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Ag(001)에 성장된 NiO 극초박막의 화학 결함 연구
양설운,성시진,김재성,황한나,황찬국,장영준,박수현,민항기,Yang, Seol-Un,Seong, Shi-Jin,Kim, J.S.,Hwang, Han-Na,Hwang, C.C.,Chang, Young J.,Park, Soo-Hyon,Min, H.G. 한국진공학회 2007 Applied Science and Convergence Technology Vol.16 No.5
NiO 극초박막을 Ag(001) 단결정 위에 성장하는 과정에서 발생하는 화학 결함들을 X선 광전자 분광법을 이용하여 연구하였다. 특히 박막 두께, 산소 분압, 물 분압, 기판 온도 등을 잘 제어한 성장 환경에서 얻어진 O 1s, Ni 2p 스펙트라의 분석을 통하여 NiO 극초박막 성장 시 형성되는 화학 결함들의 정체를 일관성 있게 밝혀내었다. 이를 통하여 결함 밀도를 최소화 할 수 있는 최적의 성장 조건을 제안할 수 있게 되었다. We have researched the chemical defects of NiO ultrathin films grown on Ag(001) by x-ray photoelectron spectroscopy. In particular, O 1s and Ni 2p spectra were analyzed consistently with control film thickness, $O_2\;and\;H_2O$ partial pressure and substrate temperature. As a result, we could identify each chemical defect. In addition, we suggest the optimum growth condition to minimize the defect density.
박수현(S. H. Park),임상헌(S. H. Lim),이춘만(C. M. Lee) 한국생산제조학회 2005 한국공작기계학회 추계학술대회논문집 Vol.2005 No.-
High precision manufacturing of spherical lenses is required for the development of optical system and display industries. Over the past few decades, many studies have been focused on the manufacturing of the spherical lenses. Spherical center setting of the lens polishing machine is a big problem to obtain high precision lenses. This study has been focused on the development of the spherical center setting gage for a lens polishing machine. And also, measurement of spherical center and eccentricity is performed using the developed gauge. The result of the measurement of the lens polishing machine is provided for the manufacturing of the spherical lens which have good shape and surface finish.