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      • 초임계 유체를 이용한 웨이퍼 세정에 관한 연구

        오봉환 水原大學校 大學院 2000 국내석사

        RANK : 1855

        본 연구에서는 점차 고집적화, 고성능화 되어지는 반도체 소자의 제조공정중 제품의 수율 및 성능에 지대한 영향을 미치는 세정공정에 있어서 습식 세정 등 기존의 세정공정에서 야기되었던 여러문제에 대한 해결책의 한 방법으로 초임계 유체를 이용한 세정방법에 대한 연구를 수행하였다. 이러한 연구를 수행하기 위한 기초적인 실험으로 초임계 이산화탄소의 용해력 증진을 위해 함께 사용할 수 있는 공용매를 선정하여 초임계 이산화탄소내에서의 팽창정도를 측정하였다. 세정공정에 공용매로 사용되어진 용매들 중 methanol, acetone, isopropyl alcohol의 팽창은 유사한 경향을 보여주었으며, 주어진 온도의 낮은 압력 부근에서는 팽창 정도가 천천히 증가하였으나 온도에 따라 일정압력에 도달하면 팽창정도는 급격히 증가하여 500%[(Δv/v)X100] 이상의 값을 나타내었다. 따라서, 용매가 이산화탄소와 완전 혼합되어 단일상을 형성하여 세정공정에의 공용매로써 사용이 가능하였다. 초임계 유체를 이용한 세정실험에서는 순수 이산화탄소 및 이산화탄소와 methanol, acetone, isopropyl alcohol, propylene carbonate, pyridine 등의 공용매들을 이용하여 45∼200℃와 100∼400bar의 실험조건에서 알루미늄(aluminum) 웨이퍼에 대한 세정 효과를 검토하였다. 순수 이산화탄소만을 사용하여 세정한 경우 이산화탄소와 공용매를 혼합한 경우에 비해 매우 미약한 세정력을 나타내어 초임계 이산화탄소 단독으로 세정하는 것보다 공용매를 첨가하여 세정을 하는 것이 보다 더 효과적인 것으로 판명되었으며, 이산화탄소와 함께 사용된 용매 중 methanol, acetone, isopropyl alcohol을 이용한 세정에서는 많은 photoresist(PR)가 제거되었지만 여전히 잔류물들이 웨이퍼 상에 남아있었고, propylene carbonate와 pyridine을 사용하였을 경우 이들 용매들은 다른 용매에 비해 세정효과가 우수하였으며, 특히 200℃, 400bar(ρ= 0.5g/㎤ : CO_2 밀도)에서 대부분의 PR이 제거되어 가장 양호하면서도 유사한 세정효과를 보였다. Propylene carbonate와 pyridine을 이용한 실험에서의 세정효과는 주어진 밀도(ρ= 0.5g/㎤) 또는 압력(400bar)에서 온도의 상승에 따라 증가하였으나, 주어진 온도(200℃)에서 밀도에 의한 영향은 상대적으로 미약하였다. In this study, we examined on the cleaning method using the supercritical fluids to solve the various problems arised in the conventional wet cleaning method. To collect the basic data which can be used to clean the wafer using supercritical fluid, the expansivities of various co-solvents in carbon dioxide were determined. The chosen organic solvents such as methanol, acetone, isopropyl alcohol showed a similar expansion tendency and the expansivities increased gradually at low pressure but increased dramatically at the specific pressure for the given temperature. The determined expansivities were more than 500%[(Δv/v)X100] at the given temperature and pressure and the perfect mixing of solvents with carbon dioxide was inferred from the tendency of expansivities having the infinite slope for the pressure at the given temperature. The cleaning effects on the aluminum wafer were examined using pure carbon dioxide and carbon dioxide with co-solvents such as methanol, acetone, isopropyl alcohol, propylene carbonate, pyridine in the experimental conditions of 45∼200℃ and 100∼400bar. In case of pure carbon dioxide only a little cleaning effect was detected. The cleaning results of carbon dioxide including of methanol, acetone and isopropyl alcohol showed that a lot of photoresist(PR) removed but residues still remained on the wafer. The co-solvents of propylene carbonate and pyridine showed the best cleaning effects comparing to the other co-solvents, and specially removed most of PR at 200℃ and 400bar(ρ= 0.5g/㎤ : density of CO_2). In case of propylene carbonate and pyridine the cleaning effect increased with the temperature for the given density(ρ= 0.5g/㎤) or pressure(400bar), however the effect of density for the given temperature(200℃) was relatively very small.

