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      • 여수 연안에서 자망에 어획된 어류의 종조성 및 양적변동

        오성재 전남대학교 일반대학원 2013 국내석사

        RANK : 1839

        여수 연안 해역에서 자망을 이용하여 2009년 10월, 2010년 1월, 5월, 8월에 어획된 어류의 종조성 및 계절변동에 관하여 연구하였다. 조사기간 채집된 어류는 1강 6목 16과 25종 1,529개체 183,840g 으로서 그 중 농어목이 7과 9종으로 가장 많았고, 다음으로는 가자미목이 3과 5종, 쏨뱅이목이 2과 5종의 순으로 나타났으며, 이들 3목이 포함된 어류가 총 19종으로 조사기간 동안 출현한 종수의 전체 개체수의 81.10%를 차지하였으며, 가장 우점하는 분류군으로 나타났다. 조사지역에서 가장 많이 채집된 종은 쥐노래미로 총 189개체로 전체 출현량의 12.36%를 차지하여 여수 연안에서 가장 우점한 종으로 나타났으며, 다음으로는 농어가 165개체로 10.79%, 노래미가 153개체로 10.01%를 차지하였다. 월별 군집 구조의 종 다양도 지수(H')는 2.088∼2.663 범위로 나타났고, 균등도 지수(J) 0.840∼0.889, 우점도 지수(D) 2.024∼3.138 범위로 나타났으며, 정점별로 조사한 종 다양도 지수는(H')는 2.467∼2.657 범위로 나타났고, 균등도 지수(J)는 0.837∼0.902, 우점도 지수(D)는 2.992∼3.372로 나타났다. 월별 군집의 유사도를 보면 2010년 8월은 5월과 2009년 10월과 출현한 종이 거의 흡사하였으며, 2010년 1월은 큰 유사성을 보이지 않아 독립된 출현 종을 이루고 있음을 알 수 있었다. 그리하여 2009년 10월과 2010년 5월 8월, 2010년 1월로 크게 2개의 군집으로 나누어졌다. Monthly variation in abundance and species composition of the fishes were investigated based on specimens collected by gill net in Coastal Waters of Yeosu from October, 2009 and January, May, August , 2010. The collected fishes were 1,529 individuals (183,849g) of the total, identifeid into 6 orders, 16 families and 25 species. The most dominant order fish was Perciformes comprising 9 species, 7 families, followed Pleuronectiformes comprising 5 species, 3 familes, Scorpaeniformes comprising 5 species, 2 families. These 3 orders consituted 81.10% of the total collected fish. During the study, most dominant species was Hexagrammos otakii accounted for 189 individuals (12.36%) of the total, followed by Lateolabrax japonicus 165 individuals (10.79%), Hexagrammos agrammus 153 individuals (10.01%). The fish collected by a gill net in Coastal Waters of Yeosu from October, 2009 and January, May, August , 2010, the diversity index of the fishes was 2.088∼2.663, which was the highest in August, 2010 and the lowest in January, 2010. The eveness index of them was 0.840∼0.889, which was the highest in August, 2010 and the lowest in January, 2010 and the richness index of them was 2.0240∼3.138, which was the highest in October, 2009 and the lowest in January, 2010. The analyzed species diversity index by the each stations was 2.467∼2.657 and the evenness index was 0.838∼0.902 and the richness index 2.992∼3.372. The similarity of community structure per season was very high which was the least in Spring and Fall. In addition, the community structure was very similar in state 3 and 2 out of each stations.

