니켈 코발트 합금조성에 따른 복합실리사이드의 물성 연구

김상엽,송오성,Kim, Sang-Yeob,Song, Oh-Sung 한국재료학회 2007 한국재료학회지 Vol.17 No.2

For the sub-65 nm CMOS process, it is necessary to develop a new silicide material and an accompanying process that allows the silicide to maintain a low sheet resistance and to have an enhanced thermal stability, thus providing for a wider process window. In this study, we have evaluated the property and unit process compatibility of newly proposed composite silicides. We fabricated composite silicide layers on single crystal silicon from $10nm-Ni_{1-x}Co_x/single-crystalline-Si(100),\;10nm-Ni_{1-x}Co_x/poly-crystalline-\;Si(100)$ wafers (x=0.2, 0.5, and 0.8) with the purpose of mimicking the silicides on source and drain actives and gates. Both the film structures were prepared by thermal evaporation and silicidized by rapid thermal annealing (RTA) from $700^{\circ}C\;to\;1100^{\circ}C$ for 40 seconds. The sheet resistance, cross-sectional microstructure, surface composition, were investigated using a four-point probe, a field emission scanning probe microscope, a field ion beam, an X-ray diffractometer, and an Auger electron depth profi1ing spectroscopy, respectively. Finally, our newly proposed composite silicides had a stable resistance up to $1100^{\circ}C$ and maintained it below $20{\Omega}/Sg$., while the conventional NiSi was limited to $700^{\circ}C$. All our results imply that the composite silicide made from NiCo alloy films may be a possible candidate for 65 nm-CMOS devices.

폴리실리콘 기판 위에 형성된 코발트 니켈 복합실리사이드 박막의 열처리 온도에 따른 물성과 미세구조변화

김상엽,송오성,Kim, Sang-Yeob,Song, Oh-Sung 한국재료학회 2006 한국재료학회지 Vol.16 No.9

Silicides have been required to be below 40 nm-thick and to have low contact resistance without agglomeration at high silicidation temperature. We fabricated composite silicide layers on the wafers from Ni(20 nm)/Co(20 nm)/poly-Si(70 nm) structure by rapid thermal annealing of $700{\sim}1100^{\circ}C$ for 40 seconds. The sheet resistance, surface composition, cross-sectional microstructure, and surface roughness were investigated by a four point probe, a X-ray diffractometer, an Auger electron spectroscopy, a field emission scanning electron microscope, and a scanning probe microscope, respectively. The sheet resistance increased abruptly while thickness decreased as silicidation temperature increased. We propose that the fast metal diffusion along the silicon grain boundary lead to the poly silicon mixing and inversion. Our results imply that we may consider the serious thermal instability in designing and process for the sub-0.1 um CMOS devices.

게이트를 상정한 니켈 코발트 복합실리사이드 박막의 물성연구

김상엽,정영순,송오성,Kim, Sang-Yeob,Jung, Young-Soon,Song, Oh-Sung 한국마이크로전자및패키징학회 2005 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.12 No.2

We fabricated Ni/Co(or Co/Ni) composite silicide layers on the non-patterned wafers from Ni(20 nm)/Co(20 nm)/poly-Si(70 nm) structure by rapid thermal annealing of $700{\~}1100^{\circ}C$ for 40 seconds. The sheet resistance, cross-sectional microstructure, and surface roughness were investigated by a four point probe, a field emission scanning electron microscope, and a scanning probe microscope, respectively. The sheet resistance increased abruptly while thickness decreased as silicidation temperature increased. We propose that the poly silicon inversion due to fast metal diffusion lead to decrease silicide thickness. Our results imply that we should consider the serious inversion and fast transformation in designing and process f3r the nano-height fully cobalt nickel composite silicide gates. 궁극적으로 게이트를 저저항 복합 실리사이드로 대체하는 가능성을 확인하기 위해 70 nm 두께의 폴리실리콘 위에 각 20nm의 Ni, Co를 열증착기로 적층순서를 달리하여 poly/Ni/Co, poly/Co/Ni구조를 만들었다. 쾌속열처리기를 이용하여 실리사이드화 열처리를 40초간 $700{\~}1100^{\circ}C$ 범위에서 실시하였다. 복합 실리사이드의 온도별 전기저항변화, 두께변화, 표면조도변화를 각각 사점전기저항측정기와 광발산주사전자현미경, 주사탐침현미경으로 확인하였다. 적층순서와 관계없이 폴리실리콘으로부터 제조된 복합실리사이드는 $800^{\circ}C$ 이상부터 급격한 고저항을 보이고, 두께도 급격히 얇아졌다. 두께의 감소는 기존의 단결정에서는 없던 현상으로 폴리실리콘의 두께가 한정된 경우 금속성분의 inversion 현상이 커서 폴리실리콘이 오히려 실리사이드 상부에 위치하여 제거되기 때문이라고 생각되었고 $1000^{\circ}C$ 이상에서는 실리사이드가 형성되지 못하였다. 이러한 결과는 나노급 두께의 게이트를 저저항 실리사이드로 만 들기 위해서는 inversion과 두께감소를 고려하여야 함을 의미하였다.

