http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
Ag/α-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 촉매상에서의 에틸렌 부분산화반응에 미치는 흡착산소종의 영향
백충훈,이상기,여종기,이호인,Baik, Choong-Hoon,Lee, Sang-Gi,Yeo, Jong-Kee,Lee, Ho-In 한국공업화학회 1994 공업화학 Vol.5 No.4
Partial oxidation of ethylene over 10wt% $Ag/{\alpha}-Al_2O_3$ catalyst was studied with a pulse reactor which was connected directly to a G. C. When ethylene was injected after oxygen injection at the temperature where molecular adsorption of oxygen is difficult ethylene oxide was evolved. From the results, it is suggested that adsorbed atomic oxygen is related with the evolution of ethylene oxide. The selectivity to ethylene oxide decreased with the decrease of the amounts of adsorbed oxygen and bulk oxygen. Ethylene oxide was either decomposed to ethylene and adsorbed oxygen or isomerized to acetaldehyde. However, the isomerization of ethylene oxide to acetaldehyde was strongly suppressed by the preadsorbed oxygen. 기체크로마토그래프에 직접 연결한 펄스 반응장치를 이용하여 10wt% $Ag/{\alpha}-Al_2O_3$ 촉매상에서 에틸렌 부분산화반응을 수행하였다. 산소가 분자흡착상태로 존재하기 어려운 실험온도에서 산소를 주입한 후 에틸렌을 주입하였을 때 산화에틸렌이 발생하였으며, 이 결과로부터 원자상태의 흡착산소가 산화에틸렌 생성에 관여함을 알 수 있었다. 흡착산소량과 몸체산소량을 감소시키면 산화에틸렌의 선택도는 감소하였다. 생성된 산화에틸렌은 에틸렌과 흡착산소로 분해되거나 아세트알데히드로 이성질화되었으나, 아세트알데히드로의 이성질화반응은 먼저 흡착된 산소에 의해서 크게 억제되었다.
Ag / α- Al2O3 촉매상에서의 에틸렌 부분산화반응에 미치는 흡착산소종의 영향
백충훈,이상기,여종기,이호인 ( Choong Hoon Baik,Sang Gi Lee,Jong Kee Yeo,Ho In Lee ) 한국공업화학회 1994 공업화학 Vol.5 No.4
기체크로마토그래프에 직접 연결한 펄스 반응장치를 이용하여 10wt% Ag/α-Al₂O₃ 촉매상에서 에틸렌 부분산화반응을 수행하였다. 산소가 분자흡착상태로 존재하기 어려운 실험온도에서 산소를 주입한 후 에틸렌을 주입하였을 때 산화에틸렌이 발생하였으며, 이 결과로부터 원자상태의 흡착산소가 산화에틸렌 생성에 관여함을 알 수 있었다. 흡착산소량과 몸체산소량을 감소시키면 산화에틸렌의 선택도는 감소하였다. 생성된 산화에틸렌은 에틸렌과 흡착산소로 분해되거나 아세트알데히드로 이성질화되었으나, 아세트알데히드로의 이성질화반응은 먼저 흡착된 산소에 의해서 크게 억제되었다. Partial oxidation of ethylene over 10wt% Ag/α-Al₂O₃ catalyst was studied with a pulse reactor which was connected directly to a G. C. When ethylene was injected after oxygen injection at the temperature where molecular adsorption of oxygen is difficult, ethylene oxide was evolved. From the results, it is suggested that adsorbed atomic oxygen is related with the evolution of ethylene oxide. The selectivity to ethylene oxide decreased with the decrease of the amounts of adsorbed oxygen and bulk oxygen. Ethylene oxide was either decomposed to ethylene and adsorbed oxygen or isomerized to acetaldehyde. However, the isomerization of ethylene oxide to acetaldehyde was strongly suppressed by the preadsorbed oxygen.
김수길,강민철,구효철,조성기,김재정,여종기,Kim, Soo-Kil,Kang, Min-Cheol,Koo, Hyo-Chol,Cho, Sung-Ki,Kim, Jae-Jeong,Yeo, Jong-Kee 한국전기화학회 2007 한국전기화학회지 Vol.10 No.2
반도체 소자의 고속화, 고집적화, 고신뢰성화에 대한 요구는 알루미늄 합금으로부터 구리로의 배선 물질의 변화를 유도하였다. 낮은 비저항과 높은 내열화성을 특징으로 하는 구리는 그 전기적, 재료적 특성이 알루미늄과 상이하여 배선 형성에 있어 새로운 주변 재료와 공법을 필요로 한다. 본 총설에서는 상감공정(damascene process)을 사용하는 다층 구리 배선 공정에 있어 핵심이 되는 구리 전해 도금(electrodeposition) 공정을 중심으로 확산 방지막(diffusion barrier) 및 도전층(seed layer), 바닥 차오름(bottom-up filling)을 위한 전해/무전해 도금용 유기 첨가제, 화학적 기계적 평탄화(chemical mechanical polishing) 및 표면 보호막(capping layer) 기술 등의 금속화 공정에 대한 개요와 개발 이슈를 소개하고 최근의 연구 결과를 통해 구리 배선 공정의 최신 연구 동향을 소개하였다. The transition of interconnection metal from aluminum alloy to copper has been introduced to meet the requirements of high speed, ultra-large scale integration, and high reliability of the semiconductor device. Since copper, which has low electrical resistivity and high resistance to degradation, has different electrical and material characteristics compared to aluminum alloy, new related materials and processes are needed to successfully fabricate the copper interconnection. In this review, some important factors of multilevel copper damascene process have been surveyed such as diffusion barrier, seed layer, organic additives for bottom-up electro/electroless deposition, chemical mechanical polishing, and capping layer to introduce the related issues and recent research trends on them.