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박성만,신교직,최경호,배근열,이효선,허윤정,장기철,백정주,김영훈,송광식,김영랑 한국공업화학회 2020 한국공업화학회 연구논문 초록집 Vol.2020 No.-
Perhydropolysilazane (PHPS)은 Si-N의 결합을 갖는 무기화합물로서 용액공정이 가능하고 경화 후 유리(silicon)와 유사한 구조(SiOx)를 형성하여, 고투명성, 고경도 및 절연특성을 요구하는 분야에 응용 범위가 큰 물질이다. PHPS의 코팅 방법으로는 spin coating, spray coating, bar coating 등의 코팅방법이 보고되어왔다. 본 연구에서는 PHPS를 electrospray를 이용하여 코팅을 진행하여 실리카 박막을 형성하였다. 이후 열처리 전 상온에서 방치한 시간에 따라 변화하는 접촉각 현상을 확인하였으며, 이를 통해 최대 137°의 접촉각 수치를 나타내는 우수한 발수성능의 실리카 박막을 제조하였다. 형성된 실리카 박막 표면의 morphology 및 roughness는 FE-SEM를 이용하여 진행하였으며, 발수능력은 접촉각 측정을 통하여 비교·분석하였다.