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Plasma Etch Damage가 (100) SOI에 미치는 영향의 C-V 특성 분석
조영득,김지홍,조대형,문병무,조원주,정홍배,구상모,Jo, Yeong-Deuk,Kim, Ji-Hong,Cho, Dae-Hyung,Moon, Byung-Moo,Cho, Won-Ju,Chung, Hong-Bay,Koo, Sang-Mo 한국전기전자재료학회 2008 전기전자재료학회논문지 Vol.21 No.8
Metal-oxide-semiconductor (MOS) capacitors were fabricated to investigate the plasma damage caused by reactive ion etching (RIE) on (100) oriented silicon-on-insulator (SOI) substrates. The thickness of the top-gate oxide, SOI, and buried oxide layers were 10 nm, 50 nm, and 100 nm, respectively. The MOS/SOI capacitors with an etch-damaged SOI layer were characterized by capacitance-voltage (C-V) measurements and compared to the sacrificial oxidation treated samples and the reference samples without etching. The measured C-V curves were compared to the numerical results from corresponding 2-dimensional (2-D) structures by using a Silvaco Atlas simulator.
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조영득,이정환 GS&J 인스티튜트 2013 시선집중 GSnJ Vol.- No.167
○ 통계청은 쌀 단수가 작년보다 7.8% 증가하여 생산량은 작년보다 5.8% 증가한 424만톤이 될 것으로 추정하였다. ○ 과거에 9.15 예상 생산량과 실제 생산량과의 차이를 비교하면 실제 생산량이 예상보다 최대 5% 많고, 최소 2% 적은 것으로 나타났으므로 올해 실제 생산량은 416~445만 톤 범위에 있을 것으로 추정할 수 있다. ○ 수확기 가격은 당년 생산량에 영향을 받지만 단경기 기대가격에 더 큰 영향을 받고, 단경기 기대가격은 전년산 계절진폭이 큰 영향을 준다. ○ 작년 수확기 쌀 가격은 17만 3,692/80kg이었으나 이후 쌀 가격이 완만히 상승하여 올 단경기 쌀 가격은 17만 6,418월/80kg인 것으로 나타나 작년산 쌀의 계절진폭률은 1.6%였다. ○ GS&J의 쌀 가격 예측모형 KORIS 2013에 의해 올 수확기 가격을 추정한 결과 앞으로의 작황에 따라 전년 대비 1.5~3.3% 상승한 80kg당 17만 6,300~17만 9,400원이 될 것으로 전망된다. ○ 한편, 내년 단경기 가격은 작황에 따라 80kg당 17만 800원~17만 9,300원이 될 것으로 추정되어, 금년산 쌀은 역계절진폭이 나타날 가능성이 크고 역계절진폭의 크기는 실제 생산량에 따라 최대 5,500원(3.1%) 정도가 될 것으로 전망되었다. ○ 올 10월 5일 산지 쌀 가격은 80kg당 18만 3,560원으로 작년 동일보다 4.5% 높았으나 15일에는 17만 7,200원으로 떨어졌다. ○ 앞으로 수확기 가격이 더 하락한다면 역계절진폭은 줄어들지만 반대로 더 높아진다면 역계절진폭은 더 커질 것이므로 농가나 RPC 등은 매매결정에 신중을 기해야 할 것으로 생각된다.
