Cu oxide의 형성과 H(hfac) 반응을 이용한 Cu 박막의 건식식각

양희정,홍성진,조범석,이원희,이재갑,Yang, Hui-Jeong,Hong, Seong-Jin,Jo, Beom-Seok,Lee, Won-Hui,Lee, Jae-Gap 한국재료학회 2001 한국재료학회지 Vol.11 No.6

O$_2$plasma와 H(hfac)을 이용한 Cu 박막의 건식 식각을 조사하였다. 휘발성이 큰 Cu(hfac)$_2$와 $H_2O$를 탈착시키기 위하여 $O_2$ Plasma를 이용한 Cu 박막의 산화와 생성된 Cu 산화막을 H(hfac)과의 반응으로 제거하는 공정으로 식각을 수행하였다. Cu 박막의 식각율은 50-700 /min의 범위를 보였으며, 기판온도, H(hfac)/O$_2$ 유량비, plasma power에 따라 변하였다. Cu 박막의 식각율은 기판온도 215$^{\circ}C$보다 높은 온도구간에서 RF power가 증가함에 따라 증가하였고, 산화 공정과 H (hfac)과의 반응이 균형을 이루는 최적의 H (hfac)/O$_2$ 유량비는 1:1임을 확인하였다. Ti mask를 사용한 Cu Patterning은 유량비 1 : 1, 기판온도 25$0^{\circ}C$에서 실시하였고, 30$^{\circ}$외 taper slope를 갖는 등방성 etching profile을 얻을 수 있었다. Taper angle을 갖는 Cu 건식 patterning은 고해상도의 대면적 thin film transistor liquid-crystal(TFT-LCDs)를 위래 필요한 것으로써 기판온도, RF power, 유량비를 조절한 one-step 공정으로부터 성공적으로 얻을 수 있었다. Dry etching of copper film using $O_2$ plasma and H(hfac) has been investigated. A one-step process consisting of copper film oxidation with an $O_2$ plasma and the removal of surface copper oxide by the reaction with H(hfac) to form volatile Cu(hfac)$_2$ and $H_2O$ was carried but. The etching rate of Cu in the range from 50 to 700 /min was obtained depending on the substrate temperature, the H(hfac)/O$_2$ flow rate ratio, and the plasma power. The copper film etch rate increased with increasing RF power at the temperatures higher than 215$^{\circ}C$. The optimum H(hfac)/O$_2$ flow rate ratio was 1:1, suggesting that the oxidation process and the reaction with H(hfac) should be in balance. Cu patterning using a Ti mask was performed at a flow rate ratio of 1:1 on 25$0^{\circ}C$\ulcorner and an isotropic etching profile with a taper slope of 30$^{\circ}$was obtained. Cu dry patterning with a tapered angle which is necessary for the advanced high resolution large area thin film transistor liquid-crystal displays was thus successfully obtained from one step process by manipulating the substrate temperature, RF power, and flow rate ratio.

사과 겹무늬썩음병에 걸린 가지로부터 분산되는 병포자의 정량적 조사법 개발

양희정,최창희,우현,김대희,엄재열,Yang, Hee-Jung,Choi, Chang-Hee,Woo, Hyun,Kim, Dai-Hee,Uhm, Jae-Youl 한국식물병리학회 1998 Plant Pathology Journal Vol.14 No.4

On the basis of the fact that the pycnidiospore of Botryosphaeria dothidea, the causal fungus of apple white rot is a typical water borne spore, a method for quantitative analysis of pycnidiospore dispersal from the warts produced on the diseased apple tree stem was developed. The warts on which cracks developed either on or around them were cut off at the base, and shaked in the water for 4hours at 2$0^{\circ}C$, in which condition the maximum number of spores were released. The volume of shaking solution was calculated as 1 ml per one wart. At the end of shaking, Trio, a household detergent was added to the shaking solution to the concentration of 0.1%, and shaked for additional 10 minutes at 35$^{\circ}C$ to take off the spores attached on the glass ware. One milliliter of the spore suspension thus prepared were passed through transparent membrane filter (pore size : 3.0 ${\mu}{\textrm}{m}$), and the spores attached on the filter were counted under a microscope ($\times$200) after staining them with lactophenol supplemented with aniline blue. The results thus obtained were statistically consistent when at least 30 warts were used simultaneously in single shaking. This method can be applicable in the elucidation of ecology of sporulation and spore dispersal, and also in the screening of the sporulation inhibitor which can be used in the control of the disease by reducing the inoculum density.

