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진공증착법을 이용한 최적의 압전성 유기 박막의 제조와 스위치 특성에 관한 연구
박수홍(Su-Hong Park),이선우(Sun-Woo Lee),김형권(Hyung-Gweon Kim),정무영(Mu-Young Jung),임응춘(Eung-Choon Lim),김수정(Su-Jung Kim),이희규(Hee-Kyu Lee),이덕출(Duck-Chool Lee) 한국진공학회(ASCT) 1999 Applied Science and Convergence Technology Vol.8 No.3(1)
본 논문에서는 진공증착법으로 β형 PVDF 유기 박막의 자세한 제조 방법과 압전 특성을 연구하였다. 증착 공정중에 인가 전계와 기판 온도의 적용에 의해서 결정의 분자 배향을 통한 증착 유기 박막을 제조하였다. 진공증착법에 의하여 β-PVDF 유기 박막을 제조 할 때 기판 온도를 80℃로 유지시키고, 인가 전계를 142.8㎸/㎝로 유지시킬 때 최적의 제조 조건임을 제시하였다. 스위치 특성의 경우, 전압 출력 계수는 힘 모우멘트의 증가에 따라 1.39에서 7.04 V로 증가하였다. In this paper studied was the piezoelectric properties of the β-PVDF organic thin films prepared by physical vapour deposition method. The molecular orientation of organic thin films was controlled by the application of an electric field and variation of substrate temperature during the evaporation process. Optimum conditions of manufacturing β-PVDF organic thin film by physical vapor deposition method is to keep at the substrate temperature of 80℃, at the applied electric field of 142.8㎸/㎝. The voltage output coefficient increased from 1.39 to 7.04V increasing the force moment.
플라즈마 중합법에 의한 스티렌 박막의 분자 구조 및 분자량 제어에 관한 연구
김종택(Jong-Taek Kim),최충석(Chung-Seog Choi),박종관(Jong-Kwan Park),임응춘(Eung-Choon Lim),이덕출(Duck-Chool Lee) 한국진공학회(ASCT) 1997 Applied Science and Convergence Technology Vol.6 No.3
본 연구에서는 내전극 정전결합 유동가스형 반응장치를 이용하여 플라즈마 중합 스티렌 박막을 제작하고 적외선분광스펙트럼, 열분해가스크로마토그래피, 시차주사열량계 및 겔투과성 크로마토그래피의 분석을 통하여 중합조건이 분자구조 및 분자량 분포에 미치는 영향을 조사하였다. 위의 결과로부터 개시 모노머의 화학적 특성과는 다른 고도로 가교된 박막이 생성되었으며, 방전압력, 방전전력 및 가스의 유량 등의 중합조건 조절에 의해 분자구조, 가교도, 분자량 분포 등의 제어가 가능함이 판명되었다. 따라서 내전극 정전결합 유동가스형 반응장치에 의해 수행된 플라즈마중합법은 중합조건의 조절에 의해 센서의 감지막, 광도전성 소자 및 포토 레지스트 등에 응용가능한 기능성 유기박막의 제작에 좋은 특성을 나타내는 것을 알 수 있었다. The plasma polymerized styrene films were prepared by using an inter-electrode capacitively coupled gas-flow-type reactor, and the effects of plasma polymerization condition on the molecular weight distribution were investigated by Fourier Transform Infrared (FT-IR), Pyrolysis Gas Chromatography(PyGC), Differential Scanning Calorimetry(DSC) and Gel Permeation Chromatography(GPC). From the above results, the very cross-linked films different from chemical characteristics of the starting monomer were taken out, and it is realized that the molecular structure, cross linking density, and molecular weight distribution could be controlled by changing the parameters such as deposition pressure, deposition power and gas flow rate. Accordingly, it is suggested that plasma polymerization method performed by inter-electrode capacitively coupled gas-flow-type reactor has good characteristics for manufacturing the functional organic thin films which can be applied in sensors, opto-electric device, photo-resist by changing the polymerization parameters.