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실리콘광증배관 기반의 미세기둥 구조 CsI:Tl 제작 및 평가
박찬종,김기담,주관식 한국전기전자학회 2016 전기전자학회논문지 Vol.20 No.4
This study conducted the gamma ray spectroscopic analysis of the microcolumnar CsI:Tl deposited onto the SiPMs using thermal evaporation deposition. The SEM measured thickness of microcolumnar CsI:Tl and of its individual columns. From the SEM observation, the measured thickness of CsI:Tl were 450μm and 600μm. The gamma ray spectroscopic properties of microcolumnar CsI:Tl, 450μm and 600μm thick deposited onto the SiPMs were analyzed using standard gamma ray sources Ba and Cs. The spectroscopic analysis of microcolumnar CsI:Tl deposited onto the SiPMs included the measurements of response linearity over the Cs gamma ray intensity; and gamma ray energy spectrum. Furthermore from the gamma ray spectrum measurement of Ba and Cs, 450μm thick CsI:Tl showed good efficiency when measured with Ba and 600μm thick CsI:Tl was highly efficient when measured with Cs. 본 연구에서는 SiPM에 열진공증착법을 이용하여 증착한 미세기둥 구조의 CsI:Tl의 감마선 분광특성연구를 진행하였다. SEM장비를 사용하여 미세기둥 구조의 CsI:Tl의 두께와 각각의 CsI:Tl 미세기둥의 두께를 측정하였다. SEM 관측 결과 CsI:Tl의 두께는 450μm, 600μm이다. SiPM에 450μm, 600μm 두께로 증착한 미세기둥 구조의 CsI:Tl은 표준 감마선원인 Ba, Cs를 사용하여 감마선의 분광특성 평가를 진행하였다. SiPM에 증착한 미세기둥 구조 CsI:Tl의 분광특성 평가는 Cs 감마선 세기에 따른 응답 선형성과, 감마선 에너지 스펙트럼을 측정하였다. SiPM에 증착한 두께 450μm와 600μm CsI:Tl은 감마선 세기에 따라 선형성을 나타났다. 또한 Ba과 Cs의 감마선 에너지 스펙트럼 측정 결과 450μm 두께의 CsI:Tl은 Ba에 대한 특성이 좋게 평가되었고, 600μm 두께의 CsI:Tl은 Cs에서 우수한 특성을 확인할 수 있었다.