      • 고장력강 Atos 60에 대한 FCAW의 용접모니터링과 기계적특성 및 미세조직 평가에 관한 연구

        오성재 공주대학교 테크노전략대학원 2015 국내석사

        RANK : 1839

        본 연구에서는 고장력강 Atos 60을 이용하여 FCAW를 하였고, 용접특성 분석을 위하여 용접공정상의 실시간 모니터링 시스템과 용접 후 기계적 성질 및 미세조직을 평가하였다. Ar 80%+CO2 20% 혼합가스를 사용하여 용접한 경우 CO2 100%보다 미려한 비드와 스패터 발생이 적게 나타났으며 스패터량도 줄었다. 인장시험과 미세경도시험 결과 모두 혼합가스 사용 시 향상되었다. 미세조직을 관찰한 결과 Ar 80%+CO2 20%에서 용착금속부는 CO2 100%와 Ar 90%+CO2 10%보다 흰색의 페라이트의 형성이 증가되었다. 열영향부에서 백색의 페라이트(Ferrite)조직과 페라이트와 페라이트 사이에는 마르텐사이트(Martensite), 베이나이트(Bainite), 펄라이트(Pearlite) 조직이 혼재되어 수지상의 형태로 나타났다.

      • 시장정보와 재무정보를 이용한 신용리스크 모델에 관한 연구

        오성재 건국대학교 2006 국내석사

        RANK : 1839

        한글초록 :기존 연구들은 주로 차입기업의 재무제표에서 부도예측력이 높다고 판단되는 변수를 다양한 통계모형에 의존하여 선정하는 방식이 주류를 이루었다. 이러한 방식은 실행이 간편하다는 장점을 가지고 있는 반면에, 채무불이행의 발생에 대한 이론적 설명이 부족하다는 단점을 가지고 있다. 따라서 통계모형은 표본 및 사용되는 모형의 형태에 따라 서로 다른 변수들의 중요성이 부각되는 결과를 초래한다. 이와 관련한 최근의 연구경향은 기업부도가 자산가치(주가)와 부채가치의 비교에 의해, 즉 순자산가치가 음(-)일 경우에 발생한다고 가정하고, Black-Scholes(1973)와 Merton(1974)의 옵션가치평가모형을 통해 예상부도확률(EDF:Expected Defalt Frequency)을 산출하는 모형에 초점을 맞추고 있다. 하지만 기존의 통계모형에 EDF(Expected Defalt Frequency)모형을 결합한 확장모형에 대한 연구는 미미한 실정이다. 그리하여 시장정보를 수반하는 EDF모형의 장점을 살리면서 통계적 모형과의 결합을 통해 기존의 회계정보 기반의 통계모형을 보완하고자 하는 연구를 하고자 하는 것이 본 연구의 목적이다 영문초록 :I investigated about credit-risk-model's utility using combination EDF model that combined statistical default prediction model and KMV default prediction model. The result of the empirical study are as follows. First, total average DDs were statistically different between default and non-default companies. so, this paper showed that DD could be used as a variable in order statistical default-prediction model.lastly, I compared discriminant power of the prediction models using misclassification rate and root average squared error. The result shows that combination EDF model is better than any other models

