복합적인 레지스트 패턴 붕괴현장의 역학적 해석

이형주,박준택,안일신,김옥근,오혜근 한양대학교 이학기술연구소 2003 이학기술연구지 Vol.6 No.-

패턴의 선폭이 100nm이하로 작아짐에 따라 패턴이 부러지고, 휘고, 떨어져 나가는 현상이 발생하는데 이러한 현상을 패턴 붕괴 현상이라고 하며, 반도체 생산과 수율에 많은 영향을 미친다. 패턴 붕괴 현상은 리소그래피 과정 중 현상 후 세척액을 건조하는 과정에서 주로 발생하며 세척액의 표면장력에 의한 모세관 현상이 주된 원인으로 알려져 있다. 패턴 붕괴 현상을 시뮬레이션하기 위하여 패턴이 세척액에 의해서 균일한 압력을 받을 때와 집중 압력을 받을 때의 역학적 모델을 세우기 각각의 모델을 통하여 선폭과 패턴간의 거리에 따른 임계 높이/선폭비 (aspect ratio) 를 계산하여 실제 실험 결과와 일치하는 모델을 선정하였다. 또한 패턴 내부에 생기는 stress 에 의한 부러짐 현상과 패턴 과 레지스트 패턴 하부 층 사이의 접착력 부족으로 발생하는 떨어짐 현상을 해석하였다. High aspect ratio resist patterns with dimensions below 100 nm often bend, break or tear. These phenomena are generically called "resist pattern collapse". Pattern collapse is a very serious problem in fine patterning of less than 100 nm critical dimension (CD), so that it decreases the yield. In order to mechanically analyze this phenomenon and create its simulator, two models have been made and compared. In this paper, various approaches with various analyses are made to understand pattern collapse. Also, the critical aspect ratio for 100 nm node, that determines whether pattern collapse happens or not, can be calculated with these approaches. Finally, tear type caused by insufficiency of adhesion strength between the substrate and the resist is analyzed with a point of view of the surface free energy.

응집제의 주입량 및 압력변화에 따른 여과특성

이성호,임택준,조준형 강원대학교 삼림과학연구소 2001 Journal of Forest Science Vol.17 No.-

제지공업은 다른 공업에 비해 용수 소비량이 많고 이에 따라 폐수의 배출량도 많은 용수 다소비 산업이다. 제지폐수의 처리는 물리적, 화학적, 처리로 1차 처리를 하고 생물학적 처리로 2차 처리를 한 후, 필요에 따라 고도처리를 행하여 재이용 하거나 방류하는 시스템으로 구성되어 있다. 물리적 처리 중 응집침전법에 의한 처리방법은 생물학적 처리의 전 단계로서 처리가 불량할 경우 생물학적 처리 시스템의 부하량이 높아져 처리율의 저하를 유발한다. 또한 가장 비용이 적게 드는 처리방법이므로 응집침전에서 많은 오염물을 제거하는 것이 비용 면에서도 유리하다고 할 수 있다. 제지공장의 폐수에는 Fiber, Filler, 그 밖의 유기용매가 포함되어 있으며, 폐수량이 많기 때문에 그 만큼의 설비자본과 운영비가 소요된다. 그러므로 폐수의 양을 줄이고 그 안에 함유된 여러 가지 물질들을 적은 비용으로 효율적으로 제거하는 방법이 필요하게 된다. 본 실험은 제지폐수를 보다 효율적으로 여과하는 방법을 찾고자 함에 있어 가압 여과시험을 채택하여 응집제의 종류 및 첨가량 그리고 압력의 변화를 주면서 여과의 특성 실험을 하였다. 폐수내의 섬유나 Filler 등은 미세하게 분산되어 콜로이드성 물질이 되는데 이것은 여과시에 여재 위에 쌓여 여과 조작을 방해한다. 여기에 응집제를 첨가하게 되면 분산된 콜로이드 입자를 응집제가 표면에 사슬처럼 붙어 안정화시킨다. 즉, 침전성과 여과성이 향상되고 SS가 떨어진다. 본실험에 사용된 응집제는 FeCl3, Alum, CaCl2, Polymer 이며, 네 가지 응집제를 0.01g, 0.03g, 0.05g 씩 첨가(폐수 100mL에 대해)하고 압력을 49, 98, 147, 196 kPa로 변화시키면서 실험을 하였다. 이와 같은 여러 변화의 실험을 통하여 각 단위 시간 별로 여과되는 여액량을 측정하여 여과 속도 및 탁도 등을 측정하였다. Compared to other industries, pulp and paper industry use a lot of water. As a result, a large amount of the waste water is discharged in the pulp and paper industry. This study was investigated to prevent the environmental pollution terribly faced with our society nowadays. In the waste water of pulp and paper there are so many things in the waste water, like fiber, filler, and other organic solvent etc. so we must remove them from our environment. This study was investigated to experiment on test of impressed filtration with the kind and quantity of coagulant and the variance of pressure. In this study, we used feds, alums, CaCl2, polymer as a coagulant and these pressure was 49, 98, 147, 196kpa. According to this study, we measured the speed of filtration and turbidity, measuring filtrated water. According to the values, we know the fact that as the consistency of coagulant and pressure were high, the filtration was good.Key words : Coagulant, wastewater, filtration, turbidity

