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- 저자 : 김태송 (검색결과 92 건)
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스크린 인쇄법에 의한 PZT(52/48) 압전후막의 제조
김태송,김용범,최두진,윤석진,정형진 한국세라믹학회 2001 한국세라믹학회지 Vol.38 No.8
스크린 인쇄법에 의해 Si 기판에 PZT 후막의 제조에 있어서 주요 문제점은 낮은 소결밀도 및 PZT 후막과 Si 기판과의 반응현상이다. 이러한 현상을 억제하기 위해 본 연구에서는 스크린 인쇄법 및 PZT sol-gel 처리법의 혼합된 방법을 채택하여 Pt/TiO$_2$/YSZ/SiO$_2$/Si(100) 기판에 Zr/Ti 비가 52/48인 PZT 후막을 제조하였으며, 소결온도에 따른 잔류분극(P$_{r}$), 유전상수($\varepsilon$$_{r}$) 및 압전상수(d$_{33}$)를 측정하였다. 인쇄된 PZT 후막에 졸 처리함으로써 단순히 인쇄된 후막에 비해 전기적 특성이 증진된 결과를 얻었다.다.
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건설공사 시방서의 체계정비방안 연구 ( A Study on the Improvement of the Constuction Specifications Formats )
김태송,진경호,구재동,이영근,조문영 대한건축학회 1998 大韓建築學會論文集 : 構造系 Vol.14 No.8
지금까지 공사계약문서로서 특별(특기)시방서에 표준시방서를 첨부하여 사용하였 으나, 표준시방서 간에 내용이 상호 중복되고 상이하여 적용상에 어려움이 있었 다. 또한 표준시방서가 주로 기술적인 측면에서 개정됨으로 말미암아, 계약문서 로서의 성격이 미흡하였고, 특별(특기)시방서 작성을 위한 시방서 체계의 정립이 미비하였다. 최근 정부에서는 설계도서 작성시 표준시방서의 내용을 발췌·편집·수정·보완 하여 ‘공사시방서’를 작성하도록 규정하였는데, 이러한 시점에서 시방서(표준, 전문, 공사) 작성을 위한 구성체계의 정립 및 작성방법 마련이 필요하게 되었다. 따라서 본 연구에서는 시방서(표준, 전문, 공사) 구성체계 정비방안을 제시하기 위해 시방서 현장적용 실태 설문조사를 실시하여 국내 시방서의 문제점을 파악 하였다. 그리고 외국의 시방서 체계도 조사 분석하여, 시방서 작성방법 개선방안 으로서 전문시방서를 작성하여 사용할 것을 제시하였으며, 시방서(표준, 전문, 공 사) 공통작성방법 및 시방서 종류별 작성방안을 제시하였다.
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Rf Magnetron Sputtering 방법으로 제조된 $Ba_{1-x}Sr_xTiO_3$ 박막의 구조적 특성에 대한 연구
김태송,오명환,김종희 한국세라믹학회 1993 한국세라믹학회지 Vol.30 No.6
The Ba1-xSrxTiO3 thin films deposited on ITO-coated glass substrate at 55$0^{\circ}C$ by rf magnetron sputtering method have individual preferential orientations as a function of composition (X=0, 0.25, 0.5, 0.75, 1) due to the stress relief interactions among the intrinsic compressive stress, thermal tensile stress adn extrinsic compressive stress (compressive stress in case of BaTiO3(Tc=12$0^{\circ}C$) and Ba0.75Sr0.25TiO3(Tc=57$^{\circ}C$)). This behavior also appears on the (BaSr)TiO3 thin films (X=0.5) deposited on ITO-coated glass substrate at deposition temperature between 35$0^{\circ}C$ and 55$0^{\circ}C$. The composition of Ba1-xSrxTiO3 thin films deposited on ITO-coated glass substrate at 55$0^{\circ}C$ is close to stoichiometry (1.009~1.089 in A/B ratio), but the compositional deviation from a stoichiometry is larger as SrTiO3 is added. The morphology of Ba1-xSrxTiO3 thin films is very similar for over all substrate temperatures, and the roughness due to the differences of cluster size is the smallest at X=0.25.