      • 超電導 變壓器 卷線 における 常電導 遷移 現象に 關する 硏究

        오봉환 名古屋大學 1993 해외박사

        RANK : 1855

        건축, 토목 분야에서 폭넓게 사용되고 있는 에폭시 수지는 타의 폴리머에 비교하여 접착성, 내약품성, 역학적 성질등이 우수하기 때문에 시멘트 모르타 르 및 콘크리트에 혼입함으로서 철근 콘크리트 구조물의 보수재 및 마무리재 로서 보다 더 우수한 성능을 가진 폴리머 시멘트 모르타르 및 콘크리트를 제 조할 수 있게 되었다. 그러나 지금까지의 연구 개발되어 온 에폭시 수지 혼 입 폴리머 시멘트 모르타르 및 콘크리트에서는 폴리머 시멘트비가 타의 시멘 트 혼화용 폴리머와 비교하여 극히 높고, 더우기 에폭시 수지와 경화제의 두 성분을 필수적으로 혼합해야 하기 때문에 경제성 및 시공성의 면에서 문제점 을 내포하고 있다. 한편 경화제를 사용하지 않고 에폭시 수지만을 시멘트 모 르타르 및 콘크리트 중에 혼입 하기만 하여도 에폭시 수지는 시멘트 모르타르 및 콘크리트 중의 시멘트의 수화의 결과 생성되는 수산화물 이온의 작용에 의해 에폭시 수지를 개환시켜 경화할 수 있다는 사실을 발견하였다. 이러한 것은 철근콘크리트 구조물의 내구성 증진을 위한 에폭시 수지 혼입 폴리머 시 멘트 모르타르 및 콘크리트의 폴리머 시멘트비의 저감 및 기존의 두 성분의 혼합에 기인한 결점을 극복할 수 있는 가능성을 시사하게 되었다. 본 논문에서는 철근 콘크리트 구조물의 보수재 및 마무리재로서의 경화제 무첨가 에폭시 수지 혼입 폴리머 시멘트 모르타르 및 콘크리트의 개발을 목적 으로 배합을 변화시켜 기존의 경화제를 첨가한 것과 비교하면서 에폭시 수지 의 경화 기구 및 각종 성질을 실험 고찰하였다. 제1장에서는 본 연구의 목적과 배경 및 연구의 범위, 경화제 무첨가 에폭시 수지 혼입 폴리머 시멘트 모르타르 및 콘크리트의 개발의 필요성 및 기존의 연구에 대해 설명하였다. 제2장에서는 경화제 무첨가 에폭시 수지 혼입 폴리머 시멘트 모르타르중에 서의 에폭시 수지의 경화 기구에 대하여 검토하고 더우기 경화제 무첨가 에폭 시 수지 혼입 폴리머 시멘트 페이스트 및 모르타르 중에서 경화한 에폭시 수 지의 정량을 행하여 에폭시 수지의 경화의 정도를 해명하였다. 제3장에서는 경화제 무첨가 에폭시 수지 혼입 폴리머 시멘트 모르타르의 배 합을 변화시켜 그의 물리적 성질 및 내구성에 대해 검토했다 This is study investigated the antecedents of behavioral loyalty and the relationships among the study variables. The data used in the analyses were collected from participants of a recreational sport/fitness center. Data were collected through a combination of on site and mail survey. The results of the multivariate analyses were based on 208 completed usable questionnaires. The present study corroborated the idea that involvement and attitudinal loyalty constructs should be viewed multidimensionally. Factor analyses produced three factor structure for attitudinal loyalty construct (normative, affective, and investment loyalty), and four factors for involvement construct (self-expression, importance-pleasure, risk-consequence, and risk probability). These dimensions of involvement and attitudinal loyalty constructs should be taken into account in predicting participants' behaviors. Canonical correlation analysis indicated that subjects who reported higher levels of involvement profiles also had higher scores on attitudinal loyalty profiles. Hierarchical multiple regression analyses revealed that involvement profiles and attitudinal loyalty profiles uniquely contributed to the prediction of behavioral loyalty. Involvement profiles have a good predictive power in participants' short term usage of the program, while attitudinal loyalty is predictive of long term usage of the program. These results reflect the multidimensionality of behavioral loyalty. A series of t-test and ANOVA revealed that demographic variables may be utilized to segment the market. Further, it was found that participants who were affectively loyal and perceive importance of and pleasure in the program exhibited higher levels of behavioral loyalty dimensions and planned to renew membership in the future. Marketing strategies should be concerned about how to create greater attitudinal loyalty and involvement profiles of participants to influence or increase their levels of behavioral loyalty to the respective organization.