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조영득,이정환 GS&J 인스티튜트 2013 시선집중 GSnJ Vol.- No.163
○ 한우가격이 폭락하였다고 하지만 2011년 초 이후 도매가격은 하락하지 않았으므로 한우가격 폭락은 암송아지와 산지 암소가격이 대폭 하락한데 있다. ○ 암송아지 가격이 폭락한 것은 송아지 생산두수가 증가하였기 때문이 아니라 미래에 대한 불안감으로 송아지 입식수요가 냉각된데 있고, 산지 암소가격이 하락한 것은 암소 사육두수 증가보다 암소 도축률이 급상승했기 때문이다. ○ 최근 2년여 간 도매가격이 하락하지 않은 것은 한우고기 수요증가와 저수지 효과에 의한 수소 도축두수 감소 때문인데, 이 두 가지 요인이 소멸됨에 따라 올 추석이후 도매가격이 하락할 가능성이 높으나 수산물 소비기피가 변수가 될 것이다. ○ 송아지 가격 하락으로 번식농가의 채산성이 악화되자 번식농가의 대량이탈이 진행된 반면 거세우 가격은 소폭 상승하여 비육농가는 규모를 확대하는 파행이 진행되어 앞으로 송아지 수급에 큰 문제를 야기할 수 있다. ○ 이미 송아지 생산두수와 암소사육두수는 감소가 진행 중인 가운데 인공수정률 추세치는 낮아지고 암소 도축률은 계속 상승하고 있다. ○ 따라서 올 하반기 이후 암소 감소 추세가 더욱 가속되어 2017년경에는 가임암소두수가 80만두 수준으로 감소하고 한우가격이 급등하는 대 역습이 있을 수 있다. ○ 이러한 경착률를 완화하려면 현재의 암소도축 증가 추세를 진정시켜 가임 암소두수의 과도한 감소를 억제하는 제동장치의 작동이 필요하므로 2012년 초 이후 사실상 중단된 송아지 생산안정제를 부활시켜야 한다. ○ 또한 재가동된 송아지생산안정제의 운영 방법은 인공수정률 감소 추세와 암소 도축률 증가 추세, 그리고 동 제도의 시행 효과가 나타나는 1년 후부터는 송아지 생산두수 추세를 분석하여 보전기준가격 조정하도록 개선해야 한다.
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조영득,이정환 GS&J 인스티튜트 2013 시선집중 GSnJ Vol.- No.157
○ 2011년 한우 사육두수가 290만두 수준으로 늘어난 데다 2012년 송아지생산안정제가 사실상 중단되자 번식농가의 미래에 대한 불안감이 팽창하여, 암송아지 입식수요는 냉각되고 암소도축은 급격히 늘어났다. ○ 따라서 최근 2년 사이 암송아지 가격과 산지 암소가격은 각각 56%, 22%나 폭락하였고, 이런 폭락세가 다시 번식농가의 불안감을 높여 인공수정률 감소와 암소도축 증가를 부추겼다. ○ 그 결과 2011년 3/4분기부터 송아지 생산두수는 전년 동기대비 감소하기 시작하여 올 1/4분기에는 27.1%나 감소하였고, 올 3월 암소 사육두수도 전년 동기보다 2.2% 감소하였다. ○ 반면 지난 2년 동안 도매가격은 전혀 하락하지 않아 산지 수소가격은 8% 하락하는데 머물렀고 거세우 가격은 도리어 4% 정도 상승한 것으로 추정된다. ○ 그 결과 비육농가는 수소, 특히 거세우 사육두수를 계속 늘려 올 3월 한우 총 사육두수는 1년 전보다 7만두 증가하였다. ○ 한편, 암소 도축두수가 작년 5월에서 올 3월까지 전년 동기대비 22∼54% 늘었음에도 도매가격이 하락하지 않은 것은 거세우 비육 증가로 수소 출하(도축)가 지연되어 총 도축두수 증가율이 낮아졌기 때문이다. ○ 그러나 다시 거세비율은 하락하고 수소 도축두수가 증가세로 전환될 것이므로, 암소도축 증가세와 맞물리면 올해 중 한우 도매가격이 큰 폭으로 하락하고 한우산업 불안감이 최고조에 이를 가능성이 높다. ○ 번식농가의 암소 사육의향이 극도로 냉각되었고 인공수정률 추세치는 계속 하락하고 있어, 내년까지 암소 도축두수는 더욱 증가하고 송아지 생산두수는 급격히 감소할 것으로 전망된다. ○ 그 결과 가임 암소두수는 올 3월에 120만두에서 12월에 113만두로 감소하고 내년 12월에는 107만두, 2015년 12월에는 98만두로 감소할 것으로 전망된다. ○ 암소 사육두수 감소가 생물학적 관성으로 당분간 지속될 것으로 보여 가임 암소두수가 2017년에는 80만두 수준까지 감소할 가능성도 있다.