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Rf Magnetron Sputtering 방법에 의하여 제조된 $(BaSr)TiO_3$ 박막의 구조적, 광학적 특성 고찰
김태송,오명환,김종희,Kim, Tae-Song,Oh, Myung-Hwan,Kim, Chong-Hee 한국분석과학회 1993 분석과학 Vol.6 No.2
ITO coated glass, bare glass, 그리고 (100)Si 기판 위에 증착된 $(BaSr)TiO_3$ 박막의 구조는 기판의 종류에 관계없이 변하지 않았으나 결정성은 다결정 ITO층과 (100)Si 기판에 있어서 증대되었다. ITO coated glass 기판 위에 증착된 $(BaSr)TiO_3$ 박막의 조성은 거의 화학양론적으로 일치하였으며 ((Ba+Sr)/Ti=1.08~1.09) 증착 중 상당히 치밀하고 균질하였다. 그러나 증착온도가 증가함에 따라 성장한 박막과 ITO층 사이에, 그리고 ITO층과 base glass 사이에 확산이 보다 심화되었다. ITO coated glass 기판 위에 증착된 $(BaSr)TiO_3$ 박막은 상당히 투명하였으며(투과율 약 80%) 굴절률($n_f$)은 기판온도의 증가에 따라 2.138~2.286이었다. The structure of $(BaSr)TiO_3$ thin film deposited on ITO coated glass, bare glass and (100) Si substrates was not changed, but the crystallinity was improved by the polycrystalline ITO layer and (100) Si substrate. The composition of $(BaSr)TiO_3$ thin film deposited on ITO coated glass was nearly stoichiometric ((Ba+Sr)/Ti=1.08~1.09) and very uniform through all deposition process. But as the deposition temperature increases, the interdiffusion between grown thin film and ITO layer and between ITO layer and base glass is severer. $(BaSr)TiO_3$ thin film deposited on ITO coated glass substrate was highly transparent. The refractive index($n_f$) of $(BaSr)TiO_3$ thin film deposited on ITO coated glass was 2.138~2.286 as a function of substrate temperature.
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증착방법에 따른 $NO_x$가스 감지용 $WO_3$박막센서의 특성 변화 연구
김태송,김용범,유광수,성기숙,정형진 한국세라믹학회 1997 한국세라믹학회지 Vol.34 No.4
In order to apply WO3 thin films to the semiconducting NOx gas sensors as a sensing material, which have been expected to show good electrical properties, such as large sensitivity, rapid responsibility, and high selectivity, the fabrication method and their sensing characteristics were studied. The variations of surface morphologies, crystallographic orientations and crystallinity with the WO3 thin film growing methods thermal evaporation and DC sputtering methods were investigated by using scanning electron microscopy (SEM) and X-ray diffraction(XRD) analysis. As a result of sensitivity (Rgas/Rair) measurements for the 5 ppm NO2 test gas, the sensitivity values were 113 for the sputtered films and 93 for the evaporated films. It was also observed that the recovery rate of a sensing signal after measuring sensitivity was faster in the sputtered films than in the evaporated films.
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김태송 한국공학교육학회 2009 Ingenium(人材니움) Vol.16 No.4
연구도 일반 대중이 선호하는 머리모양이나 혹은 옷, 구두와 마찬가지로 유행이 있는 것 같다. 물론 이러한 연구의 유행은 단순한 기호에 따라 반복되고 진화하는 형태와 전혀 다른 형태로 발전된 것이다. 즉 그때까지 쌓여온 지식과 기술 그리고 know-how를 바탕으로 새로운 아이디어를 접목한 형태로 나타나며 이것은 전세계에서 그 분야를 리드하는 연구자들을 중심으로 동시 다발적으로 나타나는 경우가 대부분이다. 1960년부터 미세구조물 제작에 필요한 기초기술이 연구되어 오다가 1980년경 미국 버클리 대학, MIT, Sandia National Lab 등과 유럽의 독일, 네덜란드, 일본 동경대학 등을 중심으로 MEMS (Micro Electro Mechanical System) 기술이라 불리는 초소형 정밀 기계기술이 개발되었다. 이 기술은 기존의 IT기술의 근간인 반도체 제조 공정을 이용하였으나 고집적 회로가 아닌 3차원적인 움직이는 구동부분이 존재하는 초미세부품 구현에 대한 기술로서 유행처럼 연구되기 시작했다. 기존에 존재하던 가속도센서, 자이로센서, 압력센서 등 물리 센서의 크기를 수십에서 수 백분의 일로 줄일 수 있는 결정적인 기술이 되어 TV 등의 전자기기, 자동차등 automobile 기기, 군사용기기, 의료진단분석기기 등에 적용되었다.[1] 이러한 MEMS 기술은 1990년대 후반부터 2000대 초에 걸쳐 과학 발전의 커다란 획을 그은 것 중의 하나인 인간유전자지도 완성과 더불어 불기 시작한 생명과학 연구와 맞물려 극미세유체조절 기술을 이용한BioMEMS 기술과또다른연구 분야인 나노기술과 연관되어 Bio, MEMS, Nano 그리고 Medical 기술까지 연관된 융합연구라는 화두가 나오기 시작했고 최근에는 학제간 융합 즉, IT-BT, IT-NT, BT-NT을 포함한 융합연구로서 자리매김하고 있다.
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