지연발생 근육통의 냉치료 효과에 대한 연구

김상엽,Kim, Sang-Yeob 대한물리치료과학회 2001 대한물리치료과학회지 Vol.8 No.2

Delayed onset muscle soreness is a sensation of discomfort that occurs 24 h after exercise, and it is associated with the performance of unfamiliar and high force muscle work, such as eccentric contractions. The injury to the muscle has been well described but the mechanism underlying the injury is not fully understood. Although the pathophysiological processes underlying delayed onset muscle soreness are not completely understood, many researchers have investigated various treatments in a attempt to reduce the soreness. Physical therapy is the most importance techniques to reduce delayed onset muscle soreness. The purpose of this study is to investigate the effect of a cryotherapt on DOMS. Thirty subjects were randomly assigned to experimental group : control, cryotherapy, and placebo group. Elbow flexion range, mechanical pain threshold. and subjective pain were measured 30 min before DOMS was induced and 24, 48, 72 hours after DOMS was induced. The results of this study were as follows: 1. Elbow flexion range showed significant difference each time, especially at 48 and 72 hours 2. Mechanical pain thershold and subjectively pain showed no significant difference between group.

강도 및 동적 콘관입지수의 상호관계 연구

김상엽(Sang Yeob Kim),변용훈(Yong-Hoon Byun),홍원택(Won-Taek Hong),김기홍(Kihong Kim),이종섭(Jong-Sub Lee) 한국철도학회 2014 한국철도학회 학술발표대회논문집 Vol.2014 No.5

철도노반은 시료의 샘플링이 어려워 현장상태의 강도분포 파악을 위한 실내실험에 한계가 있다. 한편, 동적 콘관입시험은 현장에서 연속적인 강도분포를 파악하는데 적용되어 왔다. 본 연구는 모형토조에서 관입시험시 전달된 에너지로 보정한 동적 콘관입지수와 시료의 상대밀도 및 내부마찰각과의 상호관계를 도출하고자 하였다. 콘관입시험을 위한 모형시료는 각 상대밀도에 따라 조성하였다. 또한, 시료의 상대밀도에 따른 강도정수를 산정하기 위해 직접전단실험을 수행하였다. 실험 결과, 시료의 상대밀도의 변화에 따른 동적 콘관입지수는 상호연관성이 높은 것으로 나타났다. 이러한 동적 콘관입지수는 시료의 샘플링이 어려운 철도노반의 강도분포를 효과적으로 표현할 수 있을 것으로 기대된다. For railway subbase soil, lab test has a limitation because of difficult sampling. Dynamic cone penetration test, therefore, has been widely used to investigate ground on the spot. The goal of this study is to correlate between soil strength and dynamic cone penetration index(DCPI) which presents modified energy through the rod. Hexahedral chamber with different density is prepared to put penetrometer in. Furthermore, direct shear test is performed to get soil strength parameters. Through the consideration of the relationship between relative density and internal friction angle, clear correlation between DCPI and internal friction angle is inferred from the result. This study suggests that DCPI can be a compatible criteria to investigate soil properties of the railway subbase.