무우자갈버섯 ( Hebeloma crustulineforme ) 을 위시한 한국산 담자균류 46종의 용혈활성 검색

양희정,정수현,김진향,정경수 ( Hee Jung Yang,Soo Hyun Chung,Jin Hyang Kim,Kyeong Soo Chung ) 한국균학회 1997 韓國菌學會誌 Vol.25 No.4

TFT-LCDs 게이트 전극에 적용한 Cu(Mg) 합금 박막의 건식식각

양희정,이재갑,Yang Heejung,Lee Jaegab 한국재료학회 2004 한국재료학회지 Vol.14 No.1

The annealing of a Cu(4.5at.% Mg)/$SiO_2$/Si structure in ambient $O_2$, at 10 mTorr, and $300-500^{\circ}C$, allows for the outdiffusion of the Mg to the Cu surface, forming a thin MgO (15 nm) layer on the surface. The surface MgO layer was patterned, and successfully served as a hard mask, for the subsequent dry etching of the underlying Mg-depleted Cu films using an $O_2$ plasma and hexafluoroacetylacetone [H(hfac)] chemistry. The resultant MgO/Cu structure, with a taper slope of about $30^{\circ}C$ shows the feasibility of the dry etching of Cu(Mg) alloy films using a surface MgO mask scheme. A dry-etched Cu(4.5at.% Mg) gate a-Si:H TFT has a field effect mobility of 0.86 $\textrm{cm}^2$/Vs, a subthreshold swing of 1.08 V/dec, and a threshold voltage of 5.7 V. A novel process for the dry etching of Cu(Mg) alloy films, which eliminates the use of a hard mask, such as Ti, and results in a reduction in the process steps is reported for the first time in this work.

국내 미출간 해외도서 review

양희정,Yang, Hui-Jeong 대한출판문화협회 2003 출판저널 Vol.334 No.-

장년 성인의 특성들을 고려한 웹기반 코스웨어 설계 방안

양희정,이석균,Yang, Hee-Jung,Lee, Suk-Kyoon 한국정보처리학회 2003 정보처리학회논문지 A Vol.10 No.5

As the use of computers and internet service has increased fast, various web-based coursewares for the educational purpose have been devoloped. However, the development of web-based coursewares for old-aged adults is far from satisfactory. Since most existing web-based coursewares are designed for the youth, they are not proper for old aged people to use confidently. In this paper, we analyse psychological, social and physical characteristics of old aged adults and propose the starategy for designing web based coursewares for them. Then, We apply the design strategy to develop the web-based courseware in Excel subject and analyse the effect of the design strategy by means of questioning and answring. 컴퓨터와 인터넷 사용의 급속한 확산에 따라 다양한 교육용 웹기반 코스웨어의 개발이 이루어지고 있다. 그러나, 장년 성인학습자를 위한 웹기반 코스웨어의 개발은 아직 미흡한 편이다. 기존의 웹기반 코스웨어는 주로 젊은 층을 대상으로 설계되어 있어 장년 성인들이 사용하기에 적당하지 않다. 본 논문에서는 장년의 성인들의 심리적, 사회적, 신체적 특성을 분석하고 이들을 위한 웹기반 코스웨어의 설계 방안을 제시한다. 그리고 제안한 설계 방안을 엑셀과목의 웹기반 코스웨어에 적용하고 그 결과를 설문조사를 통해 분석하였다.

종가시나무 잎 추출물의 항산화 활성, 성분 분석

양희정 ( Hee Jung Yang ),안유진 ( You Jin Ahn ),김재현 ( Jae Hyun Kim ),박수남 ( Soo Nam Park ) 대한화장품학회 2008 대한화장품학회지 Vol.34 No.3

