http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
정지원,박익현,박왕현,신경호,김기원,조영진,김태완 한국자기학회 2005 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 Vol.15 No.2
자성 메모리에 응용을 위한 자기터널접합(magnetic tunnel junction) 구조에 대한 고밀도 플라즈마 반응성 이온 식각이 Cl₂/Ar과 BCl₃/Ar의 식각가스를 사용하여 조사되었다. 얇은 TiN 하드마스크가 식각을 위한 마스크로 사용되었으며 이에 대한 식각공정도 연구되었다. 식각가스의 종류와 식각공정의 변수들을 변화시켜서 식각속도 및 식각프로파일들이 조사되었으며 식각가스에 대한 자기접합터널 구조의 전기적 특성도 관찰되었다. 300 × 300 ㎚² 크기의 자기터널접합 구조에 대한 식각이 재증착 없이 약 70도의 식각경사를 가지고 식각되었다.