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진공펌프 조합에 의한 반도체공정 진공시스템 진공특성 전산모사
김형택,김대연,Kim, Hyung-Taek,Kim, Dae-Yeon 한국전기전자재료학회 2011 전기전자재료학회논문지 Vol.24 No.6
Effect of pump combinations on the vacuum characteristics of vacuum system was simulated for optimum design of system. In this investigation, the feasibility of modelling mechanism for VacSimMulti simulator was proposed. Simulation results of various pumping combinations showed the possibilities and reliabilities of simulation for the performance of vacuum system in specific semiconductor processing. Simulation of roughing pump presented the expected pumping behaviors based on commercial specifications of employed pumps. Application of booster pump exhibited the high pumping efficiency for middle vacuum range. Combinations of optimum backing pump for diffusion and turbo vacuum system were obtained. And, the predictable characteristics of process application of both simulated systems were also acquired.
김형택,정광필,Kim, Hyung-Taek,Jeong, Kwang-Pil 한국진공학회 2007 Applied Science and Convergence Technology Vol.16 No.6
진공시스템 최적화 설계를 위한 시스템 성능에 대한 설계인자 영향이 전산모사로 연구되었다. 본 연구로 상업화 전산모사기인 $VacSim^{Multi}$에 의한 진공시스템 모델링기구가 제시되었으며 진공시스템의 진공생성기구인 펌핑계 설계인자의 영향을 평가하여 향후 여러 설계인자들의 전산모사 연구 가능성이 확인되었다. $VacSim^{Multi}$의 저진공펌프 모델 전산모사 결과와 펌프사양에 의한 배기거동이 오차범위로 일치하였으며 부스터펌프의 사용이 중진공영역 응용에 효과적인 것으로 확인되었다. 또한 자체 배기능력이 없는 유확산펌프와 터보분자펌프 배기계의 최적화보조펌프 조합이 제시되었으며, 유확산 및 터보분자펌프 배기계의 시스템 공정응용특성도 확인되었다. Effect of design factors on the performance of vacuum system was simulated for optimum design of system. In this investigation, the feasibility of modelling mechanism for $VacSim^{Multi}$ simulator was proposed. Simulation results of pumping design factor showed the possibilities of simulation fore-study for the detailed design factors. Simulation of roughing pump presented the expected pumping behaviors based on the specifications of commercial pump. Application of booster pump exhibited the high pumping efficiency for middle vacuum range. Combinations of optimum backing pump for diffusion and turbo vacuum system were obtained. And, the characteristics of process application of both systems were also acquired.
기계적 Damage 활성화 효과에 대한 수소화 및 비수소화 비정질 규소 박막의 고상 결정화 거동
김형택,김영관,Kim, Hyeong-Taek,Kim, Yeong-Gwan 한국재료학회 1996 한국재료학회지 Vol.6 No.4
비정질 실리콘박막의 고상결정화 특성에 대한 비정질 박막의 증착방법, 수소화 정도, 표면결정 활성화 에너지 변화 및 열처리 환경 영향을 X선 회절, EDAX, Raman 분광 분석으로 조사하였다. 저온(58$0^{\circ}C$)열처리 corning 시료에서 기판 barium(Ba), aluminum(AI) 성분의 막내 확산 임계열처리시간 및 확산에 기인 한 불안정 결정화 특성을 관찰하였다. 화학기상증착 석영 수소화 시료에서 hard damage 기계적 활성화 효과로 얻어진 조대결정립 결정화 특성을 X선 회절의 (111) 배향 상대강도 변화로 관찰 할 수 있었으며, 이는 활성화 효과에 의한 고상 결정화 시 핵생성과 성장속도변화로 다결정 실리콘의 전기적물성 향상 가능성을 보여주었다. Soft damage, bare 활성화 처리 수소화막의 결정화는 비정질 상의 혼재, 박막 응력등의 저품위 입계특성 및 미세결정립 성장 특성으로 관찰되었으나, 활성화 전처리에 의한 저온 및 고온(875$^{\circ}C$)단시간(30분) 결정화는 확인 되었다. 스퍼터링 비수소화 막의 결정화는 상변태 상태의 Raman 결정피크로 분석 되었으며, 결정화 거동에 선행막의 스퍼터링 및 비수소화 영향은 활성화효과에 관계없이 불완전 저품위 결정특성으로 확인되었다. AFM 표면형상은 3차원 island 성막특성을 보여주었고 표면거칠기정도는 높은 것으로 관찰되었다.