본 연구에서는 종가시나무 잎 추출물의 항산화, 성분 분석 및 elastase 저해 효과에 관한 조사를 수행하였다. 추출물의 free radical (1,1-diphenyl-2-picrylhydrazyl, DPPH) 소거활성(FSC₅₀)은 50 % 에탄올 추출물(12.45 µg/mL) < ethyl acetate 분획(10.47) < 당을 제거시킨 플라보노이드 aglycone 분획(8.57) 순으로 증가하였다. Luminol-의존성 화학발광법을 이용한 Fe³⁺-EDTA/H₂O₂ 계에서 생성된 활성산소종(reactive oxygen species, ROS)에 대한 종가시나무 잎 추출물의 총항산화능은 50 % 에탄올 추출물(OSC₅₀, 4.2 µg/mL) < aglycone 분획(1.58) < ethyl acetate 분획(0.66) 순으로, ethyl acetate 분획에서 가장 큰 활성을 나타내었다. 종가시나무 잎 추출물에 대하여 rose-bengal로 증감된 사람 적혈구의 광용혈에 대한 억제 효과를 측정하였다. 종가시나무 잎 추출물의 경우 농도 의존적(1 ~ 50 µg/mL)으로 광용혈을 억제하였다. 특히 당을 제거시킨 aglycone 분획은 50 µg/mL 농도에서 τ₅₀이 398.67 min으로 매우 큰 세포보호 효과를 나타내었다. 종가시나무 잎 추출물 중 ethyl acetate 분획의 당 제거 반응 후 얻어진 aglycone 분획은 TLC에서 2개의 띠로 분리되었으며, HPLC 실험(360 nm)에서도 2개의 피이크로 분리되었다. 분리된 2가지 성분은 quercetin 및 kaempferol이었으며, 그들의 성분비는 각각 55.77 %, 44.23 %로 quercetin의 함량이 큰 것으로 나타났다. 종가시나무 잎 추출물의 ethyl acetate 분획의 TLC 크로마토그램은 6개의 띠(QG 1 ~ QG 6)로 분리되었고, QG 3는 isoquercitrin, QG 4는 hyperin, QG 6는 rutin으로 확인되었다. Aglycone 분획은 tyrosinase 저해활성(IC₅₀)이 73.5 µg/mL이고, elastase 저해활성(IC₅₀)은 16.2 µg/mL로 활성을 나타내었다. 이상의 결과들은 종가시나무 잎 추출물이 ¹O₂ 혹은 다른 ROS를 소광시키거나 소거함으로써 그리고 ROS에 대항하여 세포막을 보호함으로써 생체계, 특히 태양 자외선에 노출된 피부에서 항산화제로서 작용할 수 있음을 가리키며, 종가시나무 잎 성분 분석과 ethyl acetate 분획의 당 제거 실험 후 얻어진 aglycone 분획의 tyrosinase, elastase 저해활성으로부터 기능성 화장품원료로서 응용 가능성이 있음을 시사한다. In this study, the antioxidative effects, inhibitory effects on elastase, and components of Quercus glauca extracts were investigated. The free radical (1,1-diphenyl-2-picrylhydrazyl, DPPH) scavenging activity (FSC₅₀) of extract / fractions of Quercus glauca leaf was in the order: 50 % ethanol extract (12.45 µg/mL) < ethyl acetate fraction (10.47 µg/mL) < deglycosylated flavonoid aglycone fraction (8.57 µg/mL). Reactive oxygen species (ROS) scavenging activities (OSC₅₀) of some Quercus glauca leaf extracts on ROS generated in Fe³⁺-EDTA/H₂O₂ system were investigated using the luminol-dependent chemiluminescence assay. The order of ROS scavenging activity was 50 % ethanol extract (OSC50, 4.2 µg/mL) < deglycosylated flavonoid aglycone fraction (1.58 µg/mL) < ethyl acetate fraction (0.66 µg/mL). Ethyl acetate fraction showed the most prominent scavenging activity. The protective effects of extract / fractions of Quercus glauca leaf on the rose-bengal sensitized photohemolysis of human erythrocytes were investigated. The Quercus glauca leaf extracts suppressed photohemolysis in a dose dependent manner, particularly deglycosylated flavonoid aglycone fraction exhibited the most prominent celluar protective effect (τ₅₀, 398.67 min at 50 µg/mL). Aglycone fractions obtained from the deglycosylation reaction of ethyl acetate fraction among the Quercus glauca leaf extracts, showed 2 bands in TLC and 2 peaks in HPLC experiments (360 nm) as well. Two components were identified as quercetin (55.77 %), and kaempferol (44.23 %). TLC chromatogram of ethyl acetate fraction of Quercus glauca leaf extracts revealed 6 bands (QG1 ~ QG6), Among them, isoquercitrin (QG3), hyperin (QG4), and rutin (QG6) were identified. The inhibitory effect of aglycone fraction on tyrosinase(IC₅₀, 73.5 µg/mL) and elastase (IC₅₀, 16.2 µg/mL) was high. These results indicate that extract / fractions of Quercus glauca can function as antioxidants in biological systems, particularly skin exposed to UV radiation by scavenging ¹O₂ and other ROS, and protect cellular membranes against ROS. And component analysis of Quercus glauca leaf extract and inhibitory activity on tyeisinase and elastase of the aglycone fraction could be applicable to new functional cosmetics.

