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      • 패턴 Top Rounding 효과를 고려한 패턴 붕괴 전산모사

        이형주,박준택,오혜근 한양대학교 이학기술연구소 2002 이학기술연구지 Vol.5 No.-

        패턴의 선폭이 100 nm 이하로 작아짐에 따라 발생하는 패턴의 붕괴 현상은 반도체생산과 수율에 많은 영향을 미친다. 패턴 붕괴 현상은 리소그래피 과정 중 현상 후 세척액을 건조하는 과정에서 주로 발생하며 세척액의 표면장력에 의한 모세관 현상이 주된 원인으로 알려져 있다. 패턴 붕괴 현상을 시뮬레이션하기 위하여 패턴이 세척액에 외해서 균일한 압력을 받을 때와 집중 압력을 받을 때의 역학적 모델을 세우고 각각의 모델을 통하여 선폭과 패턴간의 거리에 따른 임계 높이/선폭비 (aspect ratio)를 계산하여 실제 실험 결과와 일치하는 모델을 선정하였다. 시뮬레이션 결과 패턴의 top 부분이 둥근 (rounded top) 패턴이 각진 (flat p) 패턴에 비해 변형이 줄어들 수 있다는 것을 확인할 수 있었다. The pattern size is reduced as the device is more integrated. The resist deformation phenomenon has been a serious problem under 100 nm line width pattems. The most applicable model for an existing empirical result is chosen to create a simulation tool by comparing the two mechanical models when a pattern receives a distributed pressure or a concentrated pressure from the rinse liquid. Based on the chosen model, the critical aspect ratio with respect to line width and space can be calculated. The simulated results show that the pattern collapse phenomenon is reduced for a rounded top resist profile rather than for aflat top profile

      • HBsAg 양성혈청에서의 HBeAg 및 anti-HBe 양성율과 ALT와의 관계 고찰

        문희주,윤기은,박정오,배형준,최범열 서울보건대학 1996 서울보건대학 부설 한국보건과학연구소 논문집 Vol.3 No.1

        The authors investigated HBeAg and anti-HBe in 1,000 cases(male 941, female 59) of HBsAg positive among the 225,512 blood donors in Seoul Nambu Blood Center in 1994. HBeAg and anti-HBe was detected by the method Enzyme Immunoassy. The results obtained were as follows ; 1. HBeAg and anti-HBe positive rates were detected 498 cases(49.8%) and 445 cases(44.5%) respectively among 1,000 cases HBsAg positive blood donors. 2. In HBsAg positive carriers, HBeAg positive rates were not significantly different between anti-HBe positive rates, but in sex were significantly different between HBeAg positive rates and anti-HBe positive rates. 3. HBeAg positive 498 cases were analyzed with age and it was found percentages of positive rates were 63.6% in 1st decade, 53.7% in 2nd decade, 20.6% in 3rd decade, 19.6% in 4th decade and 8.3% in over 5th decade, but anti-HBe positive 447 cases were 32.4% in 1st decade, 40.5% in 2nd decade, 69.2% in 3rd decade, 78.3% in 4th decade and 91. 7% in above 5th decade. 4. HBeAg positive rate decreased stepwise with age, while anti-HBe positive rate increased stepwise with age. 5. ALT abnormal cases in the HBeAg positive donors were higher than normal cases, but ALT normal cases in the anit-HBe positive donors were higher than abnormal cases.

