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Development of point-of-use filter evaluation method using chemical mechanical planarization slurry
장선재,아툴 쿨르카르니,김형우,김태성,Jang, Sunjae,Kulkarni, Atul,Kim, Hyeong-U,Kim, Taesung Korean Association for Particle and Aerosol Resear 2016 Particle and Aerosol Research Vol.12 No.4
During the chemical mechanical planarization (CMP) process, slurry that comprises abrasive particles can directly affect the CMP performance and quality. Mainly, the large particles in the slurry can generate the defects on the wafer. Thus, many kinds of filters have been used in the CMP process to remove unwanted over-sized particles. Among these filters, the point-of-use (POU) filter is used just before the slurry is supplied onto the CMP pad. In the CMP research field, analysis of the POU filter has been relatively exceptional, and previous studies have not focused on the standardized filtration efficiency (FE) or filter performance. Furthermore, conventional evaluation methods of filter performance are not appropriate for POU filters, as the POU filter is not a membrane type, but is instead a depth type roll filter. In order to accurately evaluate the POU filter, slurry FE according to particle size was measured in this study. Additionally, a CMP experiment was conducted with filtered slurry to demonstrate the effects of filtered slurry on CMP performance. Depending on the flow rate and the filter retention size, the FE according to particle size was different. When the small and large particles have different FEs, the total filtration efficiency (TFE) can still have a similar value. For this reason, there is a need to measure the FE with respect to the particle size to verify the effects of the POU filter on the CMP process.
슬러리 공급 시스템을 이용한 화학적 기계적 연마 공정에서의POU 필터의 성능 평가
장선재,김호중,진홍이,남미연,아툴 쿨르카르니,김태성 한국입자에어로졸학회 2013 Particle and Aerosol Research Vol.9 No.4
The chemical mechanical polishing (CMP) process is widely used in semiconductor manufacturing process forplanarization of various materials and structures. Point‐of‐use (POU) filters are used in most of the CMP processes inorder to reduce the unwanted micro‐scratches which may result in defects. The performance of the POU filter isdepends on type and size of the abrasives used during cleaning process. For this reason, there is a need to evaluatePOU filters for their filtration efficiency (FE) with different types of abrasives. In this study, we developed filter testsystem to evaluate the FE of POU using ceria and silica abrasives (slurry). The POU filter is roll type capsule filterwith retention size of 0.2 ㎛. Two POU filters of different make are evaluated for FE. We observed that both POUfilters show similar filtration efficiency for silica and ceria slurry. Results reveal that the ceria slurry and the colloidalsilica particle are removed not only by mechanical way but also hydrodynamic and electrostatic interaction way
장선재,이우철,임남형,이진옥,Jang,Sun-Jae,Lee,Woo-Chul,Lim,Nam-Hyoung,Lee,Chin-Ok 한국방재학회 2008 한국방재학회 학술발표대회논문집 Vol.2008 No.1
Limit states of a tension member are the yielding of gross section, fracture of net section, and block shear failure. Block shear failure is very complicated than other limit state because of interaction of tension and shear failure. Block shear failure is studied continuously since the 1970s. However, failure model to estimate the strength of block shear failure provided in current design specifications is not reflective of the failure mode observed in the various experimental studies. Comparisons between the experimental results and design rules in various specifications about the block shear failure were conducted in this study. Also, the need for further studies of block shear failure were proposed.
장선재,유진하,이유진 보안공학연구지원센터(JSE) 2015 보안공학연구논문지 Vol.12 No.1
본 논문에서는 템플릿 매칭으로 악보를 인식하여 표절의 진위를 확인하는 시스템을 설계했다. 표 절의 기준은 악보의 코드라인 또는 멜로디의 유사성을 두고 판정한다. 본 시스템에서는 표절의 기준 을 종합하여 악보의 4마디를 이용한다. 즉, 4마디가 같으면 표절로 인식하도록 하였다. 악보 영상을 입력 받아 전처리 과정을 거쳐 영상 분석에 알맞은 형태로 변환 시킨다. 에지 추출로 오선을 추출한 후, 세그먼테이션 과정을 거쳐 악보의 4마디를 분할한다. 분할 작업한 이미지들의 크기를 정규화 하 여 템플릿 매칭을 통해 검사한다. 매칭 되는 템플릿이 있는 경우에는 템플릿 조합을 통해 해당되는 악보를 HTML 기반 홈페이지로 악보 영상을 출력한다. This paper presents a music score existence recognition system to verify the authenticity of plagiarism by the template matching. As the plagiarism is judged by the similarity of code lines or melody of the music score, this system uses 4 nodes of score to synthesize the standard. When 4 nodes are equal, it will be recognized as a plagiarism. The received score image via the pre-processing is converted into the appropriate form to an image analysis. After extracting the line to edge extraction, it will be divided to 4 nodes of the score through the segmentation process. The divided images are size-normalized and then checked through the template matching. If there is a matching score, it will output the score image on the web site based on HTML through the comparison template. It will be useful to verify the authenticity of the plagiarism through this system.
