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심섭,김진태,정낙관,남민우,이보금,윤주영 한국공업화학회 2016 한국공업화학회 연구논문 초록집 Vol.2016 No.0
Chemical and physical changes of tris(8-hydroxyquinoline)aluminum (Alq3), which is commonly used as electron transporting materials and green-emitting materials in organic light emitting diodes (OLEDs), occurring during long-term thermal stability test under high-vacuum and thermal stress was investigated. To test for thermal stability of the Alq3 molecule under vacuum over time, its temperature was maintained at its conventional evaporation temperature(573K). after a total test time of around 15 hours, crystalline phase and photoluminescence of tested materials, and electroluminescence and lifetime of devices fabricated from them were characterized using X-ray diffractometer, infrared spectroscopy, PL spectrometer, and spectrophotometer.
심섭,문지훈,박재서,송선민,임종연,제갈원,강상우 한국진공학회 2021 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.2021 No.2
최근 차세대 반도체용 신규 소재/공정 도입 및 진공펌프의 수요처 다변화 등으로 인해 중형(2500/L/s 이상)및 대형(4000/L/s 이상) 터보분자펌프(TMP)의 수요가 점차 확대되고 있지만 아직까지 국내에서는 이에 대한 표준화된 시험 평가 기술/절차/장비의 부재로 인해 제품 개발에 어려움을 겪고 있다. 본 연구에서는 국제적 소급성이 확보된 성능 평가 기법 및 시스템을 개발하고자 국제 규격을 준용한 TMP 특성 평가 시스템을 설계, 구축하였다. 이를 통해 2,500L/s급 개발품 및 4,000L/s급 상용품의 배기속도(4,000L/s 이상; N<sub>2</sub>), 도달진공도(1.0×10<sup>-8</sup> mbar 이하), 압축비(1.0×10<sup>-9</sup> 이상; N<sub>2</sub>), 소비전력 등의 주요성능에 대한 기초 시험평가를 수행하였다.
안종기,심섭,강고루,오남근,김진태,함성호,윤주영 한국공업화학회 2016 한국공업화학회 연구논문 초록집 Vol.2016 No.0
ZrO2 세가지 상을 가지며 그 중 tetragonal phase가 이론적으로 가장 높은 값을 갖는 것으로 알려져 있다 (k ~ 47). 하지만 실제로는 tetragonal phase가 열역학적으로 불안정하므로 Si, Al, Ge 등의 작은 이온반경을 가진 4가 원소를 ZrO2에 적당히 doping하면 이를 안정화시킬 수 있으며, 최근 연구결과에 따르면, dopant의 농도에 의해 ZrO2 박막의 phase stability 및 dieletric constant 값이 결정됨이 보고되었다. 이 때문에 high-k tetragonal ZrO2 박막을 얻기 위해서는 dopant의 농도를 정확히 제어하는 것이 무엇보다 중요하다. 현재 이러한 Al doped high-k tetragonal ZrO2 박막을 형성하기 위해 atomic layer deposition (ALD) 등의 방법이 사용되고 있는데 증착된 Al-doped ZrO2 박막의 Al dopant 농도는 증착 후에나 확인할 수 있어 원하는 조성의 박막을 얻는 데에는 근본적인 한계가 있었다. 본 연구는 distillation 방법을 이용하여 precursor의 기상을 액상으로 포집하여 H-NMR 분석을 통하여 조성을 확인하였다. 향후 기상의 조성을 측정방법을 통해 조성을 확인한다면, ALD 증착시, 박막의 조성을 좀 더 쉽게 제어할것으로 기대된다.
고진공에서의 Organic Light Emitting Diodes(OLEDs)용 유기재료의 상전이 및 분해특성 평가
신은진,심섭,김진태,윤주영 한국공업화학회 2014 한국공업화학회 연구논문 초록집 Vol.2014 No.1
Organic Light Emitting Diode (OLED)에 사용되는 유기재료 N,N’-diphenyl-N,N’-bis(1-naphthyl)-1,1’-biphenyl-4,4”-diamine(NPB)의 온도, 시간에 따른 상전이 및 분해 특성을 여러 진공도(10-7 ~ 760 Torr)에서 평가하였다. 서로 다른 조건(온도, 경과시간)에서 열처리된 시료의 상전이 온도를 온도, 압력 제어가 가능한 진공시스템에서 측정하였고, 이를 열처리하지 않은 본래 시료의 상전이 온도와 비교하였다. 또한 위와 같은 조건에서 열처리된 시료의 순도 경시변화를 high performance liquid chromatography (HPLC)을 이용하여 평가하였다. 향후, 이러한 방법을 활용한 진공에서의 OLED용 유기 증착 소재의 상전이 및 분해 특성 평가는 OLED 유기박막 공정의 최적화와, 다양한 유기 증착 소재의 열 안정성 파악에 도움이 될 것으로 기대가 된다.