패턴 Top Rounding 효과를 고려한 패턴 붕괴 전산모사

이형주,박준택,오혜근 한양대학교 이학기술연구소 2002 이학기술연구지 Vol.5 No.-

패턴의 선폭이 100 nm 이하로 작아짐에 따라 발생하는 패턴의 붕괴 현상은 반도체생산과 수율에 많은 영향을 미친다. 패턴 붕괴 현상은 리소그래피 과정 중 현상 후 세척액을 건조하는 과정에서 주로 발생하며 세척액의 표면장력에 의한 모세관 현상이 주된 원인으로 알려져 있다. 패턴 붕괴 현상을 시뮬레이션하기 위하여 패턴이 세척액에 외해서 균일한 압력을 받을 때와 집중 압력을 받을 때의 역학적 모델을 세우고 각각의 모델을 통하여 선폭과 패턴간의 거리에 따른 임계 높이/선폭비 (aspect ratio)를 계산하여 실제 실험 결과와 일치하는 모델을 선정하였다. 시뮬레이션 결과 패턴의 top 부분이 둥근 (rounded top) 패턴이 각진 (flat p) 패턴에 비해 변형이 줄어들 수 있다는 것을 확인할 수 있었다. The pattern size is reduced as the device is more integrated. The resist deformation phenomenon has been a serious problem under 100 nm line width pattems. The most applicable model for an existing empirical result is chosen to create a simulation tool by comparing the two mechanical models when a pattern receives a distributed pressure or a concentrated pressure from the rinse liquid. Based on the chosen model, the critical aspect ratio with respect to line width and space can be calculated. The simulated results show that the pattern collapse phenomenon is reduced for a rounded top resist profile rather than for aflat top profile

신경망을 이용한 단어에서 모음추출

이택준,김윤중 한밭대학교 정보통신전문대학원 2004 정보통신전문대학원 논문집 Vol.2 No.1

본 연구에서는 단어에서 모음을 추출하기 위해 시스템을 설계하고 구현하였다. 이 시스템은 음성특징 추출모듈과 신경망 모듈로 구성되어 있다. 음성특징 추출모듈에서는 음성의 특징추출에 LPC모델을 이용한다. 신경망 모듈은 학습모듈과 음성인식모듈로 구성 된다. 학습모듈은 학습 패턴을 설정하고 신경망을 구성한 후 학습을 한다. 음성인식모듈은 학습된 신경망의 정보를 이용하여 단어 안에 들어있는 모음을 추출해 난다. 구현된 모음추출 인식기의 성능을 알아보기 위해 모음(아, 어, 오, 에, 이)5개를 선택 신경망을 학습시켰다. 이 실험을 통해 음성인식모듈이 4개의 단어로부터 모음을 정상적으로 추출하는 것을 확인할 수 있었다. This study designed and implemented a system to extract of vowel from a word. The system is comprised of a voice feature extraction module and a neutral network module. The voice feature extraction module use a LPC(Linear Prediction Coefficient) model to extract a voice feature from a word. The neutral network module is comprised of a learning module and voice recognition module. The learning module sets up a learning sets up a learning pattern and builds up a neutral network to learn. Using the information of a learned neutral network, a voice recognition module extracts a vowel from a word. A neutral network was made to learn selected vowels(a, eo, o, e, i) to test the performance of a implemented vowel extraction recognition machine. Through this experiment, could confirm that speech recognition module extract of vowel from 4 words.