      • 內部顧客滿足에 관한 實證的 硏究 : 서울市內 一般外食業體 中心으로

        오봉환 東國大學校 經營大學院 2004 국내석사

        RANK : 1855

        본 연구는 일반외식업체 종사들의 만족도 즉, 내부고객 만족도를 인구통계학적 분석中 성별, 학력, 연봉, 연령, 근무경력에 따른 차이점을 알아보고, 이에 따른 영향을 조사분석하여 現의식산업 경영자와 앞으로 창업자들은 물론, 외식산업의 질적 성장에 도움이 되고자 한다. 연구의 대상자를 일반외식업체 종사자로 한 이유는 두 가지이다. 첫째는 기존의 연구에 의해 특급호텔 등 대규모외식업체의 분석자료들은 있으나, 일반외식업체는 찾아보기 힘들고, 일부의 연구자료는 불분명한 자료라는 점이다. 다른 하나의 이유는 현 우리나라 외식업체의 현황에서 알 수 있듯이 전국에 약 440 점포의 외식업체가 존재한다. 즉, 1가구 4 인기준으로 우리나라 3 가구 중 1 가구는 외식업체에 종사하거나 운영하고 있다는 이야기이다. 이런 수치만으로도 외식산업의 양적인 발전은 눈에 띄게 성장하고 있으나 질적인 부분의 성장은 상대적으로 저조한 것이 현실이다. 특히, 종사자들에 대한 관리와 복리후생부분은 열악하며, 4대保險 未가입, 인력난으로 인한 외국인노동자고용 등 이런 업체가 大多數인점만을 볼 때에도 체계적인 조직관리에 많은 문제가 있다는 점을 들 수 있다. 이런 외식산업종사들의 만족도를 조사 분석한 것을 요약하면 다음과 같다. 1) 업무에 대한 만족도 근무 직급별로는 정사원이 계약직 및 아르바이트 종사자보다 자신의 업무에 대한 만족도가 높았으며, 직급에 따라 유의미한 차이를 보였다(t=2.04, p<.05). 2) 직장에 대한 만족도 (분위기) 결혼 여부별로는 미혼이 기혼보다 상급자들의 업무에 관련된 사항의 설명과 지도에 대한 만족도가 높았으며, 결혼 여부에 따라 유의미한 차이를 보였다(t=2.07, p<.05). 연령별로는 20대 이하가 30대 이하보다 상급자들의 업무에 관련된 사항의 설명과 지도에 대한 만족도가 높았으며, 연령에 따라 유의미한 차이를 보였다(t=2.33, p<.05). 기혼자, 연령이 많을수록 안정된 직장생활을 원하나 일반외식업체은 직장내 분위기나 상사의 업무에 관한 설명과 지도에 불만족하고 있다. 3) 인사 대한 만족도 연봉별로는 연봉이 적을수록 인사평가의 공평성에 대한 만족도가 높았으며, 연봉에 따라 유의미한 차이를 보였다(F=3.47, p<.05). 인사평가제도의 사전정보 제공에 대한 만족도는 근무경력별로 근무경력이 적을수록 높았으며, 근무경력에 따라 유의미한 차이를 (F=3.56, p<.05)보였다. 연봉별로는 연봉이 적을수록 만족도가 높았으며, 연봉에 따라 유의미한 차이를 보였다(F=4.87, p<.01). 학력별로는 학력이 낮을수록 인사평가제도의 사전정보 제공에 대한 만족도가 높았으며, 학력에 따라 유의미한 차이를 보였다(F=5.45, p<.01). 보상시스템에 대한 만족도는 연령별로 20대 이하가 30대 이상보다 높았으며, 연령에 따라 유의미한 차이를 보였다. 개인발전 지원에 대한 만족도는 미혼이 기혼보다 만족도가 높았으며, 결혼 여부에 따라 유의미한 차이를 보였다(t=1.99, p<.05). 연령에 따라 20대 이하가 30대 이상보다 높았으며, 유의미한 차이를 보였다(t=2.38, p<.05). 학력별로는 고졸 이하가 전문대졸 이상보다 개인발전 지원에 대한 만족도가 높았으며, 학력에 따라 유의미한 차이를 보였다(F=3.34, p<.05). 