편광자-보정기-시료-보정기-검광자 배치를 가지는 준 수직입사 타원계의 타원식

김상열,Kim, Sang Youl 한국광학회 2021 한국광학회지 Vol.32 No.4

A near-normal-incidence ellipsometer (NNIE) is suggested as an optical critical dimension (OCD) measurement system that is highly sensitive to the bottom defect of a sample with high-aspect-ratio structured patterns. Incident light passes through a polarizer and a phase retarder in sequence, and the reflected light from the sample also passes through them, but in reverse order. The operating principle of this NNIE, where a single polarizer and a single phase retarder are shared by the incident and reflected light, is studied, and a method to determine the ellipsometric constants from the measured intensities at proper combinations of the azimuthal angles of polarizer and retarder is presented. 높은 종횡비를 가지는 미세 패턴 시료의 하부층 구조결함에 대해 높은 민감도를 가지는 광학적 임계치수 측정 장비로서 준 수직입사 타원계를 제안한다. 이 준 수직입사 타원계에서는 입사광은 편광자와 위상지연자를 순차적으로 통과하며 반사광은 이들을 역순으로 통과한다. 하나의 편광자와 하나의 위상지연자를 입사광과 반사광이 공유하며 편광자와 위상지연자의 여러 방위각 조합에서 측정한 빛의 세기로부터 타원상수를 결정하는 이 준 수직입사 타원계의 측정원리를 검토하고 최적의 타원상수 측정방법을 제시한다.

항만물류산업이 항만도시의 경제에 미치는 영향 분석

김상열,박호,구한모,류동근,Sang-Yeol Kim,Ho Park,Han-Mo Koo,Dong-Keun Ryoo 한국항해항만학회 2015 한국항해항만학회지 Vol.39 No.3

항만물류산업은 교역과 부가가치 창출, 높은 경제적 효과를 지닌 중요한 산업으로 그 영역이 점차 확대되고 있다. 항만물류산업의 효율화는 국가 경쟁력을 증대할 수 있는 방안 중 하나이며, 다수의 선행연구에서 그 영향에 대해 연구가 진행되었다. 본 연구에서 산업 분류 의 기준이 되는 한국표준산업분류의 9차 개정을 활용하고, 2010년 최초 시행된 경제총조사 자료를 활용하여 울산지역을 대상으로 항만물류산 업이 지역경제에 미치는 영향을 분석하고, 우리나라 5대 항만도시간 항만물류산업을 비교하였다. 연구 결과, 첫째 2010년 기준 직접 항만물류 산업은 종사자(11.7%)와 매출액(13.1%)에서 높은 비중을 보였으며, 지역 내 높은 고용과 경제적 영향이 있음을 나타냈다. 둘째, 5대 항만도시 의 2007~2011년 기준 항만물류산업간 비교에서 광양(5.72%)과 울산(4.23%)은 전국평균(1.74%)보다 높은 사업체수의 연평균 증가와, 직접 항 만물류산업의 종사자에서 울산(23.82%), 평택(25.74%)은 높은 연평균 증가를 나타냈다. Port Logistics Industry plays a crucial role in trade creating added value, and contributes greatly in economic growth of a nation. Multitude of studies have been conducted to develop this industry as a means of intensifying national competitiveness. In line with this trend, this study aims to examine the effect of the Port Logistics Industry on the regional economy focusing on Ulsan, and also compare the industry among five port cities by using Korean Standard Industrial Classification (KSIC) Rev. 9 and 2010 Economy Census. The results of this study demonstrate that the Port Logistics Industry has significant regional employment rate and economic importance, showing the high number of workers (11.7%) and sales (13.1%) in 2010. According to the comparison among five port cities between 2007 and 2011, the increase of annual average in the number of companies of Gwangyang (5.72%) and Ulsan (4.23%) is higher than the national average (1.74%), and Ulsan (23.82%) and Pyeongtaek (25.74%) show high increase of annual average in the number of workers.