요배부 수술 실패 증후군에서 자기공명영상의 이용

이준규,안재성,권순태,김환정,정제택 충남대학교 의과대학 지역사회의학연구소 1997 충남의대잡지 Vol.24 No.2

This study was compared pre-operative MRI finding with operative finding on 36 cases with the failed back surgery syndrome (FBSS) retrospectively. The purpose of this study was to determine the accuracy of the MRI on the FBSS including early complications such as hematoma of infection. Of the 51 patients with FBSS, we analyzed pre-operative MRI finding compared with operative finding on 36 cases excluding nonunion, instability, metal failure and pseudoarthrosis who underwent an operation for the FBSS from December 1994 to June 1997. There were 25 men (69.4%) and 11 women (30.6%), aged from 16 to 68 years (average 43.6 years). These were divided into 5 sub-groups and calculated sensitivity, specificity and positive predictability. MRI accuracy in recurred disc was 84%, scar adhesion, recurred or developed stenosis, infection and hematoma 100% each and all, overall accuracy of the MRI 93%, respectively. Average interval of re-operation in FBSS WAS 4.3 years. In the 18 cases (50%), symptoms persist without pain-free interval after first operation. Early complications including hematoma and infection are easily detected with MRI. Especially if patient complains of severe leg pain or neurologic deficit, it is a good diagnostic procedure to check the MRI. The MRI is a useful method for evaluation of most cases of the FBSS, but it has limitations to evaluate recurred disc or scar adhesion only in T1, T2 weighted image. Therefore Gd-DTPA enhancement is necessary for the accurate diagnosis.

후방순환계 뇌동맥류의 임상분석

임동준,이훈갑,정흥섭,김봉룡,권택현,이기찬,서중근 대한신경외과학회 1998 Journal of Korean neurosurgical society Vol.27 No.11

Development of a T-DMB Monitoring System

Kyung-Taek Lee1,Ki-Won Kwon,Yong-Suk Park,Sung-Jun Kim,Jong-Ho Paik 대한전자공학회 2008 ITC-CSCC :International Technical Conference on Ci Vol.2008 No.7

With the start of T-DMB service, diverse multimedia broadcasting services became available in the high-speed mobile environment. In addition to high-quality digital radio (audio) and television (video), diverse data services, such as Dynamic Label Segment (DLS), JPEG Slideshow (SLS), Broadcast Web Site (BWS), Traffic and Travel Information (TTI), interactive service using Binary Format for Scenes (BIFS), and Visual Radio, are being serviced. Currently, there is an increase in demand in the market for T-DMB monitoring system that can support all the data service available. In this paper, we present T-DMB monitoring systems that can simultaneously decode 6 services of different format within the two ensemble, through suitable algorithms and multi-thread techniques.