      • 병원내 생리기능 검사실의 적정 업무환경에 관한 연구

        배형준,윤기은,김승곤,나동진,문희주,김태전,박정오 서울보건대학 1999 서울보건대학 부설 병원경영연구소 논문집 Vol.4 No.2

        The purpose of this study was to suggest guideline for optimal work environment of physiological laboratory in hospital. Therefore this study was carried out to analyze the actual condition of laboratory system, major equipments and persons. The period of survey was from September to November 1997 and the objects were 123 laboratory. The major results of this study were as follows. 1. The optimal areas of general ECG room, exercise ECG room and echocardiology room were all 9-18㎡, that of Holter ECG room was 3-12㎡. The optimal areas of neurosystem laboratory were all 9-12㎡, those of respiratory system laboratory were all 9-18㎡. 2. The optimal number of persons laboratory of hospital 500 beds and less were 2∼3, those of 501∼700 beds were 3∼4.701∼1.000 beds were 4∼5 and over 1.001 beds were 7∼8 persons in circulatory system laboratory. The optimal number of persons laboratory of hospital 500 beds less than were 1∼2, those of 501∼700 beds were 3∼4, 701∼1.000 beds were 6∼7 and over 1.001 beds were over 8 persons in neurosystem laboratory. The optimal number of persons laboratory of hospital 500 beds and less 1. those 501∼1.000 beds were 1∼2 and over 1.001 beds were 2∼3 persons in repiratory system laboratory. 3. The optimal number of equipments of general ECG were 2∼3 in the 500∼1.000 beds hospital. there were 3∼4 units in the 1,001 beds. The optimal number of equipment EEG were both 1∼2 in the hospital 500 beds and less and 501∼700 beds. those were 4∼5 units in hospital over 701 beds. The optimal number of equipments of spirograph were both 1∼2 in the hospital 500 and less and 501∼1.000 beds. those were 2∼3 units in the over 1.001 beds. 4. In view of speciality and legal problem of physiofunctional test. we sugget that non-licensee were so quickly change place licensee in the interests of optimal work environment. 5. We suggest that to upgrade qualitative level of domestic equipment and to the more amplify utilization with respect to domestic equipment for the purpose of reducing loss of foreign money.

      • Park & Ride 이용형태분석을 통한 입지선정에 관한 연구

        이주형,노백호,오휘영 漢陽大學校 環境科學硏究所 1990 環境科學論文集 Vol.11 No.-

        P & R 이용은 시간과 비용에 많은 양을 들이지 않고 도심의 교통소통문제와 주차문제를 해결할 수 있는 효율적인 방안이다. 기존의 P & R 시설은 이용자의 구성추세, 이동방향, 이용발생인자에 대한 상세한 고려없이 계획함으로서 연계목적 이외의 기능, 즉 주차장 주위에서 쇼핑, 업무 및 만남을 갖기 위해 주차하는 비연계목적의 이용자가 상당히 많다. 연계기능의 영향요인을 분석한 결과, 시간의 절약이 다른 요인에 비해 4∼5배 정도 높게 나타났다. 따라서 P & R의 최적입지선정을 위한 모형에 시간인자를 이용하였는데, 지하철을 이용한 연계이용시간과 자가승용차 이용시간을 비교하여 경제적 이득시간이 최대로 발생하는 최적입지점을 선정한다. 사례지역인 3호선구간에 모형을 적용한 결과 녹번역이 최적입지점으로 나타났다. It is serious in the traffic conditions in Seoul. Especially, the traffic flow and parking problem in the center of Seoul is undoubtedly the increasing 'my-car' accompanied by concentration at the peak hour. The usage of Park & Ride is to be increased with the seriousness of traffic problem. For coming down the serious traffic problems to be studied drivers, who parks in the Park & Ride, behavior analysis and the location choice of Park & Ride to be minimize the cost. The existed Park & Ride is mostly used in the out of nutrual purpose. The greatest factor affecting Park& Ride is time save factor. The empirical study area is selected the 3th subway line, which is composed of Kupabal-Anguk. The optimal location point is 4th station, Nokpon.

      • 우포늪(경상남도, 창녕군)의 거미상

        김주필(Joo Pil Kim),예용택(Yong Taek Ye),예성훈(Seong Hun Ye),유혜성(Hye Seong Yeu),장지현(Jee Hyeon Jang),오종화(Jong Hwa Oh),채준호(Jun Ho Chae),김태우(Tae Woo Kim),김민섭(Min Seob Kim),변진관(Jin Gwan Byun),이형민(Hyung Min Lee), 한국거미연구소 2015 한국거미 Vol.31 No.2

        2014년 8월 5일부터 7일까지 경상남도 창녕군 일대에 위치한 대한민국 최대의 내륙 습지인 우포늪 일대를 한국거미연구회 회원(김주필, 예용택, 장지현, 오종화, 예성훈, 유혜성, 채준호, 김태우, 김민섭, 변진관, 성민규, 김지후, 김대희, 김녕, 이정준, 이형민 등 16명)들이 채집 조사한 결과 16과 48속 69종의 거미가 조사 연구되어 이에 보고하는 바이다. The authors investigated the spiders of the Upo wetland from 5th August to 7th August, 2014. In the present paper 69 species of 48 genera belong to 16 families were identified. These specimens are deposited at the Joo-Pil Spider Museum, Namyangju-Si, Kyunggi-Do.

