박막의 특성
백수현,김장수,박상욱,원석준,장영학,오재응,이현덕,이상인,최진석,Baek, Su-Hyeon,Kim, Jang-Su,Park, Sang-Uk,Won, Seok-Jun,Jang, Yeong-Hak,O, Jae-Eung,Lee, Hyeon-Deok,Lee, Sang-In,Choe, Jin-Seok 한국재료학회 1995 한국재료학회지 Vol.5 No.7
MOCVD(Metal-Organic Chemical Vapor Dposition) TiN 박막을 다양한 온도와 압력에서 tetrakis-dimethyl-amino-titanium(TDMAT (Ti[N($CH_3$)$_2$]$_4$))의 자체 열분해와 NH$_3$와의 반응을 사용하여 형성하였다. 비저항은 박막내의 불순물 함량에 의존하였는데 특히 XPS curve fitting 결과 주요 불순물인 탄소와 산소 같은 불순물들이 박막내에서 다양한 침입형화합물을 만들어 박막의 물리적, 전기적 특성에 영향을 준다는 것을 알았다. Metal-organic source만을 사용하여 TiN을 형성할 경우 지름이 0.5$\mu\textrm{m}$이고 aspect ratio가 3:1인 구멍에서 step coverage가 매우 우수하였으나 NH$_3$를 흘림에 따라 step coverage가 감소하는 것이 SEM으로 확인되었는데 이는 각각의 활성화에너지와 관련된 것으로 보인다. Thin films of titanium nitride are formed using the tetrakis-dimethyl-amino-titanium (TDMAT(Ti[N($CH_3$)$_2$]$_4$)) under various conditions. The formation of TiN films has been obtained from the thermal decomposition of the Ti-precursor and the gas phase reaction between TDMAT and ammonia(NH$_3$). The resistivity of the MOCVD film can be attributed to their impurity. Especially the curve fitting graph of XPS data is revealed that main impurities in the films as carbon and oxygen make various interstitial compounds which has influenced physical and electrical properties of the film. In the contact hole with the aspect ratio of 3:1 and the diameter of 0.5${\mu}{\textrm}{m}$, the SEM morphology shows that the step coverage is more decreased in the films formed y flowing ammonia additionally than the films formed by pyrolysis of TDMAT and the phenomenon is probably related with the activation energy.
백수현,민성호,안정숙,박기창,김민혁,Paik, Soo-Hyun,Min, Seongho,Ahn, Joung-Sook,Park, Ki-Chang,Kim, Min-Hyuk 한국정신신체의학회 2015 정신신체의학 Vol.23 No.2
연구목적 본 연구에서는 섬망의 운동성 아형 간의 증상과 임상적 특징의 차이를 알아보고자 한다. 방 법 일 대학병원에 입원하여 정신건강의학과에 협진의뢰된 환자 중 일반신체질환에 의한 섬망으로 진단된 256명을 대상으로 후향적으로 의무기록을 검토하였다. 운동성 아형은 Lipowski의 분류 체계에 따라 과활동형, 저활동형 및 혼재형으로 분류하였으며, 섬망평가척도를 이용하여 증상을 평가하였다. 결 과 과활동형이 130명(50.8%), 혼재형은 118명(46.1%), 저활동형은 118명(3.1%)이었다. 과활동형은 평균연령이 혼재형 환자보다 적었으며(p=0.022), 섬망을 치료하기 위해 항정신병 약물을 더 자주 사용하였다(p<0.001). 과활동형은 인지적 및 비인지적 증상 점수가 타 아형에 비해 높았다(각각 p=0.002, p<0.001). 결 론 섬망의 운동성 아형에 따라 증상 및 임상적 특징에서 차이가 있었다. 운동성 아형에 따라 진단 및 치료적 접근 방법을 달리하여, 특정 아형의 섬망 진단이 간과되거나 치료가 지연되지 않도록 관심을 가질 필요가 있다. Objectives : To investigate clinical and symptomatic differences among motoric subtypes of delirium. Methods : A total of 256 patients referred to psychiatric consultation services for delirium due to general medical condition were assessed retrospectively. Motoric subtypes were determined according to Lipowski's criteria for hyperactive, hypoactive and mixed subtypes. All patients were evaluated according to Delirium Rating Scale-Revised-98(DRS-98-R) by trained psychiatrists to obtain symptomatic profiles of delirium. Results : Hyperactive subtype were 50.8%(n=130), mixed 46.1%(n=118) and hypoactive 3.1%(n=8). Hyperactive patients were younger than mixed subtype($69.62{\pm}13.976$ vs. $73.97{\pm}11.569$, p=0.022) and received antipsychotics to manage symptoms of delirium more frequently(83.8% vs. 57.6%, p<0.001). Hyperactive patients had higher DRS-R-98 scores on both noncognitive($7.14{\pm}3.543$ for hyperactive, $5.62{\pm}3.279$ for mixed subtype) and cognitive subscales($10.00{\pm}3.574$ for hyperactive, $6.38{\pm}2.875$ for hypoactive, $7.43{\pm}3.771$ for mixed subtype, p<0.001). Conclusions : We demonstrated that clinical and symptomatic profiles were different across motoric subtypes in delirium. Diagnostic and therapeutic approach should be made differently according to motoric subtypes of delirium and special attention is needed not to underestimate or delay treatment in specific motoric subtype of delirium.