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채널이 모든 방향으로 산화막 절연된 수직 채널 구조의 단일 셀 메모리-로직 복합 소자(OIC-VFET) 및 집적공정
목찬수(Chansu Mok),이규훈(Gyuhoon Lee),박창준(Changjun Park),김수민(Soomin Kim),이예지(Yeji Lee),구호정(Hojung Goo),김현욱(Hyunwook Kim),김윤재(Yunjae Kim),김성준(Sungjun Kim),조성재(Seongjae Cho),백승재(Seungjae Baik),강명곤(Myounggon 대한전자공학회 2023 대한전자공학회 학술대회 Vol.2023 No.11