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안승준,김대욱,김영철,안성준,김영정,김호섭,Ahn S,Kim D. W,Kim Y. C,Ahn S. J,Kim Y. J,Kim H. S 한국재료학회 2004 한국재료학회지 Vol.14 No.3
An electron beam microcolumn composed of an electron emitter, micro lenses, scan deflector, and focus lenses have been fabricated and tested in the STEM mode. In this paper, we report a technique of precisely aligning the electron lenses by the laser diffraction patterns instead of the conventional alignment method based on aligner and STM. STEM images of a standard Cu-grid were observed using a fabricated microcolumn under both the retarding and accelerating modes.
WSi<sub>2</sub> word-line 및 bit-line용 spacer-Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub> 박막의 증착
안승준,김대욱,김종해,안성준,김영정,김호섭,Ahn S.,Kim D.W.,Kim J.H,Ahn S.J.,Kim Y.J.,Kim H.S. 한국재료학회 2004 한국재료학회지 Vol.14 No.6
$WSi_2$, $TiSi_2$, $CoSi_2$, and $TaSi_2$ are general silicides used today in semiconductor devices. $WSi_2$ thin films have been proposed, studied and used recently in CMOS technology extensively to reduce sheet resistance of polysilicon and $n^{+}$ region. However, there are several serious problems encountered because $WSi_2$ is oxidized and forms a native oxide layer at the interface between $WSi_2$ and $Si_3$$N_4$. In this study, we have introduced 20 $slm-N_2$ gas from top to bottom of the furnace in order to control native oxide films between $WSi_2$ and $Si_3$$N_4$ film. In resulting SEM photographs, we have observed that the native oxide films at the surface of $WSi_2$ film are removed using the long injector system.
Piezo Q - Switched Nd : YAG 레이저에 의한 초미니 전자빔 장치용 Micron - Size Aperture의 레이저 미세가공
안승준(S. J. Ahn),김대욱(D. W. Kim),김호섭(H. S. Kim),최성수(S. S. Choi) 한국진공학회(ASCT) 1999 Applied Science and Convergence Technology Vol.8 No.4(1)
Piezo 방법으로 Q-switched Nd:YAG 레이저를 이용하여 Mo diaphragm을 미세가공하였다. 최근에 이르러 전자빔 리소그라피 분야와 portable 미니 scanning electron microscope (SEM) 분야에 소형화된 전자총 array의 적용이 폭넓게 조사되고 있다. 일반적으로 전자빔 장치제작 기술은 수차를 최소화하는데 있다. 본 연구에서는 piezo Q-switched Nd:YAG 레이저를 이용하여 Mo diaphragm을 미세가공하여 20~30 ㎛의 aperture를 얻었다. Aperture의 정교함과 직경의 크기는 레이저 빔의 에너지, 펄스 폭, 빔의 spot 크기, 그리고 가공물질의 성질에 의존됨을 알았다. Experimental studies of laser micromachining on Mo diaphragm using piezo Q-switched Nd:YAG laser have been performed. Application of miniaturized microcolumn electron gun arrays as a potential electron beam lithography or portable mini-scanning electron microscope (SEM) application have recently extensively examined. The conventional microcolumn fabrication technique would give a limitation on the minimization of aberration. In this paper, we obtained 20~30 ㎛ aperture of laser micro machining on Mo diaphragm using piezo Q-switched Nd:YAG laser. The geometrical figures, such as the diameter and the preciseness of the drilled aperture are dependent upon the total energy of the laser pulse train, laser pulse width, and the diameter of laser spot in addition to the materials-dependent parameters.
