http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
안명천,최상대,주호완,김기왕,황도근,이장로,이상석,Ahn, M.C.,Choi, S.D.,Joo, H.W.,Kim, G.W.,Hwang, D.G.,Rhee, J.R.,Lee, S.S. 한국자기학회 2007 韓國磁氣學會誌 Vol.17 No.4
어레이(away) 자성센서 개발을 위해 고진공 스퍼터링 증착장비를 이용하여 스펙큘러형(specular type) Glass/Ta(5)/NiFe(7)/IrMn(10)/NiFe(5)/$O_2$/CoFe(5)/Cu(2.6)/CoFe(5)/$O_2$/NiFe(7)/Ta(5)(nm) 거대자기저항-스핀밸브(giant magnetoresistive-spin valves; CMR-SV)박막을 제작하였다. 다층박막 시료를 $20{\times}80{\mu}m^2$의 미세 활성영역을 가진 15개 어레이를 $8{\times}8mm^2$ 영역 내에 최적화한 제작 조건으로 광 리소그래피 패터닝 하였다. Cu를 증착하여 만든 2단자 전극법으로 측정한 자성특성은 15개 모든 소자들이 균일한 자기저항특성을 나타내었고, 5 Oe 근방에서 가장 민감한 자기저항비 자장민감도와 출력전압들은 각각 0.5%/Oe, ${\triangle}$V: 3.9 mV이었다. 형상자기이방성이 적용된 상부 자유층 $CoFe/O_2/NiFe$층은 하부 고정 자성층 $IrMn/NiFe/O_2/CoFe$층 자화 용이축과 직교하였다. 측정시 인가전류 값을 각각 1 mA에서 10 mA까지 인가하였을 때 출력 작동 전압 값은 균일하게 증가하였으며, 자장감응도도 거의 일정하여 미세 외부자장에 민감한 나노자성소자로서 좋은 특성을 띠었다. To develop array magnetic sensors, specular-type giant magnetoresistive- spin valve (GMR-SV) film of Glass/Ta(5)MiFe(7)/IrMn(10)NiFe(5)/$O_2$/CoFe(5)/Cu(2.6)/CoFe(5)/$O_2$/NiFe(7)/Ta(5)(nm) was deposited by using a high-vacuum sputtering system. One of 15 way sensors in the area of $8{\times}8mm^2$ was Patterned a size of $20{\times}80{\mu}m^2$ in multilayer sample by Photo-lithography. All of 15 sensors with Cu electrodes were measured a uniform magnetic properties by 2-probe method. The highest magnetic sensitivity of MR and output voltage measured nearby an external magnetic field of 5 Oe were MS = 0.5%/Oe and ${\triangle}$V= 3.0 mV, respectively. An easy-axis of top-free layers of $CoFe/O_2/NiFe$ with shape anisotropy was perpendicular to one of bottom-pinned layers $IrMn/NiFe/O_2/CoFe$. When the sensing current increased from 1 mA to 10 mA, the output working voltage uniformly increased and the magnetic sensitivity was almost stable to use the nano-magnetic devices with good sensitive properties.
Buffer 층을 갖는 CoFe / Cu / Co 샌드위치 박막의 자기저항 특성
송은영(E. Y. Shong),오미영(M. Y. Oh),김경민(K. M. Kim),이장로(J. R. Rhee),김미양(M. Y. Kim),김희중(H. J. Kim),박창만(C. M. Park),이상석(S. S. Lee),황도근(D. G. Hwang) 한국자기학회 1997 韓國磁氣學會誌 Vol.7 No.3
Buffer(t Å)/CoFe(35Å)/Cu(50Å)/Co(35Å) sandwiches prepared by dc magnetron sputtering on Corning glass substrates using the Co_(90)Fe_(10) and Co layers with different coercivities. Dependence of magnetoresistance on the type and thickness of buffer layers, and on the thickness of Cu and the magnetic layers in buffer /CoFe/Cu/Co sandwiches were investigated. Magnetoresistance ratio and saturation field Hs increased as thickness of the buffer layer becomes thicker, then decreased smoothly after a maximum value. An improved field sensitivity was realized with the Ni_(81)Fe_(19) buffer layer.