      • 중년여성의 운동수행실태와 운동수행에 미치는 영향요인 연구

        오성재 순천향대학교 일반대학원 2007 국내석사

        RANK : 1839

        중년여성은 건강증진과 삶의 질 향상을 위해 운동수행 증진이 요구되며 지속적인 운동수행은 갱년기 증상을 포함한 만성질환을 예방하고 체력을 향상시켜 활기찬 생활을 영위하고 노년기 건강문제와도 밀접한 관계가 있으므로 노년기의 삶의 질 향상에 기여하기 때문에 큰 관심을 기울여야 하지만, 자녀교육, 가사부담, 가족 내 역할 수행 등으로 인해 규칙적이고 지속적인 운동수행이 어렵다. 이러한 운동부족은 만성질환의 주요 요인이 된다. 이에 본 연구는 중년여성의 운동수행실태와 운동수행에 미치는 영향요인을 확인하고자 시도된 서술적 설명연구로서 이 결과는 중년여성의 운동수행증진을 위한 효과적인 간호전략을 수립하기 위한 기초자료를 제공할 것이다. 연구대상자는 서울시, 평택시, 천안시에 거주하는 40~59세 중년여성 206명이었으며 예비조사를 거쳐 본조사는 2006년 7월 15일부터 9월 14일 까지 2개월간 자가 보고식으로 자료수집 하였다. 연구도구는 운동수행정도 도구(Walker et al., 1987) 7문항, 운동관련 자기 효능감 도구(Sallis et al., 1988) 13문항, 지각된 건강상태 도구(Lawton et al., 1982) 1문항, 운동관련 지각된 장애성 도구(이미라, 1999) 10문항, 운동관련 정서 도구(McAuley et al., 1989) 4문항, 운동관련 지각된 유익성 도구(이미라, 1999) 18문항, 운동관련 사회적 지지 도구(Sallis et al., 1987) 7문항, 운동행위 변화단계(Marcus et al., 1999b) 1문항을 사용하였다. 자료 분석은 SPSS WIN 12.0 과 SAS program을 이용하여 Descriptive statistics, t-test, ANOVA, Pearson's correlation coefficient, Stepwise multiple regression을 이용하였다. 본 연구결과는 다음과 같다. 1) 운동관련 자기효능감 평균 50.23점, 지각된 건강상태 5.66점, 운동관련 정서 2.99점, 운동관련 사회적 지지 2.99점, 운동관련 지각된 장애성 1.96점, 운동관련 지각된 유익성 3.00점과, 운동수행정도 2.05점으로 나타났다. 1주일에 3일 이상 일회 30분 이상 규칙적으로 운동하는 것을 기준으로 실태조사를 한 결과 신념이 없는 계획전단계 3.9%, 계획단계 30.1%, 준비단계 43.2%로 계획단계와 준비단계가 대부분을 차지하였다. 규칙적인 운동을 하는 대상자는 행동단계 6.8%, 유지단계 16%로 총 22.8%이었고, 일주일 평균 운동회수는 2.51(0.75)회이었으며, 일주일 운동수행 시간은 45.3(12.25)분으로 나타났다. 2) 일반적 특성에 따른 운동수행의 차이는 통계적으로 유의한 차이가 있었으며(F=5.45, p=.005), 체중인지를 뚱뚱한 편으로 인지하는 대상자의 운동수행점수는 평균 1.86점으로, 보통으로 인지하는 대상자(평균 2.23점)보다 낮았다. 마지막 자녀의 교육단계에 따른 운동수행의 차이도 통계적으로 유의한 차이가 있었으며(F=4.44, p=.013), 중고생 자녀가 있는 대상자의 운동수행은 평균 1.85점으로 유치원, 초등학생 자녀가 있는 대상자의 평균 2.23점보다 낮았다. 3) 운동수행과 운동관련 특성과의 관계를 살펴보았을 때 가장 높은 상관성을 보인 변인은 운동관련 자기 효능감(r=.616, p<.0001)이었으며, 지각된 건강상태(r=.428, p<.0001), 운동관련 정서(r=.519, p<.0001), 운동관련 지각된 유익성(r=.339, p<.0001), 운동관련 사회적 지지(r=.239, p<.0004) 등이 모두 중등도의 정상관을 나타냈고, 운동관련 지각된 장애성(r=-.330, p<.0001)만 부적 상관을 나타냈다. 4) 운동수행에 미치는 영향요인은 운동관련 자기 효능감, 운동관련 정서, 마지막 자녀의 교육단계 중 유치원, 초등학생 자녀가 있는 대상자, 운동관련 지각된 장애성 등 4변수로 이들에 의한 설명력은 46.4%이었다. 가장 큰 변인은 운동관련 자기효능감(37.9%)이었다. 본 연구결과 중년여성의 운동수행에 미치는 영향요인은 운동관련 자기 효능감, 운동관련 정서, 운동관련 지각된 장애성과 마지막 자녀가 유치원, 초등생 자녀가 있는 대상자로 나타나, 중년여성의 운동수행을 계획 시 운동관련 자기효능감, 운동관련 정서 및 운동관련 지각된 장애성을 고려할 것을 제언한다. Exercise performance has long been recommended for middle aged-women because of its beneficial effects on physiological and psychological health. The overall participation rates of exercise performance degree remain low among middle-aged women, and is known to be influenced by various factors. These factors should be considered for planning and implementation of exercise program in middle-aged women. However, few studies have examined the relationships among these factors. This study was performed to identify practical exercise