      • 복합적인 레지스트 패턴 붕괴현장의 역학적 해석

        이형주,박준택,안일신,김옥근,오혜근 한양대학교 이학기술연구소 2003 이학기술연구지 Vol.6 No.-

        패턴의 선폭이 100nm이하로 작아짐에 따라 패턴이 부러지고, 휘고, 떨어져 나가는 현상이 발생하는데 이러한 현상을 패턴 붕괴 현상이라고 하며, 반도체 생산과 수율에 많은 영향을 미친다. 패턴 붕괴 현상은 리소그래피 과정 중 현상 후 세척액을 건조하는 과정에서 주로 발생하며 세척액의 표면장력에 의한 모세관 현상이 주된 원인으로 알려져 있다. 패턴 붕괴 현상을 시뮬레이션하기 위하여 패턴이 세척액에 의해서 균일한 압력을 받을 때와 집중 압력을 받을 때의 역학적 모델을 세우기 각각의 모델을 통하여 선폭과 패턴간의 거리에 따른 임계 높이/선폭비 (aspect ratio) 를 계산하여 실제 실험 결과와 일치하는 모델을 선정하였다. 또한 패턴 내부에 생기는 stress 에 의한 부러짐 현상과 패턴 과 레지스트 패턴 하부 층 사이의 접착력 부족으로 발생하는 떨어짐 현상을 해석하였다. High aspect ratio resist patterns with dimensions below 100 nm often bend, break or tear. These phenomena are generically called "resist pattern collapse". Pattern collapse is a very serious problem in fine patterning of less than 100 nm critical dimension (CD), so that it decreases the yield. In order to mechanically analyze this phenomenon and create its simulator, two models have been made and compared. In this paper, various approaches with various analyses are made to understand pattern collapse. Also, the critical aspect ratio for 100 nm node, that determines whether pattern collapse happens or not, can be calculated with these approaches. Finally, tear type caused by insufficiency of adhesion strength between the substrate and the resist is analyzed with a point of view of the surface free energy.

      • 아파트의 固體振動 低減對策에 관한 硏究

        이주형,오제응 漢陽大學校 環境科學硏究所 1988 環境科學論文集 Vol.9 No.-

        오늘날의 住居空間은 生活文化가 發達하고 變化함에 따라 經濟的이고 便利하여 졌으나, 騷音環境側面에서 불 때 적합하지 않은 문제점도 發生하게 되었다. 즉 騷音環境에 대한 要求가 더욱 세심해지고 住居空間의 構造變化에 따라 Wall Slab 아파트에서 structure-borne sound와 vibration이 심각한 문제로 제기되었다. 하지만 이에 대한 규제나 基準이 없는 실정이어서 生活文化發達에 부응하는 住居環境의 達成이 시급하다. 本 硏究에서는 Wall Slab구조 아파트에 대한 structure-borne sound와 vibration의 실상을 파악하기 위해서 "建築物의 現場에 있어서의 바닥 충격레벨의 測定方法"에 의해 소음과 진동을 측정하였다. 이에 대한 結論은 1) Wall Slab 와 R.C조를 비교한 결과 500㎐이하에서 약 10㏈의 차이를 보이면서 R.C조가 충격음과 진동에서 좋았다. 2) structure-borne sound와 vibration를 저감시키기 위해 Life Slab의 채택이 필요할 뿐만 아니라, 50~65m/m정도에 Life Slab는 가장 효율적인 節緣値를 나타냈다. The purpose of this study is to be calculated the problems of the Structure-bone sound and vibration to a apartment mode wall slab type and to be made the counterplan of noise reduction Actually based on respond to a resident, Structure-bone sound and vibration is measured with "Method for field measurement of floor impact sound level" The result of this study figures out: 1) The apartment mode reinforce concrete compared to the apartment made wall-siab has a good condition to a Structure-bone sound and vibration, taken the 10㏈ difference under the 500㎐. 2) Needed life-slab to apartment construction for the noise reduction of a apartment Structure-bone sound and vibration, having efficiently the 50~65m/m of life-slab increasing the degree of strength with a interior power wall within 5.Om of span in living space.

