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반도체 웨이퍼의 스트레스 측정을 위한 공정 및 표면 검사시스템 구현
조태익(Tae-Ik Cho),오도창(Do-Chang Oh) 대한전자공학회 2008 電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices) Vol.45 No.8
본 논문에서는 먼저 RTP(Rapid Thermal Processor) 장치를 스트레스 측정에 용이한 구조로 제작하고 PC에서 통합 공정관리 시스템을 설계하였다. 다음으로는 Large deformation 이론을 바탕으로 반도체 웨이퍼 표면의 변형검사를 위한 레이져 인터페로미터리를 구성하였다. 궁극적으로 이러한 레이져장치로부터 웨이퍼 표면의 영상을 추출하고 세선화, 블록화 그리고 스트레스 분포도의 순서로 영상처리 하여 스트레스로 인한 웨이퍼 표면의 변형을 검사하였다. 실험을 하기 위해 변형이 이루어지도록 웨이퍼의 후면을 1㎜정도 갈아낸 후 약 1000도에서 3∼4회 열처리를 수행하였으며, 열처리를 가한 영상과 가하지 않은 영상을 통하여 웨이퍼 열처리 후 심각한 변형이 이루어졌음을 알 수 있었다. In this paper, firstly we made of the rapid thermal processor equipment with the specifically useful structure to measure wafer stress. Secondly we made of the laser interferometry to inspect the wafer surface curvature based on the large deformation theory. And then the wafer surface fringe image was obtained by experiment, and the full field stress distribution of wafer surface comes into view by signal processing with thining and pitch mapping. After wafer was ground by 1mm and polished from the back side to get easily deformation, and it was heated by three to four times thermal treatments at about 1000 degree temperature. Finally the severe deformation between wafer before and after the heat treatment was shown.
여객선의 Safe Return to Port 설계적용 사례
김호은,최수원,김주한,윤규환,조태익 대한조선학회 2011 대한조선학회 학술대회자료집 Vol.2011 No.6
최근 여객선에 대한 국내 조선소들의 관심이 높아지면서 이와 관련된 설계 기술력 확보에 많은 노력을 하고 있다. 그 중에서도 Safe Return to Port(SRtP)는 2010 년 7 월 이후로 Keel Laying 되는 길이 120m 이상의 여객선에 강제 적용되는 사항으로 가장 최근에 여객선 관련 분야에서 선주뿐만 아니라 조선소에서 많은 관심의 대상이 되는 사항이다. 본 논문에서는 SRtP 에 대한 기본적인 개념을 기준으로 실제 선박설계에 있어서 조선소입장에서 SRtP 적용 방안에 대한 검토를 수행하였다. 아울러 SRtP 를 위하여 구획배치 및 시스템 배치 측면에서 검토가 필요한 사항을 간단하게 제안하였으며, Critical System 이 발생을 배제하여 Detail Assessment 를 수행하지 않는 것이 최선의 설계라고 판단하였다. 향후에는 시운전 및 유지보수계획에 대한 절차 수립이 필요하다.
유휴 숙박시설을 노인요양원으로 용도변경을 위한 건축계획연구
김범수(Kim, Beom-Soo),동재욱(Dong, Jae-Uk),조병후(Jo, Beyong-Ho),조태익(Jo, Tae-Ik) 대한건축학회 2022 대한건축학회 학술발표대회 논문집 Vol.42 No.2
It is very urgent to increase the supplies for the elderly facility because of the rapid population growing of elders in our country. But, if we depend on the only new builing for them, it will take a lot of time and cause to bring economic problem. So, this study proposed the activating plan to increase the supplies of the elderly facility through using the existing unused regional buildings. The results of this study were as follows. As a relaxation of relevant laws and regulations to be applied when changing and remodeling, it is proposed to ease local district regulations stipulated in the National Land Planning and Utilization Act, and to derive items that are difficult to apply for structural reasons. In addition, it proposes to find ways to simplify the construction administration procedure when changing the use of elderly care facilities and proposes standards according to the facility renovation and space plan when changing the use of existing buildings.