performance and to identify the factors related to exercise performance in middle-aged women. Data were collected from 206 middle-aged women of the ages of 40~59 during July 15 to September 14, 2006. The measurements were Exercise performance degree scale, Self-efficacy related to exercise scale, Perceived barriers related to exercise scale, Perceived benefits related to exercise scale, Perceived health status scale, Affect related to exercise scale, Social support related to exercise scale, stage of change for exercise scale. The Data were analyzed by descriptive statistics, t-test, ANOVA, Pearson's correlation coefficient, stepwise multiple regression using SPSS WIN 12.0 and SAS program. The results were as follows. 1. The mean score of exercise performance degree was 2.05 in all subjects and 50.2 in self-efficacy related to exercise, 5.66 in perceived health status, 2.99 in affect related to exercise and social support related to exercise, 1.96 in perceived barriers related to exercise, 3.00 in perceived benefits related to exercise. The subjects were distributed in the changing stages of exercise: 8 (3.9%) in the precontemplation stage, 151(73.3%) were classified to the contemplation stage or the preparation stage. The mean frequency of exercise per week was 2.51 times. 2. Exercise performance showed significant differences according to perceived body image(F=5.45, p=.005), last children’s education grade(F=4.44, p=.013). In the normal group, exercise performance score was higher than obese group. The kindergarten or elementary school grade group was higher than middle or high school grade group. 3. Exercise performance showed statistically significant positive correlations with self-efficacy related to exercise(r=.616, p<.0001), perceived health status(r=.428, p<.0001), affect related to exercise(r=.519, P<.0001), perceived benefits related to exercise(r=.339, p<.0001) and social support related to exercise(r=.239, p<.0004). It was negatively correlated with perceived barriers related to exercise(r=-.330, p<.0001). 4. Self-efficacy related to exercise, affect related to exercise, perceived barriers related to exercise, the kindergarten, elementary school grade explained 46.4% of exercise performance in middle-aged women. Self-efficacy related to exercise was the most influent variable on exercise performance for 37.9% of the variance. Based on above results, we can conclude that self-efficacy, affect and perceived barrier related to exercise are important factors affecting exercise performance in middle-aged women. It suggests the need to develop exercise program to improve self-efficacy and affect related to exercise and to decrease perceived barrier related to exercise. Also it needs to be considered the last children’s education grade.

