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대기압 저온 플라스마에 의한 ITO(Indium Tin Oxide)박막 식각의 수소(H2)효과
이봉주 대한전자공학회 2002 電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices) Vol.39 No.8
It is confirmed that the ITO(Indium Tin Oxide) thin films can be etched by low-temperature plasma at atmospheric pressure. The etching happened deepest at a hydrogen flow rate of 4 sccm, and the etch rate was 120Å/ min. The etching speed corresponded to the Hα* emission intensity. The etching mechanism of the ITO thin films is as follows; thin films were reduced by Hα*, and the metal compound residues were detached from the substrate by reacting on the CH*. The etching was started after etching time of initial 50 sec and above the threshold temperature of 145 ℃. The activation energy of 0.16 eV(3.75 Kcal/mole) was obtained from the Arrehenius plots. 산화인듐(ITO)박막은 대기압 저온 플라스마에 의해 식각이 가능하다는 것을 확인했다. 식각은 수소유량 4 sccm에서 가장 깊게 발생하여, 120Å/min를 나타내었다. 식각속도는 Hα*의 발광강도와 대응하였다. ITO 박막의 식각 메커니즘은 Hα*에 의해 환원이 된후, 남게 된 금속 화합물은 CH*과 반응하여 기판으로부터 이탈한다고 생각된다. 식각은 식각시간 50초 이상에서부터, 기판온도145℃ 이상부터 발생하기 시작하였다. 활성화 에너지는 Arrehenius plots으로부터 0.16eV(3.75Kcal/mole)를 얻었다
ITO(Indium Tin Oxide) 박막의 대기압 저온 플라스마 토치에 의한 식각
李奉柱 대한금속재료학회 2002 대한금속·재료학회지 Vol.40 No.4
We have investigated the etching possibility of ITO(Indium Tin Oxide) thin films by using the plasma that was developed to generate a low-temperature plasma torch at atmospheric pressure. Hydrogen and methane radicals generated from the plasma were observed and their intensity was found to be dependent on the methane flow rate due to an analysis with optical emission spectroscopy. The etching ability of this plasma was evaluated by the evaluation of methane radicals emission intensity.
아시아태평양지역의 새로운 사회복지 패러다임 개발을 위한 공동작업의 첫 걸음
이봉주,Lee, Bong-Ju 한국사회복지사협회 2005 Social workers Vol.11 No.-
패널토의의 의의는 아시아 태평양지역에서의 사회복지의 정체성과 방향성에 대한 공감대를 각 국의 경험을 토대로 도출하였다는 점과 그러한 공감대 위에 지역적 특성을 고려한 사회복지정책과 실천 개발의 방향을 제시하였다.
초.중등학교 수학교사의 창의성 신장 교수 행동에 대한 분석
이봉주,Lee, Bong-Ju 한국수학사학회 2012 Journal for history of mathematics Vol.25 No.3
이 연구에서는 초 중등학교 수학교사의 창의성 신장 교수 행동을 분석함으로써, 창의성 교육 관련 교사교육 프로그램 구성을 위한 시사점을 도출하고자 하였다. 이를 위하여 초등학교 교사 57명, 중학교 교사 55명, 고등학교 교사 52명을 대상으로 설문조사를 실시하였다. 분석 결과, 근무학교급에 따른 창의성 신장 교수 행동은 유의미한 차이가 있지만, 성별, 지역별, 경력별로는 유의미한 차이가 없는 것으로 나타났다. 초등학교 교사와 중등학교 교사의 창의성 신장 교수 행동은 유의미한 차이가 있고, 초등학교 교사의 교수 행동 점수가 중등학교 교사의 교수 행동보다 높았다. 또한 창의성을 교육을 통해 신장시킬 수 있는가에 대한 교사의 인식 조사 결과, 초등학교 교사가 중등학교 교사에 비해 교육을 통한 창의성 신장 가능성에 대해 상대적으로 더 긍정적인 것으로 나타났다. The purpose of this study is to draw implication for the teacher education program in association with creativity through analysing teaching behavior for fostering creativity of the mathematics teachers at the primary and secondary schools. In order to do so, a survey was performed by sampling primary, middle, and high school teachers. According to the results, there is significant difference in teachers' behavior for fostering creativity in the perspective of school classification (primary and secondary school), but not gender, region, and career of teachers. In other words, there is significant difference in teaching behaviors for fostering creativity between primary and secondary school teachers, herein the score of teaching behavior of former is higher than latter. Furthermore, the result of teachers' recognition survey on the possibility of fostering students' creativity via education shows that the teachers of primary schools are more relatively positive than those of secondary schools on the matter.