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한우산업의 반전: 송아지 생산은 급감, 입식의향은 급상승
조영득,이정환 GS&J 인스티튜트 2014 시선집중 GSnJ Vol.- No.172
○ 한우 암송아지 가격은 작년 6월에 두당 66만원까지 하락했으나 최근 120만원으로 8개월 사이에 83%, 수송아지 가격도 작년 동기에 비해 41% 상승하는 등 송아지 가격이 빠른 회복세를 보이고 있다. ○ 이러한 가격상승에 따라 인공수정률이 작년 8월 이후 상승하고 있고, 암소도축 두수도 작년 11월부터 감소하는 등 번식의향이 회복되고 있으나, 가임암소 두수가 전년 동기보다 4∼5% 적고 출산율도 낮아져 송아지 생산두수는 전년 동기보다 6?8월에는 17.5%, 9?11월에는 13%나 감소하였다. ○ 그런데 이미 작년 12월에 1세 미만 암소두수가 전년 동기에 비해 14.5% 적었던 데다 송아지 생산두수가 13%나 감소하였으므로 앞으로 상당 기간 가임암소 두수는 더욱 빠르게 감소할 수밖에 없을 것이다. ○ 따라서 2015년 12월까지 1세 미만 암소 사육두수는 작년 12월보다 10% 감소한 33만두, 가임암소 두수는 8% 감소한 107만두, 총 사육두수는 11% 감소한 250만두가 될 것으로 전망된다. ○ 송아지 생산두수가 계속 감소하고 있는데 암송아지 입식의향은 빠르게 상승하고 있으므로 송아지, 특히 암송아지 가격이 지속적으로 상승할 전망이며, 입식의향이 자칫 과열되면 암송아지 가격이 폭등하고 암소도축이 급감하여 또 다른 파동으로 이어질 우려가 있다. ○ 12월 한우 도축두수가 전년 동기 대비 16%나 늘어났음에도 도매가격은 12% 상승할 만큼 수산물 대체수요가 증가하고 있는데, 암소도축 두수가 급감하면 한우고기 도매가격이 상승하여 송아지 입식수요를 더욱 자극하게 될 것이다. ○ 따라서 한우농가들은 앞으로 시장상황 분석에 더욱 주의를 집중하여 암송아지 입식을 결정해야 하고, 정부의 섣부른 정책변화는 도리어 시장을 과열시키는 역기능을 나타낼 우려가 있음에 유의하여 시장상황 분석에 주목하면서 신중한 결정을 해야 한다.
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조영득,방욱,김상철,김남균,구상모,Jo, Yeong-Deuk,Bahng, Wook,Kim, Sang-Cheol,Kim, Nam-Kyun,Koo, Sang-Mo 한국전기전자재료학회 2009 전기전자재료학회논문지 Vol.22 No.8
The local oxidation using an atomic force microscopy (AFM) is useful for Si-based fabrication of nanoscale structures and devices. SiC is a wide band-gap material that has advantages such as high-power, high-temperature and high-frequency in applications, and among several SiC polytypes, 4H-SiC is the most attractive polytype due to the high electron mobility. However, the AFM local oxidation of 4H-SiC for fabrication is still difficult, mainly due to the physical hardness and chemical inactivity of SiC. In this paper, we investigated the local oxidation of 4H-SiC surface using an AFM. We fabricated oxide patterns using a contact mode AFM with a Pt/Ir-coated Si tip (N-type, 0.01-0.025 ${\Omega}cm$) at room temperature, and the relative humidity ranged from 40 to 50 %. The height of the fabricated oxide pattern (1-3 nm) on SiC is similar to that of typically obtained on Si ($10^{15}^{\sim}10^{17}$ $cm^{-3}$). We perform the 2-D simulation to further analyze the electric field between the tip and the surface. We demonstrated that a specific electric field (4 ${\times}$ $10^7\;V/m$) and a doping concentration ($^{\sim}10^{17}$ $cm^{-3}$) is sufficient to switch on/off the growth of the local oxide on SiC.
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