http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
투명 전도성 산화물 전극으로의 응용을 위한 산화아연(ZnO) 코팅막의 습식 식각 특성연구
유동근,김명화,정성훈,부진효,Yoo, Dong-Geun,Kim, Myoung-Hwa,Jeong, Seong-Hun,Boo, Jin-Hyo 한국진공학회 2008 Applied Science and Convergence Technology Vol.17 No.1
투명 전도성 산화물 전극(transparent conductive oxide electrodes)에 적용하기 위하여 RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 유리 기판 위에 산화아연 박막을 증착하였다. 투명 전극으로써 응용되기 위한 최적의 조건으로 기판온도를 상온으로 유지하고 RF power 200 W, 타겟과 기판사이의 거리(Dts)가 30 mm일 때 증착된 산화아연 박막으로부터 가장 낮은 비 저항값($7.4{\times}10^{-3}{\Omega}cm$)을 얻어 낼 수 있었으며, 85% 이상의 높은 투과율을 만족하는 박막을 얻을 수 있었다. 실질적인 소자로써의 응용을 위해 photo lithography를 통한 pattern을 형성, 습식 식각을 통하여 그 특성을 알아보고자 하였다. 습식 식각에서 사용된 식각용액(etchant)으로는 다양한 산 용액(황산, 옥살산, 인산)을 사용하였으며, 산의 농도 변화에 따른 식각특성과 식각시간 및 식각 이미지(표면형상)의 변화를 알아보았다. 결과적으로 산화아연의 습식식각은 산의 종류와 무관하게 산 용액의 농도(즉, pH)에 크게 의존하며, pH가 증가함에 따라 식각율이 지수함수적으로 감소하고 아울러 다양한 식각 이미지가 나타남을 최초로 고찰할 수 있었다. In order to apply for transparent conductive oxide(TCO), we deposited ZnO thin films on the glass at room temperature by RF magnetron sputtering method. Deposition conditions for high transmittance and low resistivity were optimized in our previous studies. Under the deposition condition with the RF power of 200 W, target to substrate distance of 30 mm and working pressure of 5 mTorr, highly conductive($7.4{\times}10^{-3}{\Omega}cm$) and transparent(over 85%) ZnO films were prepared. Highly oriented ZnO film in the [002] direction were obtained with specifically designed ZnO targets. Systematic study on dependence of deposition parameters on electrical and optical properties of the as-grown ZnO films were mainly investigated in this work. And for application tests using these films as transparent conductive oxide anodes, wet chemical etching behaviors of ZnO films were also investigated using various chemicals. Wet-chemical etching behavior of ZnO films were investigated using various acid solutions. The concentrations of these different acid solutions were controlled to study the etching shapes and etching rate. ZnO films were anisotropically etched at various concentrations and wet etching led to crater-like surface structure. Also we firstly found that the etching rate and etching shapes of ZnO films strongly depended on the etchant concentrations (i.e. pH) and the etching rate is exponentially decreased with increasing pH values regardless of the acid etchants.
한국 남동해역 홀로세 해침퇴적층의 탄성파층서 및 퇴적역사
유동근,김성필,이치원,박수철,Yoo, Dong-Geun,Kim, Seong-Pil,Lee, Chi-Won,Park, Soo-Chul 대한자원환경지질학회 2011 자원환경지질 Vol.44 No.4
한국남동해역에서 취득된 탄성파 탐사자료의 분석에 의하면 연구해역에 분포하는 홀로세 해침퇴적층은 육지쪽으로 향하면서 후퇴퇴적층서를 보여주는 5개의 퇴적단위로 구성 된다. 대륙붕단을 따라 길게 발달하는 퇴적단위 I은 홀로세 해침초기에 연안환경 하에서 형성된 고해빈/연안퇴적층에 해당된다. 해침이 진행되는 동안 고수로는 하성 혹은 연안퇴적물에 의해 충진 되기 시작하였으며 대륙붕을 가로질러 분포하는 퇴적단위 II인 수로충진퇴적층을 형성하였다. 해침이 진행되면서 기존 퇴적층의 침식 및 재동에 의한 박층의 사질퇴적물이 퇴적되었으며 중간대륙붕에 넓게 분포하는 퇴적단위 III를 형성하였다. 해침중기 동안 현해수면수심 70-80 m 수준에서 해수면 상승속도가 둔화 내지 정체되면서 퇴적단위 IV를 구성하는 사퇴퇴적체가 생성되었다. 내대륙붕에 분포하는 퇴적단위 V는 해침 중기 및 후기에 하구환경 하에서 퇴적된 염하구퇴적단위에 해당된다. 상기특정을 갖는 해침퇴적체의 형성은 해침 기간 동안 상대적 해수면 상승 속도, 퇴적물 공급 및 시기에 따른 해양 퇴적기작의 상호 영향에 의해 조절되었다. Analysis of high-resolution seismic profiles from the southeastern continental shelf of Korea reveals that the Holocene transgressive deposits consist of five sedimentary units characterized by retrograding or backstepping depositional arrangements. Unit I, forming a linear sediment body along the shelf margin, is an ancient beach/shoreface deposit formed during the early stage of transgression. During the transgression, the paleo-channels were backfilled with fluvial or coastal-plain sediments, forming Unit II as an incised-channel fill deposit. The near-surface sediment was reworked and eroded by shoreface erosion, forming a thin lag of sands (Unit III) on the midshelf. During the middle stage of the transgression, the shoreline may have stabilized at around 70 - 80 m below the present sea level for some period of time to allow the formation of sand ridge systems (Unit IV). Unit V in the inner shelf was deposited in an estuarine environment during the middle to late stage of transgression. Such transgressive stratigraphic architecture is controlled by a function of lateral changes in the balance among rates of relative sea-level rise, sediment input and marine processes at any given time.
한국 남동해역 대륙붕 후 제4기 해침퇴적층서 및 퇴적역사
유동근 ( Dong Geun Yoo ),이치원 ( Chi Won Lee ),김성필 ( Seong Pil Kim ),박수철 ( Soo Chul Park ) 한국지구물리·물리탐사학회 2010 지구물리와 물리탐사 Vol.13 No.4
Analysis of high-resolution seismic profiles acquired from the southeastern continental shelf of Korea reveals that the late Quaternary transgressive deposits consist of six seismic units created in response to sea-level rise. These units with different seismic facies and geometry can be grouped into two distinct depositional wedges (paralic and marine) bounded by a ravinement surface. The paralic component underlying the ravinement surface consists of the sediment preserved from shoreface erosion and contains incised-chaimel fill, ancient beach-shoreface deposit and estuarine deposit. The top of paralic unit is truncated by a ravinement surface and overlain by marine component. The marine component consists of the sediment produced through shoreface erosion during landward transgression and contains mid-shelf sand sheet, mid-shelf sand ridge and inner shelf sand sheet. Such transgressive stratigraphic architecture of six sedimentary units is controlled by a function of lateral changes in the balance among rates of relative sea-level rise, sediment input and marine processes at any given time.