      • KCI등재

        국내 전기통신산업의 비용구조에 관한 실증연구

        이덕주,오형식 한국경영과학회 1997 한국경영과학회지 Vol.22 No.2

        In this study, we estimate the multi-service cost function of Korea Telecom in order to characterize the cost structure of the telecommunication industry in Korea. By examining the cost function of Korea Telecom, we show that telecommunication costs of Korea Telecom are subadditive. Therefore, we conclude that a natural monopoly exists in the telecommunication industry in Korea.

      • 저강도 초음파 및 레이저를 이용한 장관골 불유합의 치료

        전인호,오창욱,김성중,경희수,박일형,박병철,인주철,여준영 대한골절학회 2003 대한골절학회지 Vol.16 No.2

        목 적: 저강도 초음파는 인체 및 동물 실험에서 골조직에 낮은 미세한 물리적 압력을 가하여 골절의 치유에 유리한 영향을 주고, 레이저 (LASER)는 심부 조직에 혈류를 증가시키고, 세포 내 잠재된 에너지를 증가시키는 것으로 알려져 있다. 이에 저자들은 임상적으로 확진된 장관골 붕류합의 치료에 있어 펄스형 저강도 초음파와 레이저를 적용하고 그 효용성을 알아보고자 하였다. 대상 및 방법: 초음파/레이저의 치료 효과를 비교하기 위하여 장관골 불유합으로 확진된 16예 중 8예는 연구군으로 골이식술 후 저강도 초음파와 레이저 치료를 추가하였고 대조군 8예에 대해선 일반적인 골이식술만 시행하여 조사하였다. 남자가 11예, 여자가 5예, 평균 연령은 41.7세 (19~62세)였고, 불유합 부위는 대퇴골이 10예, 경골이 6예였다. 첫 수상으로 인한 골절 후 초음파/레이저 치료까지 시간(골절 연력)은 평균 502일이었다. 결 과: 8예의 연구군에서는 완전 골유합이 6예에서 이루어졌으며 유합까지의 시간은 평균 141일 (101~202일)로 나타난 반면, 8례ㅢ 대조군에서는 5예에서 골유합이 이루어졌고, 유합까지의 시간은 평균 240일 (183~283일)이었다. 결 론: 저강도 초음파/레이져 골절 치료기가 반복된 수술로 인한 난치성 장관골 불유합의 치료에 있어 골이식술과 함께 사용될 경우 긍정적인 효과가 있었고, 특히 최초 가골 형성에 있어 대조군에 비해 그 시간을 줄일 수 있었따. Purpose: Low-intensity, pulsed ultrasound (LIPUS) has demonstrated a stimulation and acceleration of the normal fracture-repair process in cellular bases as well in animal and human models. In this study, the adjunctive effect of LIPUS and LASER was investigated in established nonunion of the long bones. Materials and Methods: Study group consisted of eight patients to whom conventional bone graft and adjunctive LIPUS and LASER was applied. On the other hands, eight patients in the control group underwent bone graft only. Eleven men and five women were included in this study and the average age of the patients was 41.7 years (range, 19~62 years). Six of the tibias and ten of the femurs met the criteria for established nonunion. The average fracture age, the post-fracture period before the start of LIPUS/LASER treatment, was 502 days. Results: Seven of the ten nonunions who were treated by LIPUS and LASER healed completely in an average treatment time of 141 days (range, 101~202 days) and otherwise, in control group, five of the eight nonunions healed completely, in 240 days (range 183~283 days). Conclusion: This clinical study showed a positive effect of LIPUS and LASER on the rate of osseous repair, especially accelerated time to initial callus cortical bridging compared to that of conventional treatment.

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