      • 한국의 경제 및 교육의 기회불평등 분석

        오성재 서울대학교 대학원 2022 국내박사

        RANK : 1839

        기회평등의 원칙에 따르면 개인의 의지와 무관하게 주어지는 환경에 따라 성취 기회의 우열이 결정되어서는 안 된다. 본 연구는 이러한 기회평등의 원칙하에 교육과 경제 두 분야에 대하여 우리 사회가 겪는 기회불평등에 대한 분석이다. 1장은 들어가는 글로 전체 글의 구성을 소개하는 내용이다. 2장에서는 청년들이 겪는 기회불평등에 대하여 분석한다. 대졸자직업이동경로조사(GOMS)를 이용하여 2000년에서 2011년까지 대학입학결과를 바탕으로 대입수험생들이 겪은 기회불평등의 정도와 추이를 측정한다. 그리고 이들이 대학을 졸업하고 경제활동을 처음으로 시작하여 얻는 월 소득을 기준으로 사회에 진출하여 직면하는 경제적 성취의 불평등을 아울러 분석한다. 학생이 속한 가구의 사회경제적 지위에 의한 대학진학 성과 및 생애 첫 소득의 기회불평등이 조사 기간 전체에 걸쳐 뚜렷하게 존재하는 것으로 나타났다. 열악한 환경에서 기회불평등으로 최상위권 대학진학에 실패할 확률이 최대 70%에 이르는 것으로 나타났다. 입시 전형별로 일반수시 합격자간 기회불평등이 일반정시 합격자간 기회불평등보다 높은 것으로 나타났다. 소득의 경우 대학진학에 비해 기회불평등의 정도가 현저히 낮았지만, 열악한 환경에서 기회불평등으로 고소득 획득에 실패할 확률이 40%에 달함을 확인하였다. 3장은 한국의 가계소득의 기회불평등에 대하여 살펴본다. 한국노동패널(KLIPS)을 이용하여 1998년부터 2020년 까지 우리 사회의 가구소득 획득에서 각 가구들이 직면하는 기회불평등의 정도와 추이를 살펴본다. 가구주 부친의 직업과 학력 각각에서 우월한 유형의 부친을 가진 가구주의 가구가 상대적으로 열악한 가구보다 소득획득에서 우월한 기회를 보장받는 기회불평등이 존재함을 확인하였다. 전체적인 기회불평등 정도는 가구주의 연령을 30-50세로 제한할 경우 전 연령을 대상으로 할 때보다 매우 낮게 측정되었다. 30-50대 가장 연령층에서 경제적 성공 기회의 불평등 정도가 급격히 높아졌다. 이는 우리 사회가 체감하는 높은 기회불평등은 주요 경제활동연령층이 경제적 성공을 얻는 데 대한 기회불평등임을 보여주고 있다. 4장에서는 연구의 관심 지역과 범위를 확장한다. 전 세계의 교육성취의 기회불평등을 측정하고 기회불평등이 경제성장에 미치는 영향에 대하여 살펴본다. 불평등과 경제성장 사이의 관계를 다룬 많은 선행연구들에서는 불평등의 구성요소들을 따로 구분하지 않기 때문에, 각 구성요소가 경제성장에 미치는 (상반된) 영향이 혼합되어 나타날 수 있다. TIMSS 자료를 바탕으로 분석하는 경우, 전 세계를 대상으로 실시한 분석에서 기회불평등은 경제성장에 부정적인 영향을 주는 반면 잔여불평등은 경제성장에 유의미한 영향을 미치지 않는다. 반면 OECD 가입국 집단에서 기회의 불평등은 경제성장에 유의한 영향을 미치지 못하는 반면, 잔여불평등은 경제성장에 부정적인 영향을 미친다. PISA자료를 바탕으로 분석하는 경우, 문해력의 기회불평등도와 잔여불평등도 모두 3년간의 경제성장에 유의미한 영향을 주지 못하는 것을 알 수 있었다. 5장의 2-4장의 연구 결과를 정리하는 글이다. The principle of equality of opportunity said that the superiority and inferiority of achievement opportunities should not be determined by the circumstances given regardless of individual will. This study is an analysis of the inequality of opportunity in Korea in education and economy under the principle of equality of opportunity. Chapter 1 is introductory that introduces the structure of the entire text. Chapter 2 analyzes the inequality of opportunity experienced by young people. We measure the degree and trend of inequality of opportunity on college admission result from 2000 to 2011 using the GOMS. We also analyze the inequality of the monthly income they get from graduating from university and starting economic activities. It was found that the inequality of opportunity for college admissions and first-time income by the socioeconomic status of the household to which the student belongs was evident throughout the survey period. The probability of failing to enter a top-ranking