한화S&C의 ITSM 구축, 운영사례 ISO 20000 인증 획득

김상열,Kim, Sang-Yeol 한국컴퓨터사용자협회 2006 The USERS Vol.49 No.-

$B_1$ 뉴캣슬병독에 의한 단닌산처리계적혈구의 혈구응집반응

김상열,KIM SANG-YEOL 대한수의사회 1963 대한수의사회지 Vol.7 No.1

Fazekas observed that fowl or human erythrocytes treated with a modifying dose of potassium pe-riodate remained agglutinable by influenza virus tut the adsorbed virus did not elute spontaneously. In this study, chicken erythrocytes treated with the high d

수치해석적인 방법으로 규명한 정렬된 단축이방성 분자들의 질서변수와 상대 복굴절의 준선형 관계식

김상열,Kim, Sang Youl 한국광학회 2016 한국광학회지 Vol.27 No.6

액정과 같은 단축 이방성 분자들의 정렬 정도에 따라 달라지는 복굴절으로부터 상대 복굴절 ${\Delta}n_{rel}$를 구하고 ${\Delta}n_{rel}$과 방향질서변수(orientational order parameter) S의 관계를 탐색하였다. 무질서한 분포를 하고 있는 경우를 포함하여 액정의 정렬정도를 달리 표현할 수 있는 분포함수를 도입하고 이 분포함수를 사용하여 질서변수 S가 0부터 1까지 변하도록 액정분자들의 정렬정도를 달리하며 ${\Delta}n_{rel}$과 S를 수치계산 하였다. 이 계산 결과로부터 s와 ${\Delta}n_{rel}$는 $S=(1+a){\Delta}n_{rel}-a{\Delta}n^2_{rel}$와 같이 준선형적인 관계를 만족하며 a는 $n_o{\frac{{\Delta}n}{4}}$으로 근사할 수 있음을 확인하였다. 또한 복굴절으로부터 Vuks의 방법에 따라 구한 분자분극의 이방성과 Neugebauer의 방법에 따라 구한 분자분극의 이방성이 각각 질서변수 S와 또 다른 준선형 관계식들을 따름을 보였다. The birefringence of distributed, uniaxially anisotropic molecules like liquid crystals is calculated as the degree of ordering is varied. The relation between the normalized birefringence ${\Delta}n_{rel}$ and the orientational order parameter S is investigated. The distribution function, which enables one to monitor the degree of ordering of liquid crystals including randomly distributed ones, is introduced. Using this distribution function, a series of distributed liquid crystals with order parameters ranging from 0 to 1 are generated, and ${\Delta}n_{rel}$ and S of the correspondingly distributed liquid crystals are calculated. Based on the calculated data, it is revealed that ${\Delta}n_{rel}$ and S satisfy the quasi-linear relation of $S=(1+a){\Delta}n_{rel}-a{\Delta}n^2_{rel}$, where a can be approximated as $n_o{\frac{{\Delta}n}{4}}$. The anisotropy of molecular polarizability is also calculated, using the birefringence, and separately following Vuks' method and Neugebauer's method, and it is shown that the relations between S and the molecular-polarizability anisotropy are also quasi-linear.

