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결정질 실리콘 태양전지를 위한 PA-ALD Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 막의 패시베이션 효과 향상 연구
송세영,강민구,송희은,장효식,Song, Se Young,Kang, Min Gu,Song, Hee-Eun,Chang, Hyo Sik 한국전기전자재료학회 2013 전기전자재료학회논문지 Vol.26 No.10
Aluminum oxide($Al_2O_3$) film deposited by atomic layer deposition (ALD) is known to supply excellent surface passivation properties on crystalline Si surfaces. Since $Al_2O_3$ has fixed negative charge, it forms effective surface passivation by field effect passivation on the rear side in p-type silicon solar cell. However, $Al_2O_3$ layer formed by ALD process needs very long process time, which is not applicable in mass production of silicon solar cells. In this paper, plasma-assisted ALD(PA-ALD) was applied to form $Al_2O_3$ to reduce the process time. $Al_2O_3$ synthesized by ALD on c-Si (100) wafers contains a very thin interfacial $SiO_2$ layer, which was confirmed by FTIR and TEM. To improve passivation quality of $Al_2O_3$ layer, the deposition temperature was changed in range of $150{\sim}350^{\circ}C$, then the annealing temperature and time were varied. As a result, the silicon wafer with aluminum oxide film formed in $250^{\circ}C$, $400^{\circ}C$ and 10 min for the deposition temperature, the annealing temperature and time, respectively, showed the best lifetime of 1.6ms. We also observed blistering with nanometer size during firing of $Al_2O_3$ deposited on p-type silicon.
작업기억용량 및 신호대잡음비에 따른 문장의 의미적 타당성 판단 과제에서 노년층의 ERP 성분 비교
송세영,오승하,경정숙,성지은 한국언어청각임상학회 2022 Communication Sciences and Disorders Vol.27 No.1
배경 및 목적: 본 연구는 신호대잡음비(SNR)에 따라 작업기억용량 그룹 간 사건관련전위(ERP)의 평균 진폭을 비교하여 노년층의 청각 처리에서 SNR 및 작업기억용량이 미치는 영향을 살펴보고자 한다. 방법: 정상 청력을 가진 26명의 노년층 대상자를 작업기억 검사에 따라 ‘작업기억 높음’ 그룹(N=13)과 ‘작업기억 낮음’ 그룹(N=13)으로 집단을 나누었다. 문장의 의미적 타당성 판단 과제에서 오프라인 방식으로 정반응률과 반응시간을 측정하였으며, 온라인 방식으로 뇌전도를 측정하였다. 실험 자극은 의미적으로 ‘타당함-타당하지 않음’ 문장 쌍이 사용되었으며, 서술어 부분에 -5, 0, 5 dB SNR의 백색 소음이 추가되었다. 결과: 행동 분석에서는 SNR 간의 차이가 유의하였다. -5 dB SNR의 소음 조건이 가장 청취 노력이 컸으며 청각 처리에 유의미하게 관여하는 변인이 소음임을 나타낸다. ERP 분석에서 ‘작업기억 높음’ 집단의 평균 진폭 크기가 ‘작업기억 낮음’ 집단에 비하여 유의하게 컸으며, 평균 파형 그래프와 상호작용 그래프에서도 집단 간 N400 성분의 뚜렷한 차이가 확인된다. 논의 및 결론: 작업기억용량 그룹 간 차이는 청취 노력이 많이 들어가는 SNR 조건일수록 더 명료하게 나타났다. 언어 처리 과정에 소음이 개입하였을 때, ‘작업기억 높음’ 집단은 의미적 오류의 인지를 반영하는 N400 성분이 크게 나타났다. 반면, ‘작업기억 낮음’ 집단은 실시간으로 의미적 오류의 인지를 감지하는 정도가 작업기억용량이 높은 집단에 비해 약한 것으로 해석된다.