university due to inequality of opportunity in a poor environment is up to 70%. The inequality of opportunity among those who passed the early decision was higher than the inequality of opportunity among those who passed the regular decision by entrance examination type. In the case of income, the degree of inequality of opportunity was significantly lower than that of university entrance, but it was confirmed that the probability of failing to obtain high income due to inequality of opportunity in a poor environment reached 40%. Chapter 3 examines the inequality of opportunity in household income in Korea. We examine the degree and trend of inequality of opportunity in household income acquisition in Korea from 1998 to 2020 by using the Korea Labor Income Panel Study(KLIPS). We find that there is an inequality of opportunity on household income acquisition. The higher the educational or occupational background of the father of the head of the household, the greater the chance of obtaining household income. The overall degree of inequality of opportunity was measured to be very low when the age of the head of household was limited to 30-50 years compared to that of all age groups. The degree of inequality of opportunity for economic success has risen sharply among the age of the head of the household is 30-50. This shows that the high inequality of opportunity in Korea is the inequality of opportunity for the major economically active age group to achieve economic success. Chapter 4 expands the area of interest and scope of the study. We measure inequality of opportunity in educational achievement around the world and examine the effect of inequality of opportunity on economic growth. Since many previous studies dealing with the relationship between inequality and economic growth do not separate the components of inequality separately, the (opposite) effects of each component on economic growth may appear mixed. In the case of analysis based on TIMSS data, inequality of opportunity has a negative effect on economic growth, whereas residual inequality does not have a significant effect on economic growth in the global analysis. On the other hand, in the OECD member countries, inequality of opportunity does not have a significant effect on economic growth, whereas residual inequality has a negative effect on economic growth. In the case of analysis based on PISA data, it was found that neither opportunity inequality nor residual inequality of literacy had a significant effect on economic growth over three years. Chapter 5 is the final chapter of the entire text.