아파트 난방 문제점과 개선방안

김상열,Kim, S.Y. 대한설비공학회 1994 설비저널 Vol.23 No.1

지속적인 자운영 재배로 논의 화학비료 줄이기

김상열,Kim, Sang-Yeol 전국농업기술자협회 2009 농업기술회보 Vol.46 No.3

In situ 타원법을 사용한 광기록매체용 Ge-Sb-Te 박막의 최적성장조건 연구

김상열,이학철,Kim, Sang-Youl,Li, Xue-Zhe 한국광학회 2003 한국광학회지 Vol.14 No.1

타원법(ellipsometry)을 사용하여 광기록 매체용 Ge$_2$ Sb$_2$ Te$^{5}$ (GST) 박막의 성장과정에 따른 타원상수 Ψ와 $\Delta$를 측정하여. GST 박막의 최적성장조건을 연구하였다. 아르곤기체압력과 DC 출력 그리고 기판의 온도를 변화시키면서 GST 박막을 성장시켰다. 제작된 시료들의 분광타원 데이터를 모델링 분석하여 GST박막의 밀도분포를 구하고 한편으로는 GST 박막이 성장하는 동안 측정한 in situ 타원 성장곡선을 분석하여 박막의 밀도분포의 변화를 추적하였다. 아르곤기체압력이 7 mTorr일 때 박막의 상대적인 밀도분포가 고르게 되었고 DC출력이 증가함에 따라 그리고 기판의 온도가 증가함에 따라 GST 박막의 밀도 균일성은 크게 향상되었다. 주사형전자현미경(SEM)을 사용하여 최적 밀도 균일성을 가지는 성장조건(7 mTorr, 45 W, 15$0^{\circ}C$)에서 제작된 GST 시료가 가장 균일한 구조를 보여줌을 확인하였다. 균일한 밀도 분포를 가지는 GST 박막의 성장조건 확립을 통하여 여러번 기록/재생할 때 광기록 박막의 안정성을 유지하는데 크게 기여할 것이다. The spectroe-ellipsometric constant $\Delta$, Ψ and the ellipsometric growth curves at the wavelength of 632.8 nm are collected. These are critically examined to find out the optimum growth condition of phase change $Ge_2Sb_2Te_5(GST)$ thin films as an optical recording medium. GST films are prepared using DC magnetron sputtering technique, under the selected experimental conditions of Ar gas pressure (5 mTorr, 7 mTorr and 10 mTorr), DC power of sputtering gun (15 W, 30 W and 45 W), and substrate temperature (from room temperature to 18$0^{\circ}C$). Based on the three film model, the density distribution of deposited GST films are obtained versus Ar gas pressure and DC power by analyzing spectro-ellipsometric data. The calculated evolution curves at the wavelength of 632.8 nm, are fit into the in situ observed ones to get information about the evolution of density distribution during film growth. The density distribution showed different evolution curves depending on deposition conditions. The GST films fabricated at DC power of 30 W or 45 W, and at Ar gas pressure of 7 mTorr turned out to be the most homogeneous one out of those prepared at room temperature, even though the maximum density difference between the dense region and the dilute region of the GST film was still significant (~50%). Finally, in order to find the optimum growth condition of homogeneous GST thin films, the substrate temperature is varied while Ar gas pressure is fixed at 7 mTorr and DC power at 30 W and 45 W respectively. A monotonic decrease of void fraction except for a slight increase at 18$0^{\circ}C$ is observed as the substrate temperature increases. Decrease of void fraction indicates an increase of film density and hence an improvement of film homogeneity. The optimum condition of the most homogeneous GST film growth turned out to be 7 mTorr of Ar gas pressure, 15$0^{\circ}C$ of substrate temperature. and 45 W of DC power. The microscopic images obtained using scanning electron microscope, of the samples prepared at the optimum growth condition, confirmed this conclusion. It is believed that the fabrication of homogeneous GST films will be quite beneficial to provide a reliable optical recording medium compatible with repeated write/erase cycles.

부산항 신항 개장 및 운영에 따른 경제적 파급효과 극대화 방안

김상열,문석웅,이영준,이수호,Kim, Sang-Yeol,Mun, Seok-Ung,Lee, Yeong-Jun,Lee, Su-Ho 한국물류협회 2006 물류혁신 컨퍼런스 Vol.14 No.3

단축이방성 배향막이 코팅되어 있는 다층박막시료의 타원식

김상열,Kim, Sang Youl 한국광학회 2013 한국광학회지 Vol.24 No.5

다층박막이 있는 기층에 단축이방성 배향막이 코팅되어 있을 때 비스듬히 입사한 빛의 유효반사계수 표현들을 유도하였다. 유효반사계수들과 타원상수들을 다층박막의 미지상수들은 물론 단축이방성 배향막의 광학이방성의 크기와 광축의 방향 그리고 배향막의 두께로 표현하였다. 이를 바탕으로 배향막의 정상굴절률과 이상굴절률, 배향된 두께 그리고 광축의 방위각과 기울임각을 다층박막의 두께나 조성비 등과 함께 타원법이 가지고 있는 높은 수준의 측정 정밀도를 유지하며 기존의 모델링 분석방법으로 결정할 수 있도록 하였다. The effective reflection coefficients of an obliquely incident wave on a multi-layered substrate coated with a uniaxially anisotropic alignment layer are derived. The effective reflection coefficients as well as explicit ellipsometric expressions are provided as a function of film constants of multiple layers together with magnitude of anisotropy, direction of optic axis, and thickness of the alignment layer. It is expected that by adapting these expressions to the conventional modelling technique, the ordinary refractive index, the extra-ordinary refractive index, the azimuth angle and the tilt angle of the optic axis, and the thickness of the aligned surface can be determined simultaneously together with the thickness and volume fraction of each layer beneath the alignment layer.