경한 난시를 보이는 환자의 백내장 수술 후 각막 후면 및 전체 난시의 변화

양희정(Hee Jung Yang),박율리(Yu Li Park),김현승(Hyun Seung Kim) 대한안과학회 2015 대한안과학회지 Vol.56 No.11

목적: 각막 전면난시가 1.0D 미만인 환자에서 백내장 수술 후 각막 후면난시 및 전체 난시의 변화를 비교 분석하였다. 대상과 방법: 각막곡률이 가파른 축에 백내장 수술을 시행 받은 1.0D 미만의 각막 전면난시를 가진 환자 52안을 직난시를 보이는 33안(1군)과 도난시를 보이는 19안(2군)으로 분류하여 Pentacam으로 측정한 각막 전면, 후면, 전체 난시를 비교하였다. 결과: 직난시군에서 술 전 전면, 후면, 전체 난시는 0.55 ± 0.44D, 0.31 ± 0.14D, 0.30 ± 0.72D였으며 술 후 2개월 전면, 후면, 전체 난시는 0.51 ± 0.67D, 0.31 ± 0.15D, 0.35 ± 0.81D였다. 도난시군에서는 술 전 전면, 후면, 전체 난시는 -0.48 ± 0.46D, 0.26 ± 0.09D, -0.51 ± 0.65D였으며 술 후 2개월 전면, 후면, 전체 난시는 -0.17 ± 0.68D, 0.25 ± 0.13D, -0.30 ± 0.55D였다. 두 군에서 수술 전후 전면, 후면, 전체 난시에 유의한 차이가 없었다. 수술 2개월 후 수술 후 유발난시량의 vector analysis 시행 시 직난시군의 경우 전면난시의 surgically induced astigmatism (SIA)은 0.03D @ 30, 전체 난시의 SIA가 0.07D @ 74였으며 도난시군 의 경우 전면난시의 SIA는 0.27D @ 100, 전체 난시의 SIA가 0.36D @ 86로 측정되었다. 결론: 술 전 전체 각막난시가 1.0D 미만일 경우 후면난시가 수술 후 유발난시량의 예측 및 술 후 전체 난시에 미치는 영향은 적을 것으로 생각된다. Purpose: To analyze the change in posterior corneal astigmatism and total corneal astigmatism in patients with anterior corneal astigmatism less than 1.0 diopter (D). Methods: In the present study we evaluated 52 eyes with anterior corneal astigmatism less than 1.0 D. Patients were divided into 2 groups according to steep axis: Group 1 included 33 eyes with within-the-rule (WTR) astigmatism and Group 2 included 19 eyes with against-the-rule (ATR) astigmatism. Anterior, posterior and total corneal astigmatism were measured using Scheimpflug imaging (Pentacam). Results: In Group 1, preoperative anterior astigmatism, posterior astigmatism and total astigmatism were 0.55 ± 0.44 D, 0.31 ± 0.14 D and 0.30 ± 0.72 D, respectively. At postoperative 2 months, anterior astigmatism, posterior astigmatism and total astig-matism were 0.51 ± 0.67 D, 0.31 ± 0.15 D and 0.35 ± 0.81 D, respectively. There was no statistically significant difference be-tween preoperative and postoperative anterior, posterior and total corneal astigmatism in Group 1. In Group 2, preoperative an-terior astigmatism, posterior astigmatism and total astigmatism were -0.48 ± 0.46 D, 0.26 ± 0.09 D and -0.51 ± 0.65 D, respectively. At postoperative 2 months, anterior astigmatism, posterior astigmatism and total astigmatism were -0.17 ± 0.68 D, 0.25 ± 0.13 D and -0.30 ± 0.55 D, respectively. There was no statistically significant difference between preoperative and post-operative anterior, posterior and total corneal astigmatism in the 2 groups. There was no statistical correlation between pre-operative posterior corneal astigmatism and postoperative 2 months total corneal astigmatism. After vector analysis, surgically induced astigmatism (SIA) of the anterior and total astigmatism in Group 1 were 0.03 D @ 30° and 0.07 D @ 74°, respectively, and in Group 2 were 0.27 D @ 100° and 0.36 D @ 86°, respectively. Conclusions: In patients with preoperative total corneal astigmatism less than 1.0 D, posterior corneal astigmatism had a small effect on postoperative total corneal astigmatism.

웹2.0 기반의 웹서비스 사례연구 - Ajax를 활용한 DashBoard 구현 -

양희정 ( Hee-jung Yang ) 한국인터넷정보학회 2007 인터넷정보학회지 Vol.8 No.2

무기 탄소원 조절을 통한 고속 SHARON 반응기 운전

양희정 ( Hee Jeong Yang ),배효관 ( Hyo Kwan Bae ),송지희 ( Ji Hee Song ),이석헌 ( Seock Heon Lee ),정윤철 ( Yun Chul Chung ),유영제 ( Young Jae Yoo ),한인섭 ( Ihn Sup Han ) 한국물환경학회(구 한국수질보전학회) 2011 공동 추계학술발표회 Vol.2011 No.-