고속의 실시간 MPEG-2/H.264 transcoding 구조 제안

홍용택,이경호,김진상,조원경 경희-다반 ASIC 설계교육센터 2006 경희-다반 ASIC센터 논문집 Vol.7 No.-

H.264 비디오 코딩 표준은 기존 비디오 코딩 표준에 비해 뛰어난 압축부호화 효율로 인해 차세대 비디오 표준으로 각광받고 있으며 H.264가 가진 잠재적인 영향력 때문에 오늘날 디지털 비디오 시스템의 주를 이루고 있는 MPEG-2 시스템을 대체할 것으로 보여진다. 현재 MPEG-2 시스템이 광범위하게 자리 잡고 있기 때문에 H.264 시스템으로의 완전한 이동은 다소 시간이 걸릴 것으로 예상되고, 따라서 트랜스코딩 기술이 중요하게 대두되고 있다. 트렌스코더는 디코더와 인코더를 포함한 구조이기 때문에 매우 많은 연산량이 요구되며 그 복잡도를 줄이는 것이 중요하다. 본 논문에서는 디코딩 과정에서 추출된 정보를 인코딩 과정에 재사용함으로써 복잡도를 줄이도록 하였고, 또한 H.264에서 연산량이 많은 부분들을 여러 가지 알고리즘을 통해 복잡도를 줄임으로써 보다 빠른 속도로 동작이 가능한 트랜스코더 구조를 제안하였다.

웹 기반 건설 하도급 대금지불 프로세스 모델

노준오,이현종,구교진,현창택 대한건축학회 2004 대한건축학회 학술발표대회 논문집 - 계획계/구조계 Vol.24 No.1

The purpose of this study is to improve the subcontract payment process in domestic Construction industry. This study researches the previous documents and payment processes of construction company so that improves subcontract payment process. Recently, subcontract increase with time in domestic construction industry. But many subcontract companies have difficulty in financing problems because of unreasonable practice. Requesting a payment, contractor and subcontractor make out a payment so their time and effort necessarily were spent. Therefore unnecessary things are removed in subcontract payment process so that settle a reasonable subcontract payment process.

성인원외폐렴의 원인미생물에대한 전향적 다기관 연구 : 성인원외폐렴의 원인으로 세균의 역할을 중심으로

우준희,강재명,김양수,신완식,류진홍,최정현,김양리,정희진,어수택,박춘식,정문현,정기석,이찬주,류지소 대한감염학회 2001 감염 Vol.33 No.1

Background : Communite-acquired peumonia (CAP) is one of the leading causes of mortality and morbidity. Despite progress in diagnostic techniques and treatments, management of pneumonia remains challenging, because the precise etiology remains uncertain in as many as 49% of cases. The limitaions of identifying etiologic agents make it necessary to use empiric antibiotics in almost all patients, and furthermore emergence of antibiotic-resistant organisms pose difficulties to the selection of an empiric antibiotic regimen. For the optimal choice of empirical antibiotics, we should know the frequency of etiologic agents and antimicrobial resistance rates in the community. Methods : A prospective multicenter study of community-acquired pneumonia in Korea was carried out between May 1997 and April 2000. The microbiologic diagnosis was based on the results of sputum culture, blood culture and pleural culture. Results : Five hundred eighty eight cases of community-acquired peumonia in 562 patients admitted to the hospitals. The mean age was 59.9 with male predominance (58.3%), and 370 (63%) had underlyin gillness. The etiologic agents were identified in 38.3%, and the list of individual agents, in decreasing order, was Streprococcus pneumoniae (21.7%), Klebsiella pneumoniae (14.8%) Pseudomonas aeruginosa (9.8%), Staphylococcus aureus (9.5%), viridans group streptococci (5.7%), Enterobacter cloacae (4.2%), Hemophillus Influenza (3.8%), The rates of admission to the intensive care unit was 10.4%. The motality was 7.1%. Susceptible rates of S. pneumoniae to penicillin was 36.6% and showed multidrug resistant. Forty percents of S. aureus were methicillin-resistant S. aureus. K. penumoniae were susceptible to cephalosporin and quinolone. Conclusion : In Korea, S.pneumoniae is the most important agent causing community-acquired pneumonia. Susceptible rates of S. pneumoniae to penicillin was 36.6% and showed multidrug resistant. Gram negative bacteria such as K. pneumoniae, P. aeruginosa showed high incidence when compared with that of other countries. Most of them had underlying diseases including bronchiectasis and chronic obstructive pulmonary diseases. (Korean J Infect Dis 33:1∼7, 2001)