제정 초기 로마 시의 곡물정책 -아우구스투스의 곡물정책 관할권과 곡물행정의 체계화를 중심으로-

김상엽 ( Kim Sang Yeob ) 고려대학교 역사연구소 2003 사총 Vol.57 No.-

Stream Data Analysis of the Weather on the Location using Principal Component Analysis

Kim, Sang Yeob(김상엽),Kim, Kwang Deuk(김광득),Bae, Kyoung Ho(배경호),Ryu, Keun Ho(류근호) 한국측량학회 2010 한국측량학회지 Vol.28 No.2

드론의 사회인프라 관련 포렌식 엔지니어링 적용

김상엽(Kim, Sang Yeob),장아름(Jang, Arum),권다윤(Kwon, Da Yun),홍승관(Hong, Seungkwan),주영규(Ju, Young K),이종섭(Lee, Jong-Sub) 대한토목학회 2022 대한토목학회 학술대회 Vol.2022 No.10

관입형 전단파 측정장비와 지하투과레이더를 활용한 산악지반 구 포장도로의 경계층 탐사

김상엽(Kim, Sang Yeob),강성훈(Kang, Seonghun),박근우(Park, Geunwoo),이동수(Lee, Dongsoo),이종섭(Lee, Jong-Sub) 한국지반신소재학회 2023 한국지반신소재학회 학술발표회 Vol.2023 No.3

논문 : 함수비가 낮은 동결토의 전단강도 및 강성 평가

김상엽 ( Sang Yeob Kim ),이종섭 ( Jong Sub Lee ),김영석 ( Young Seok Kim ),변용훈 ( Yong Hoon Byun ) 대한지질공학회 2015 지질공학 Vol.25 No.1

지반은 동결이 발생함에 따라 물리적 특성이 변화하며, 동결현상에 따른 기초구조물의 안정성 평가는 설계시 중요한 고려사항 중 하나이다. 본 연구에서는 동결 및 전단과정 중 연직응력 변화에 따른 동결토의 전단강도 및 강성을 평가하고자 하였다. 동결토의 강도평가를 위하여 직접전단실험을 수행하였으며, 직접전단실험 중 강성평가를 위한 전단파 측정을 동시에 수행하였다. 실험수행을 위하여, 동결용 직접전단상자를 제작하였으며, 상·하부 전단상자의 벽면에는 전단파 트랜스듀서인 벤더 엘리먼트를 각각 설치하였다. 시료는 주문진사 및 실트, 그리고 증류수를 이용하여 포화도 10%로 혼합하였으며, 상대밀도가 모든 조건에서 동일하게 유지되도록 조성하였다. 조성된 시료는 -5oC까지 동결을 진행시킨 후, 온도를 유지한 상태로 직접전단실험을 수행하였다. 동결 및 전단과정 중 시료에는 다양한크기의 연직응력이 가해졌으며, 전단과정 중 수평변위에 따른 전단응력 및 수직변위, 그리고 전단파를 측정하였다. 실험결과, 모든 구속조건의 경우에서 동결 혹은 전단과정의 연직응력이 증가함에 따라 전단강도는 증가하였으며, 전단과정의 연직응력만 증가한 경우보다 동결과정의 연직응력도 함께 증가한 경우 전단강도가 더 크게 증가하는 것으로 나타났다. 또한, 전단파 속도의 변화는 측정위치에 따라 다른 경향을 보였으며, 전단면을 통과하여 측정한 경우 전단파 속도는 전단변형이 진행됨에 따라 감소하는 것으로 나타났다. 본 연구는 동결 및 전단과정 시 구속조건의 효과를 평가한 연구로써, 포화도가 낮은 상태의 동결토의 강도 및 강성에 대한 기초자료로 활용될 수 있을 것으로 예상된다. The characteristics of frozen soils are one of most important factors for foundation design in cold region. The objective of this study is to evaluate the shear strength and stiffness of frozen soils according to the confining conditions during the freezing and shearing phase. A direct shear box is constructed for the frozen specimens and bender elements are mounted on the wall of the shear box to measure shear wave velocities. Specimens are prepared by mixing sand and silt with a silt fraction of 30% in weight and the degree of saturation of 10%, giving a relative density of 60% for all tests. The temperature of the specimens in the freezer is allowed to fall below -5oC, and then direct shear tests are performed. A series of vertical stresses are applied during the freezing and shearing phase. Shear stress, vertical displacement, and shear wave along the horizontal displacement are measured. Experimental results show that in all the tests, shear strength increases with increasing vertical stress applied during the freezing and shearing phases. The magnitude of the increase in shear strength with increasing vertical stress during shearing under fixed vertical stress in the frozen state is smaller than the magnitude of the increase in vertical stress during freezing and shearing. In addition, the change in shear wave velocities varies with the position of the bender elements. In the case of shear waves passing through the shear plane, the shear wave velocities decrease with increasing horizontal displacement. This study provides an evaluation of the properties of shear strength and stiffness of frozen soils under varied confining condition.