접지품질 개선을 위한 접지저항 최적화 및 접지충진제의 전기적 특성 연구
박철근(Park Chul-Geun),안성준(Ahn Seong-Joon),우제욱(Woo, J.W.),안수준(Ahn, S.J.),유용정(Yu, Y.J.),안승준(Ahn Seung-Joon) 한국산학기술학회 2006 한국산학기술학회논문지 Vol.7 No.6
시설물이나 장비로 surge wave가 유입되는 것을 방지하기 위해서는 접지시스템의 접지저항을 수 Ω 정도로 낮추어야 하지만 시공비를 낮추기 위하여 적절한 접지저항 값을 결정하는 것이 중요한 문제이다. 본 연구에서는 접지 저항 simulator를 이용하여 최적화된 경제적 접지저항(임피던스) 값을 설정하였으며 수용성 알칼리족 원소와 활성탄소를 주성분으로 하는 새로운 접지충진제를 개발하여 접지품질을 개선하기 위한 전기적 특성을 평가하였다. In earthing technologies, the intrusion of the surge wave can be protected when the earthing resistance is as low as several ohms. However, the cost for realizing such a low resistance is quite high. Therefore it is important to determine appropriate target value of the earthing resistance to install cost-effective grounding system. In this work, we have proposed an optimization method of the earthing resistance according to the various environmental parameters by using a numerical simulator. We have also developed new catalyst composed of water-soluble alkaline elements and activated carbon and investigated its electrical characteristics for enhancement of the earthing qualities.
Effect of Laser Annealing on Permeability Spectra in Co-based Amorphous Ribbon
안승준 선문대학교 자연과학대학 1998 자연과학대학 논문집 Vol.1 No.-
Co-based 비정질 리본을 펄스형 Nd:YAG 레이저의 에너지, E_(a)를 변화 시키면서 열처리하여 투자율과 relaxation frequency의 변화를 연구하였다. 복소 투자율 분광선은 열처리 에너지에 따라 민감하게 변하였다. 이 분광선을 자구회전에 의한 자화와 μ_(rot)(f)자벽이동에 의한 자화, μ_(dw)(f)로 분리할 수 있었다. 투자율의 크기는 자벽이동과 자구회전 모두 열처리 에너지가 176 mJ일 때 최대값을 나타냈다. 그리고 자구회전과 자벽 이동에서 relaxation frequency의 최대값은 각각 E_(a)=62 mJ에서 700 kHz, 230 mJ에서 26 kHz로 나타났다. 이런 변화는 레이저 열처리에 의해 시료의 magnetic softness와 내부 미세구조의 변화되었음을 반영한다. We investigated the variation of permeability spectra and relaxation frequency in Co-based amorphous ribbon annealed by pulsed Nd:YAG laser at various annealing energy, E_(a). The complex permeability spectra varied sensitively with the annealing energy, where the spectra could be decomposed into two contributions from domain wall motion, μ_(dw)(f) and rotational magnetization, μ_(rot)(f) by analyzing the measured spectra as a function of driving ac field amplitude. The magnitude of μ_(dw)(f) and μ_(rot)(f) in dc limit showed maximum at E_(a)=176 mJ. The maximum relaxation frequency for rotational magnetization, determined by μ"(f) curve, is about 700 kHz at E_(a)=62 mJ but that for wall motion is about 26 kHz at 230 mJ. These variations reflected the increase of magnetic softness and microstructural change by the annealing.
