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NF<sub>3</sub> 가수분해 반응에서 수분 공급량이 촉매에 주는 영향
이진욱,박창준,최원영,김민정,정용한,이태진,박노국,장원철 한국공업화학회 2016 한국공업화학회 연구논문 초록집 Vol.2016 No.1
반도체 세정 및 에칭 공정에 사용되는 NF<sub>3</sub>는 GWP가 CO<sub>2</sub>의 17000배에 달하며 대기에서 긴 수명을 가지고 있다. 그러므로 NF<sub>3</sub>는 안전하고 낮은 비용의 분해방법이 필요하다. 이미 NF<sub>3</sub>의 분해방법으로는 열 분해법, 플라즈마 분해법 등 다양한 기술들이 있다. 하지만 이 기술들은 높은 온도에서 진행되므로 많은 에너지를 필요로 한다. 반면, 촉매를 이용한 NF<sub>3</sub> 분해는 비교적 낮은 온도와 에너지 효율면에서 유리하다고 판단되며 촉매분해에 관한 연구는 많이 보고되지 않았다. 본 연구에서는 고체 산 촉매인 알루미나늄계 촉매를 사용하여 NF<sub>3</sub>를 가수분해 하고자 하였으며, 가수분해 반응에 필요한 스팀의 공급량을 조절하여 분해효율이 높은 최적의 조성을 찾고 수분공급량에 따라 촉매 표면의 형태가 어떻게 변하는지를 관찰하였다. 반응 전/후의 촉매의 특성변화는 XRD, SEM 분석등을 통해 확인하였다.
정다운(Da Woon Jung),강희주(Hee Ju Kang),안중근(Joong Keun An),이진욱(Jin Uk Lee),권선덕(Sun Dug Kwon),박찬정(Chan Jung Park) 대한기계학회 2015 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2015 No.11
A bidet gets rid of residues with clean water after using the toilet. Beyond its primary purpose, bidet hygiene maintenance should be taken into account in that sanitary ceramics are a place of the spreading of germs and bacteria. In order to keep then clean, the inner part of the sanitary ceramics should be cleaned whenever using the toilet, but people are reluctant to doing it. To prevent the spreading of germs and bacteria, the sanitary ware cleaning technology with small size and strong cleaning power should be realized in bidet products. Therefore, this study is conducted to discuss the cleaning technology that is small but rotation, upward and downward mobility are available.