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화학증착 시스템에서의 파이프내 오염입자 관찰을 위한 초음파 및 진동 진단법의 비교연구
윤주영,성대진,신용현,이지훈,문두경,강상우,Yun Ju-Young,Seong Dae-Jin,Shin Yong-Hyoen,Lee Ji-Hun,Moon Doo-Kyung,Kang Sang-Woo 한국진공학회 2006 Applied Science and Convergence Technology Vol.15 No.4
화학증착 시스템의 파이프내 발생하는 오염입자의 진단을 위하여 초음파 및 진동진단법을 각각 비교, 연구하였다. 초음파 진단의 경우 파이프 외벽에 초음파 센서를 부착하여 펄스를 가한 후 에코 분석을 통해 파이프내벽의 오염입자를 관찰하였고 진동 진단의 경우 파이프외벽에 부착된 진통발생기를 통해 파이프에 인위적인 진동을 발생시켜 여기에서 발생되는 주파수 차이를 분석, 파이프내의 오염입자 여부를 관찰하였다. 초음파 진단의 경우, 오염입자가 파이프 내벽에 부착되어 있을 때는 효과가 좋았으나 오염입자가 시간이 지남에 따라 건조되어 파이프 내벽에서 떨어져 나와 파이프 내벽과 오염입자사이에 틈새가 생길 경우 초음파 펄스는 이 공간을 통과하지 못하고 파이프 내벽에서 다시 반사되어 오염입자를 진단하지 못하는 경우가 발생하였다. 따라서 초음파 진단법으로는 진공장비의 오염입자 관찰에 재현성을 보여주지 못하는 것으로 확인되었다. 반면 진동진단법의 경우 위와 같이 일정시간이 지난 동일한 샘플의 경우에서도 오염입자에 의한 차이가 관찰되었다, 즉 파이프내 오염입자가 존재시 새 파이프에 비해 진동음이 저주파대로 떨어짐이 확인되어 추후 화학증착 시스템의 파이프내 오염입자 모니터링 연구에 가장 효과적인 방법으로 기대된다. In examining particulate deposits in the pipes of a chemical vapor deposition (CVD) system, vibration diagnostics is compared and studied against ultrasonic diagnostics, The latter method involves pulsing the outer wall of pipes with an ultrasonic sensor and analyzing the resulting echo to observe particulate deposits inside pipes. Vibration diagnostics examines the existence of particulate deposits by analyzing the difference in the frequencies generated when a vibrator is adhered to the outer wall of pipes. With ultrasonic diagnostics, good test results were obtained only when particulate deposits were attached to the inner wall of the pipes, After some time, however, particulate deposits were not detected properly, as the ultrasonic wave failed to cross the fine gaps created between the inner wall of the pipe and the deposits. The ultrasonic wave bounced back because of the dried particulate deposits on the wall. Thus, it has been proven that the ultrasonic diagnostics is not an appropriate means of examining the particulate deposits in a vacuum, On the other hand, vibration diagnostics succeeded in detecting the particulate deposits regardless of the lapsed time. In conclusion, the vibration diagnostics is being expected as the effective method in monitoring the particulate deposits inside pipes in the CVD system where the desired behavior is reduced frequency along with the particulate deposits in comparison to the case where the pipe is clean.
윤주영,신용현,정광화,Yun Ju-Young,Shin Yong-Hyoen,Chung Kwang-Hwa 한국진공학회 2005 Applied Science and Convergence Technology Vol.14 No.3
본 연구는 화학증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 시스템에서 전구체 소모량을 모니터링 하기 위한 방법이다. 전구체는 가격이 매우 비싸기 때문에 이를 모니터링 하기 위한 효과적인 방법이 요구된다. 하나의 예로서 용기내 수위진단을 할 수 있는 초음파 센서를 들 수 있는데 이는 비접촉식이고 가격이 저렴한 유리한 점이있다 본 연구에서는, CVD 시스템에서의 전구체 소모량 모니터링을 위한 초음파 진단기술 개발에 관해 연구한다. 또한 반도체 생산라인에 적용이 가능한 실제 진단장치를 개발, 적용한다. This study proposes an accurate method of monitoring precursor consumption in chemical vapor deposition (CVD) systems. Since precursor costs are significant, finding an efficient method to monitor precursor consumption is necessary One example is the use of non-contact and inexpensive ultrasonic sensors for determining the liquid level in a container. In this study, sensors based on ultrasonic techniques have been developed for monitoring the precursor consumption in a CVD system. Moreover, the prototype sensors developed in this study can be useful in the field of semiconductors.