초미니 전자빔 장치를 위한 Micron-Size Aperture의 레이저 미세가공
안승준 선문대학교 자연과학대학 1999 자연과학대학 논문집 Vol.2 No.-
Piezo 방법으로 Q-switched Nd:YAG 레이저를 이용하여 Mo diaphragm을 미세가공하였다. 최근에 이르러 전자빔 리소그라피 분야와 portable 미니 scanning electron microscope (SEM) 분야에 소형화된 전차총 array의 적용이 폭넓게 조사되고 있다. 일반적으로 전가빔 장치제작 기술은 수차를 최소화하는데 있다. 본 연구에서는 piezo Q-switched Nd:YAG 레이저를 이용하여 Mo diaphragm을 미세가공하여 20-30μm의 aperture를 얻었다. Aperture의 정교함과 직경의 크기는 레이저빔의 에너지, 펄스 폭, 빔의 spot 크기, 그리고 가공물질의 성질에 의존됨을 알았다. Experimental studies of laser micromachining on Mo diaphragm using piezo Q-switched Nd:YAG laser have been performed. Application of miniaturized microcolumn electron gun arrays as a potential electron beam lithography or portable mini-scanning electron microscope (SEM) application have recently extensively examined. The conventional microcolumn fabrication technique would give a limitation on the minimization of aberration. In this paper, we obtained 20-30μm aperture of laser micromachining on Mo diaphragm using piezo Q-switched Nd:YAG laser. The geometrical figures, such as the diameter and the preciseness of the drilled aperture are dependent upon the total energy of the laser pulse train, laser pulse width, and the diameter of laser spot in addition to the materials-dependent parameters.
Annealing Effect of Magnetostriction in Fe_(49)Co_(49)V_(2) Alloy
안승준 선문대학교 자연과학대학 1998 자연과학대학 논문집 Vol.1 No.-
자왜현상은 강자성 물질의 자기탄성에 기인된 것인데 물질의 소자상태와 자기유도에 의해 변형이 일어났을 때 길이에 대한 차이로 정의된다. Fe_(49)Co_(49)V_(2) 합금을 500, 750, 800, 900 ℃의 furnace에서 열처리한 후 공기 중에서 냉각하여 sample을 제작하였다. Sample의 열처리 온도가 증가됨에 따라 grain size도 증가되었다. 900℃ 서 열처리한 sample에 자기장의 세기를 60 Oe로 인가하여 자왜를 측정한 결과 2x10^(-6) 에서 38 x10^(-6)권까지 증가하였다. 본 연구에서는 레이저 간섭계를 이용하여 열처리된 Fe_(49)Co_(49)V_(2) 합금의 자왜를 측정하여 물질의 구조적 변형에 대하여 논의하였다. Magnetostriction arises from the magnetoelastic properties of ferromagnetic material and is given by the difference between the averages strain at a given induction and that at the demagnetized state. A Fe_(49)Co_(49)V_(2) alloy is annealed in thermal annealing furnace at 500, 750, 800, 900 ℃. Annealed samples has been cooled in air conditions. As the annealing temperature of the samples increases, the grain size of texture in samples also increases. Magnetostriction of 2 x 10^(-6) at H=60 Oe increases up to 38 x10^(-6) annealing temperature of 900 ℃. In this paper, the magnetostriction of the annealed Fe_(49)Co_(49)V_(2) have been investigated using a laser interferometer and discussed in terms of the structural modification.
Laser Annealing Effect of Giant Magneto-Impedance in Amorphous Co_66Fe_4NiB_14Si_15 Ribbon
Ahn, S. J. 선문대학교 ·중소기업기술지원연구소 1999 선문공대 연구/기술 논문집 Vol.4 No.1
펄스형 Nd:YAG 레이저에 의한 비정질 Co_66Fe_4Ni_1B_14Si_l5 ribbon의 자기 임피던스는 레이저의 열처리 에너지에 따라 민감하게 변하며 횡 투자율의 field 의존성을 결정하는 비둥방성 field의 변화를 초래한다. 자기 임피던스를 측정, 분석하여 비둥방성 field에 의한 자기 softness와 레이저 열처리에 의한 미세구조의 변화에 대하여 논의하였다. The magneto-impedance (MI) profiles of Co_66Fe_4Ni_1B_14Si_l5 amorphous ribbon varied sensitively with the annealing energy of the pulsed Nd:YAG laser, reflecting the change of anisotropy field determining the field dependence of transverse permeability. The effective anisotropy fields evaluated from the analysis of the measured Ml profiles were discussed in terms of the increase of magnetic softness and microstructural change by the laser annealing.