석탄촤로부터 대체천연가스(SNG)를 얻기 위한 가스화 및 메탄화 반응 특성
김수현(Kim, Su-Hyun),김문현(Kim, Mun-Hyun),김나랑(Kim, Na-Rang),김형택(Kim, Hyung-Taek),유영돈(Yoo, Young-Don) 한국신재생에너지학회 2008 한국신재생에너지학회 학술대회논문집 Vol.2008 No.05
본 연구에서는 가스화 반응, 수성가스 전환 반응, 메탄화 반응 등으로 구성된 SNG제조 공정에 대한 해석을 통해, 석탄 촤의 가스화 반응에 의해 생성된 합성가스를 이용한SNG제조 공정 특성을 파악하고자 하였고, SNG제조 공정 중 가스화 공정에 대한 실험을 통해 가스화 공정의 조건에 따른 합성가스 발생 특성 및 메탄화 반응의 특성을 살펴보았다. 석탄 촤를 대상으로 하여 가스화 공정의 O₂/feed ratio와 steam/feed ratio 조건 변화에 따른 합성가스 발생 특성을 살펴본 결과 steam을 투입하지 않은 경우 발생되는 합성가스 중 CO의 농도는 55sim65%, H₂ 9sim11%, CO₂ 24sim29% 범위였고, O₂/feed ratio가 증가할수록 CO의 농도는 증가하고, H₂와 CO₂의 농도는 감소하는 경향을 나타내었다. 또한,steam을 투입하는 경우 합성가스 중 CO의 농도는 20sim37%, H₂ 16sim18%, CO₂ 42sim55% 범위였다. 메탄화 공정 해석 결과 메탄의 농도를 최대로 얻을 수 있는 조건은 H₂/CO 비가 3인 조건이었고 온도가 낮을 수록 생성농도가 높아짐을 알 수 있었다. 가스화 특성 실험 결과 및 공정해석 결과, 메탄화 반응에 대한 실험 및 공정해석 결과는 고체시료의 가스화 반응을 통해 발생한 합성가스를 이용한 SNG 제조 공정 특성 파악 및 SNG를 제조하기 위해 필요한 단위 공정에 대한 설계 자료 및 운전조건을 결정할 수 있는 주요 인자로 활용될 수 있을 것으로 판단된다.
기후변화협약에 대응하는 건물에너지 정책 현황 및 문제점 분석
김혜진(Kim, Hye-Jin),홍준(Hong, Jun),김혜원(Kim, Hye-Won),김형택(Kim, Hyung-Taek),김병선(Kim, Byung-Seon) 대한건축학회 2017 대한건축학회 학술발표대회 논문집 Vol.37 No.2
According to launching of Paris Climate Change Accord, Reduction targets of Korea in Business As Usual (BAU) scenarios are set at 37%. Building sectors, which account for about 30%, of Green House Gas emissions, have more room for reduction and lower cost than industrial sectors, so many countries are striving to conserve building energy reduction by supplying green buildings. Korea also induces energy efficiency improvement and energy savings via a diverse policy. However, it can not produce actual results for problems in the process of policy formulation and lack of knowledge of policy demanders. Therefore, government policy should be converted into direction leading to participation of an end user and architects in the process of establishment.
석탄, 석탄 촤, 바이오매스 등의 고체시료 가스화 반응을 통해 발생된 합성가스를 이용한 SNG 제조공정 연구
김수현(Kim, Su-Hyun),유영돈(Yoo, Young-Don),김문현(Kim, Mun-Hyun),김나랑(Kim, Na-Rang),김형택(Kim, Hyung-Taek) 한국신재생에너지학회 2007 한국신재생에너지학회 학술대회논문집 Vol.2007 No.06
본 연구에서는 가스화공정과 수성가스 전환공정, CO₂ 분리공정, 메탄화 공정을 주요 구성으로 한 대체(또는 합성)천연가스(SNG, Substitute or Synthetic Natural Gas)제조공정을 대상으로 석탄, 석탄 촤, 바이오매스 등의 다양한 고체시료를 적용하였을 경우 각 시료의 가스화 반응을 통해 얻어진 합성가스를 이용한 SNG 제조 공정 특성을 파악하고자 하였다. 석탄, 석탄 촤, 바이오매스를 적용한 SNG 공정해석 결과 가스화 공정, 수성가스 전환 공정, 메탄화 공정의 운전 용도가 각 800도, 450도, 300도이고, 수성가스 전환 공정 출구의 합성가스 H₂/CO ratio(mol basis)가 3인 조건에서 SNG/Feed ratio는 석탄, 석탄 촤, 바이오매스가 각각 0.35, 0.34, 0.08로 나타났고. SNG Efficiency(%) 는석탄, 석탄 촤 바이오매스에 대해서 각각 61.2%. 48.2%, 17.5%로 나타났다. 또한, 석탄 촤를 대상으로 가스화 공정에서의 산화제 투입 조건 및 스팀 투입조건의 변화에 따른 합성가스 발생 특성을 살펴보았다.