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임홍재(Hong Jae Yim),이정석(Jung Suk Lee),이성훈(Sung Hoon Lee),정재일(Jay I. Jeong) 한국소음진동공학회 2010 한국소음진동공학회 논문집 Vol.20 No.4
In this study, a modeling process of a 3-axis planar alignment stage is suggested. Vibration tests using a laser vibro-meter is performed to find the modeling parameters of the stage. By analyzing the result of the test, the stiffness of prismatic joints and revolute joints, as well as the contact conditions of the thrust bearings, can be calculated. The modeling of the stage was validated by comparing six normal mode shapes, which are acquired from experiments and simulations.
임홍재(Hong Jae Yim),주재환(Jae Hwan Ju),성상준(Sang Jun Sung),장시열(Si Youl Jang),이기성(Kee Sung Lee),신동훈(Dong Hoon Shin),정재일(Jae Il Jeong),임시형(Si hyung Lim) 대한기계학회 2007 대한기계학회 춘추학술대회 Vol.2007 No.5
This paper presents a virtual machine design simulation program. Kinematics of various mechanisms can be modeled with 3 dimensional geometry and actuators. CAD data for any machine component can be easily imported in STL format. Machine components are assembled with kinematic joints simply by drag and drop function in virtual graphic simulator. Interference and collision of any component with other components can be identified during the motion simulation. Graphic user interface program is developed using Microsoft Direct X code. A precision micro stage system is demonstrated with the proposed virtual machine design simulator.
서로 다른 레진 두께를 갖는 유리/레진/유리 샌드위치 구조의 파괴거동
박재홍(Jae-Hong Park),이유진(Eugene Lee),김태우(Tae Woo Kim),임홍재(Hong Jae Yim),이기성(Kee Sung Lee) 대한기계학회 2010 大韓機械學會論文集A Vol.34 No.12
유리/레진/유리의 샌드위치 구조는 자동차, 바이오, 디스플레이 산업 등에서 이미 상용화되고 있는 구조이다. 이러한 유리/레진/유리의 샌드위치 구조는 최근 반도체, MEMS분야 등에서 대량생산기술로 관심을 일으키고 있는 임프린트 리소그래피 공정에서도 다루어지고 있다. 나노 임프린트 공정 기술은 몰드의 마이크로, 나노패턴을 기판에 반복적으로 전사함으로써 반도체 제조공정에서 5나노미터(㎚) 이하의 선폭까지 구현할 수 있는 기술이다. 이 과정에서 사용되는 레진은 패터닝된 몰드에 의해 변형되고 UV(Ultraviolet rays)에 의해 경화되어 패턴의 전사과정을 거친다. 이 때 몰드와 기판의 이형거동은 나노 단위의 정밀한 정렬과 공정의 생산성과 직결된다. 따라서 본 연구에서는 4점 굽힘 실험을 통해 유리/레진/유리 구조의 굽힘 강도를 측정하였고, 특히 이 과정에서 계면해방률을 도출함으로써 나노 임프린트 공정 시 몰드와 레진 층의 이형거동을 기계적 측면에서 고찰하였다. Glass/resin/glass laminate structures are used in the automobile, biological, and display industries. The sandwich structures are used in the micro/nanoimprint process to fabricate a variety of functional components and devices in fields such as display, optics, MEMS, and bioindustry. In the process, micrometer- or nanometer-scale patterns are transferred onto the substrate using UV curing resins. The demodling process has an important impact on productivity. In this study, we investigated the fracture behavior of glass/resin/glass laminates fabricated via UV curing. We performed measurements of the adhesion force and the interfacial energy between the mold and resin materials using the four-point flexural test. The bending-test measurements and the load-displacement curves of the laminates indicate that the fracture behavior is influenced by the interfacial energy between the mold and resin and the resin thickness.