장선재 ( Seon Jae Jang ),김행곤 ( Haeng Kon Kim ) 한국정보처리학회 2007 한국정보처리학회 학술대회논문집 Vol.14 No.1
임베디드 시스템들은 빠르게 다양한 분야에 적용되고 있다. 이들 시스템들의 품질을 좌우하는 것은 소프트웨어이며, 제품 출시 시기와 제품의 품질 등에 매우 중요한 요소가 된다. 임베디드 소프트웨어 테스팅은 이러한 임베디드 소프트웨어에서 오류가 없음을 증명하는 것으로 전체 소프트웨어 개발에서 많은 부분을 차지한다. 임베디드 소프트웨어 테스팅은 소프트웨어의 기능적 부분을 주로 평가하며, 사용자가 필요로 하는 품질에 대한 평가 부분은 미흡하다. 본 논문에서는 임베디드 소프트웨어 테스팅 도구를 이용하여 임베디드 소프트웨어의 품질을 평가할 수 있는 방법에 대해 연구한다.
임베디드 소프트웨어 테스팅 도구를 위한 아키텍처에 관한 연구
장선재 ( Seon Jae Jang ),김지영 ( Ji-young Kim ),손이경 ( Lee-kyeong Son ),김행곤 ( Haeng Kon Kim ) 한국정보처리학회 2006 한국정보처리학회 학술대회논문집 Vol.13 No.1
임베디드 소프트웨어는 IT기술의 발달과 하드웨어의 다양한 보급 등으로 인해 널리 사용되기 시작했으며, 일반적인 소프트웨어와는 다른 방식으로 제작되며, 절대 표준이 없기 때문에 다양한 방식으로 개발되고 있다. 임베디드 소프트웨어 품질 및 생산성을 위해서는 체계적인 테스팅 방법론이 요구된다. 기존의 테스팅 방법으로는 복잡하고 높은 수준의 임베디드 소프트웨어 기능들을 테스트하는데 한계점이 많다. 본 논문에서는 기존 소프트웨어 테스팅과 임베디드 소프트웨어 테스팅의 차이점을 제시하고 효율적인 임베디드 소프트웨어 테스팅이 가능한 지원도구의 요구사항과 전형적인 방법을 탈피하여 자동화된 테스팅 방법 및 도구인 ESTE(Embedded Software Testing Environments)의 구조와 지원 기능을 제시하고자 한다.
장선재 ( Seon Jae Jang ),김지영 ( Ji-young Kim ),손이경 ( Lee-kyeong Son ),김행곤 ( Haeng Kon Kim ) 한국정보처리학회 2006 한국정보처리학회 학술대회논문집 Vol.13 No.2
임베디드 시스템의 발달은 다양한 분야로의 보급으로 인해 널리 확장되면서 점차 빠르게 발전되어 왔다. 이러한 빠른 발전은 점차 다양한 기기들의 융합인 컨버전스로 나아가고 있으며, 동일한 분야의 기기에서 시스템은 다르지만 비슷한 성능을 가진 기기들이 등장하고 있다. 이렇게 임베디드 시스템이 다양해지고 비슷한 성능의 제품들이 출시되는 상황에서 임베디드 소프트웨어의 중요성은 더욱 증가할 것이며, 오류를 검사하는 테스팅은 더욱더 중요해 지고 있다. 본 논문은 이기종 환경의 다양한 임베디드 시스템을 지원가능하고, 보다 가볍고 효율적으로 사용가능한 임베디드 소프트웨어 테스팅 도구를 설계하고 구현하고자 한다.
장선재 ( Seon Jae Jang ),김지영 ( Ji-young Kim ),정란 ( Ran Jung ),김행곤 ( Haeng Kon Kim ) 한국정보처리학회 2005 한국정보처리학회 학술대회논문집 Vol.12 No.2
기존의 임베디드 소프트웨어 테스팅은 하드웨어 지원을 필요로 하거나, 단순한 인터페이스로 제공되는데 반해, 최근의 임베디드 시스템은 복잡하고 높은 수준의 기능을 요구함으로써 기존의 테스팅을 그대로 적용하는 것은 매우 비효율적이다. 그러므로, 상세한 지식 없이도 사용 가능하고, 자동적으로 주어진 단계의 시뮬레이션을 수행하고 유효성을 확인하며, 분석의 원활한 수행을 위한 자동화 도구가 필요하게 되었다. 본 논문에서는 기존 기술과의 차이점을 제시하고, 임베디드 테스팅 작업이 용이한 임베디드 소프트웨어 자동 테스팅 기술을 개발하는 것을 목표로 한다. 이를 위해 임베디드 소프트웨어 테스팅 지원 도구의 요구사항을 분석하고, 테스팅 도구 ESTE(Embedded Software Testing Environments)의 전체 시스템 구조를 제시하고자 한다.
장선재(Jang Sun-Jae),임남형(Lim Nam-Hyoung),최진유(Choi Jin-Yu),이우철(Lee Woo-Chul) 한국철도학회 2008 한국철도학회 학술발표대회논문집 Vol.- No.-
The track is an important component of rail structures. The characteristic of the track settlement must be confirmed in order to evaluate the stability of the track. It is effected by action load and the characteristic of the track material. This study investigates the mechanism of the track settlement and the effect of initial settlement and long-term settlement on the characteristic of the track settlement through literature survey. It tries to observe the future research direction of track settlement.