직급별로는 계약직 및 아르바이트 종사자가 정사원보다 개인발진 지원에 대한 만족도가 높았으며, 직급에 따라 유의미한 차이를 보였다(t=-3.29, p<.01). 근무경력별로는 근무경력이 적을수록 개인발전 지원에 대한 만족도가 높았으며, 근무경력에 따라 유의미한 차이를 보였다(F=3.27, p<.05).2.56, p<.05). 4) 근무환경에 대한 만족도 연령별로는 20대 이하가 30대 이상보다 임금에 대한 만족도가 높았으며, 연령에 따라 유의미한 차이를 보였다(t=2.12, p<.05). 또한, 근무환경에 대한 만족도는 20대 이하가 30대 이상보다 높았으며, 연령에 따라 유의미한 차이를 보였다(t=2.19, p<.05). 5) 경영진의 경영정책과 직장의 비전에 대한 만족도 성별로는 여자가 남자보다 최고경영자의 경영자세에 대한 만족도가 높았으며, 성별에 따라 유의미한 차이를 보였다(t=-2.03, p<.05). 근무경력별로는 1년 미만인 종사자가 최고경영자의 경영자세에 대한 만족도가 가장 높았고, 5년 이상인 종사자가 1∼5년 미만인 종사자보다 최고경영자의 경영자세에 대한 만족도가 낮았으며, 근무경력에 따라 유의미한 차이를 보였다(F=3.65, p<.05). 연봉별로는 연봉이 적을수록 최고경영자의 경영자세에 대한 만족도가 높았으며, 연봉에 따라 유의미한 차이를 보였다(F=3.61, p<.05). 직장의 지역사회 공헌에 대한 만족도는 연봉별로 연봉이 적을수록 만족도가 높았으며, 연봉에 따라 유의미한 차이를 보였다(F=4.17, p<.05). 결혼 여부별로는 미혼이 기혼보다 종사자의 관리 대책에 대한 만족도가 높았으며, 결혼 여부에 따라 유의미한 차이를 보였다(t=2.35, p<.05), 연령별로는 20대 이하가 30대 이상보다 종사자의 관리 대책에 대한 만족도가 높았으며, 연령에 따라 유의미한 차이를 보였다(t=3.31, p<.01). 고객만족을 위한 서비스개선 프로그램에 대해서는 연령별로 20대 이하가 30대 이상보다 만족도가 높았으며, 연령에 따라 유의미한 차이를 보였다(t=2.25, p<.05). 학력 별로는 전문대졸 이하가 대졸보다 고객 만족을 위한 서비스개선 프로그램에 대한 만족도가 높았으며, 학력에 따라 유의미한 차이를 보였다(F=3.39, p<.05). 근무경력별로는 1년 미만인 종사자가 고객만족을 위한 서비스개선 프로그램에 대한 만족도가 가장 높았고, 1∼2년 미만인 종사자가 2년 이상인 종사자보다 고객만족을 위한 서비스개선 프로그램에 대한 만족도가 높았으며, 근무경력에 따라 유의미한 차이를 보였다(F=2.89, p<.05). 회사의 새로운 환경변화 적응과 변화에 따른 대체에 대한 만족도는 연령별로 20대 이하가 30대 이상보다 만족도가 높았으며, 연령에 따라 유의미한 차이를 보였다(t=2.09, p<.05). 직장 경영진, 직장 비전에 대한 만족도 근무경력별로는 1년 미만인 종사자가 가장 높았으며, 5년 이상인 종사자가 1∼5년 미만인 종사자보다 직장 경영진, 직장 비전에 대한 만족도가 낮았으며, 근무경력에 따라 유의미한 차이를 보였다(F=2.70, p<.05). 연령별로는 20대 이하가 30대 이상보다 직장 경영진, 직장 비전에 대한 만족도가 높았으며, 연령에 따라 유의미한 차이를 보였다(t=2.41, p<.05). 외식산업에 대한 만족도는 연령별로 20대 이하가 30대 이상보다 높았으며, 연령에 따라 유의미한 차이를 보였다(t=2.67, p<.01). 연령과 근무경력이 많을수록, 기혼일수록 직장에 대한 비전과 경영진들의 정책에 대해 불만족하고 있는 것으로 조사되었다.

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