Diamond-like carbon 및 titanium nitride 박막의 혈액적합성 연구
윤주영,배진우,박기동,구현철,박형달,정광화,Yun Ju-Young,Bae Jin-Woo,Park Ki-Dong,Goo Hyun-Chul,Park Hyung-Dal,Chung Kwang-Wha 한국진공학회 2005 Applied Science and Convergence Technology Vol.14 No.3
의료용 임플랜트의 혈액적합성 개선을 위하여 박막코팅에 대한 관심이 증대하고 있다. 특히 diamond-like carbon(DLC)과 titanium nitride(TiN) 박막은 우수한 화학, 물리적 성질은 물론 생체적합 특성까지 갖추고 있다. 따라서 이들 박막의 혈액 적합성과 물리적 특성과의 관개를 연구하기 위하여 박막표면의 모폴로지 및 젖음성과 fibrinogen흡착 특성을 비교 분석하였다. 혈액응고 원인이 되는 fibrinogen의 흡착량은 DLC보다 TiN의 경우가 적어, 보다 우수한 특성을 보였으며, 이것은 TiN박막 표면의 높은 친수성으로 인한 것으로 판단된다. 박막표면의 fibrinogen 흡착을 줄이기 위해 플라즈마 처리 및 노(爐) 열처리를 각각 수행하였다. 산소 플라즈마 및 열처리를 하였을 경우 DLC 박막은 큰 효과가 없는 반면 TiN 박막의 경우 fibrinogen 흡착량이 크게 줄어 보다 개선된 결과를 보였다. There is an increasing interest in developing novel coating to improve the blood compatibility of medical implants. Diamond-like carbon(DLC) and titanium nitride(TiN) films have been proposed as potential biomedical coatings due to their chemical k physical properties and moderate biocompatibility. To study the correlation between blood compatibility and physical properties of the films, the fibrinogen adsorption on the surface as well as morphology & wettability were investigated. The quantity of fibrinogen adsorption are Tower for TiN than DLC, which correlates with a higher hydrophilicity of TiN film. To reduce the quantity of fibrinogen adsorption on the film, plasma treatment and furnace annealing were performed, respectively. With the use of oxygen plasma and furnace annealing, the amount of fibrinogen adsorption on TiN film was remarkably reduced, while there was no decrease of the quantity with DLC.
스톱모션 애니메이션의 컬러를 통해 드러난 환상성 연구 -헨리 셀릭 작품을 중심으로-
윤주영 ( Ju Young Yun ),김태형 ( Tae Hyung Kim ) 커뮤니케이션디자인학회 2012 커뮤니케이션 디자인학연구 Vol.38 No.-
애니메이션은 시각예술이기 때문에 다양한 시각적 요소들로 설득력 있는 환상성을 전달 할 수 있다. 지금까지는 애니메이션의 내러티브나 캐릭터 위주의 분석이 행해졌다. 그러나 환상성을 표출하는 데에는 해당 환상세계 그 자체를 구성하고 있는 배경의 역할도 중요하다. 그리고 시각적 요소 중 감성적인 호소력이 큰컬러는 환상세계의 분위기를 형성하는 데에 중요한 역할을 한다. 선정된 헨리 셀릭의 작품들은 몇 가지 공통점을 가지고 있다. 첫째로 스탑모션 애니메이션이라는 점, 둘째로 동화적 세계관을 토대로 작품 속에서 서로 극명하게 대조되는 두 세계가 존재한다는 점이다. 대조되는 두 세계는 컬러면에서도 많은 차이를 드러낸다. 이러한 컬러의 차이가 환상성을 느끼는데 더욱 도움을 줄 것으로 예상하였다. 본 연구는 브루스 블록의 컬러 분석을 근거로 각작품의 현실세계와 환상세계의 배경의 컬러가 어떻게 표현되었고 어떠한 차이점이 있는지 분석한다. Since animations are a form of visual art, delivering convincing fantasies is achieved with various visual elements. Analysis on animated features is generally centered on narratives and characters until now. In addition, however, background -a fantasy world itself -plays an important role in developing its fantastic feel. And along with various visual elements, colors - taking a big part in creating emotional appeal - play important role in developing atmospheres of fantasy worlds. Henry Selick`s works selected for this have some factors in common. First of all, those works are stop-motion animation. Also, based on the view of the world of fairy tales, pieces share the idea of two extremely contrasting worlds. Those two contrasting worlds show numerous differences in colors. Difference of colors could bring about better aids to the tasting fantasy like atmosphere. Based on Bruce Block`s color analysis, the research closely analyzed the way of displaying background color of the real and fantasy world, as well as differences.