      • (A) simple characterization of majority rule on dichotomous prerferences

        오성재 Graduate School, Korea University 2012 국내석사

        RANK : 1823

        This paper shows axiomatic characterizations of majority voting on dichotomous preference in two ways. First, the negative response to vote addition is introduced as a counterpart of the positive response to vote addition in Baigent and Xu [1991]. Both response properties are extended in order to relax closeness on ballot space. In the fixed population model, main results in Ju [2010] hold even if these extension are applied. In the variable population model, the equal treatment for equal vote does not hold together with the negative response. Next, we introduce a two-fixed-indifference-class-separation as a combination of two-indifference-class and two-fxed-class-separation in Inada [1964]. We show a necessary and sufficient condition for the characterization without a linear preference assumption in Ju [2011].

      • 비정질 실리콘 박막의 고온 고상 결정화

        오성재 (吳晟在) 弘益大學校 大學院 2006 국내석사

        RANK : 1583

        최근 능동 영역 액정 표시소자(Active Matrix Liquid Crystal Displays : AMLCD)와 능동 유기 전계 발광 소자(Active Matrix Organic Light Emitting Diode, AMOLED)에 적용되는 다결정 Si 박막 트랜지스터(Poly-Si Thin Film Transistors)에 대해 많은 연구가 진행되고 있다. 현재 상용화되는 대부분의 TFT는 비정질 Si 박막 트랜지스터를 이용하고 있다. 비정질 Si 은 제작이 용이하고 고온 공정에 필요치 않기 때문에 값싼 유리 기판을 사용할 수 있다는 장점을 가지고 있다. 그러나, 비정질 Si은 낮은 전자 이동도(≤0.5cm2/Vs) 및 구동회로와 스위칭 소자를 각각 구현해야 하는 단점을 가지고 있으며 고집적화, 대면적화 하는 추세에 적용이 어려운 문제점을 안고 있다. 그러므로 비정질 Si 박막 트랜지스터에 비해 전계 효과 이동도가 우수하고 구동회로와의 집적이 가능한 장점을 지닌 다결정 Si 박막 트랜지스터가 필요하게 된다. 또한, 다결정 박막 트랜지스터의 제작 시 기판으로서 유리의 적용을 위해 저온 공정(<450oC)을 필요로 한다. 지금까지 다양한 저온 poly-Si TFTs의 제조 공정이 연구되고 있으나 엑시머 레이저 결정화(Excimer Laser Crystallization : ELC) 방법이 가장 효과적인 공정으로 알려져 있다. 그러나 레이저 빔 자체의 조사량이 불균일하다는 레이저 시스템 상의 문제점과, 조대한 결정립을 얻기 위한 레이저 에너지 밀도의 공정 영역이 극히 제한되어 있다는 레이저 공정상의 문제점, 그리고 대 면적에 shot자국이 남는다는 문제점을 가지고 있다. 따라서 본 연구에서는 Non-laser 방식의 고상 결정화방법을 통하여 결정화 시 핵 생성(nucleation) 및 성장(growth)에 관한 kinetics 및 결정 격자결함의 회복 및 제거에 관하여 중점을 두었다. 먼저 Si wafer 위에 PECVD로 형성된 비정질 Si 박막을 600~1000oC의 결정화 온도에서 고온 고상 결정화를 실시하였으며, 핵 생성과 성장에 관한 기본적인 kinetics 및 결정 격자결함의 변화를 온도와 시간에 따라서 확인할 수가 있었다. 결정화 온도와 시간이 증가함에 따라 결정 격자결함은 급격히 제거되었으며, 핵 생성과 성장의 시간이 감소하였다. 또한 동일 결정화 시간에서 온도가 증가함에 따라 핵 생성 구간, 결정화가 완료되는 구간, 결정 격자결함이 제거되는 구간으로 구분이 되었으며 핵 생성 및 성장의 에너지보다는 결정 격자결함의 제거를 위한 에너지가 더 많이 요구되는 것을 알 수가 있었다. 본 연구를 통하여 현재 Mo, steel 등의 기판을 사용하여 결정화 온도에 영향을 받지 않는 Flexible Display의 개발과 더불어 AMOLED의 대면적화와 균일도를 가지는 고품위 다결정 Si TFTs의 제조에 기여를 할 것으로 판단되고, 고상 결정화에 대한 전반적인 kinetics를 확인할 수가 있었다. For application to active matrix liquid crystal displays (AMLCDs) and active matrix organic lighting emitting diode (AMOLED), a low temperature process for the production of poly-Si is required to permit the use of glass substrates. Polysilicon films best suited for TFTs are made by crystallization of a-Si:H precursor films. Crystallization techniques include furnace annealing, rapid thermal annealing by lamp heating, and laser crystallization. Furnace annealing produces highly uniform polysilicon films over large areas, and is a proven batch process. Because the strain points of affordable substrate glasses lie about 600oC, crystallization and further processing are restricted to temperatures at or below~600oC, which requires crystallization and ion-implant annealing times as long as 20hrs. Catalyzed crystallization can reduce this time to~5hrs, which still is long when compared to the process step throughput of one plate per minute desired of the single-substrate cluster tools employed in the manufacture of active-matrix liquid-crystal displays. To find a fast and furnace-based crystallization process for large areas of low-cost substrates to enable the integration of driver circuits for active matrices has been the primary goal of our research. In this thesis work crystallization kinetics including nucleation and growth and the microstrucutres obtained at higher temperatures were investigated. SPC experiments were conducted using a tube furnace at temperatures ranging from 600oC to 1,000oC. The samples used consist of layered structures of 50nm-thick a-Si/500nm-thick SiO2/Si wafer. Crystallization kinetics becomes dramatically rapid as the crystallization temperatures increases to higher temperatures. According to TEM observation the grain size decreases as the annealing temperature increase up to 800oc. It is, however, not so sensitive to the annealing temperature beyond 800oC. Since crystallization kinetics becomes very rapid and since the heating rate of a conventional furnace is slow phase transition to polycrystalline silicon may occur in the course of heating-up, and thus the desired microstructure formed at high temperatures cannot be reflected.

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