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김형재(Hyoung-Jai Kim),구성수(Sung-Soo Koo),윤호열(Ho Yeol Yoon),최희선(Hee-Sun Choi),김정연(Jung-Yeon Kim),김진솔(Jin-Sol Kim),김지현(Ji-Hyun Kim),권유리(Yu-Ri Kwon) 한국산학기술학회 2014 한국산학기술학회 학술대회 Vol.- No.-
본 연구는 지속적이고 유아교육현장에 적용 가능한 5세 유아용 창의성 프로그램을 개발하고자 생활 주제에 적절한 애니메이션을 선정한 후 동극, 게임, 미술, 요리, 과학영역, 수‧조작영역 등 다양한 활동 유형‧영역으로 구성된 창의성 프로그램을 개발하고자 한다. 본 창의성 프로그램 모형과 활동을 개발한 절차는 창의성 프로그램 개발의 필요성 진단, 창의성 프로그램의 기본방향 설정, 디즈니 애니메이션 선정, 창의성 프로그램 시안 구성 및 개발, 창의성 프로그램 모형 및 활동안 타당성 검증, 최종 창의성 프로그램 완성의 총 6 단계를 거쳤다. 이에 디즈니 애니메이션을 활용한 창의성 프로그램 수업 모형은 도입-전개-마무리 및 발전으로 애니메이션 동화 소개, 애니메이션 동화 듣기, 애니메이션 동화 속 상 황 탐구하기, 문제해결 방안 탐색하기, 다양한 활동으로 확장하기의 5단계를 거치며, 활동은 총 40개가 개발되었다.
예비유아교사의 창의·인성 증진을 위한 「창의·인성교육의 이론과 실제」강좌 개발
김형재(Hyoung-Jai Kim),구성수(Sung-Soo Koo),김형숙(Hyung-Sook Kim),김경숙(Kyoung-Suk Kim),김정빈(Jeong-Bien Kim),허수윤(Su-Yun Heo) 한국산학기술학회 2014 한국산학기술학회 학술대회 Vol.2014 No.2
본 연구에서는 예비유아교사들의 창의․인성을 증진시키고자 「창의․인성교육의 이론과 실제」강좌를 개발하고자 하였다. 본 「창의․인성교육의 이론과 실제」강좌를 개발한 절차는 창의·인성교육 강좌 개발의 필요성 진단, 창의·인성교육의 기본방향 설정, 팀티칭 교수학방법 적용, 「창의․인성교육의 이론과 실제」강좌 시안 구성 및 개발, 최종 「창의․인성교육의 이론과 실제」강좌 완성의 총 5단계를 거쳤다. 이에 「창의․인성교육의 이론과 실제」강좌의 교육과정은 총 3시간씩 10주로 구성되었으며, 각 전문가별 활동은 총 8개가 개발되었다.
김형재(Hyoungjae Kim),김성호(Seongho Kim),김대업(Daeup Kim) 한국자동차공학회 2001 한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집 Vol.2001 No.11_2
The requirement of materials is being changed according to change of design for automotive instrument panel. Passenger air bag is being changed from visible type to invisible type. And users are demanding more soft feel of skin materials of instrument panel. The vacuum forming process is used in the preparation of an instrument panel by PVC/ABS. Currently most of the instrument panels are formed by powder slush molding by PVC. Previous materials -PVC/ABS. PVC- don't meet these requirements. TPU (Thermoplastic Urethane) was developed for satisfying user demand in interior mm. The comparative evaluation of TPU and other materials shows that TPU can reduce production weight, meet requirement of deploy test at low temperature. and pass perfectly heat aging test. Besides, it is recyclable. It is concluded that TPU can be applied to the invisible passenger air bag system.
명화를 활용한 스토리텔링 인성교육 프로그램이 예비유아교사의 인성 및 창의적 인성에 미치는 영향
김형재 ( Kim Hyoung Jai ),현혜정 ( Hyun Hye Joung ),이순애 ( Lee Soon Ae ) 미래유아교육학회 2017 미래유아교육학회지 Vol.24 No.3
본 연구에서는 명화를 활용한 스토리텔링 인성교육 프로그램이 예비유아교사의 인성 및 창의적 인성에 미치는 영향을 검증해 보고자 하였다. 본 프로그램의 수업 절차는 스토리텔링에 대한 이해, 명화작품 감상 및 스토리텔링하기, 명화 재구성에 대한 주제 선정 및 아이디어 구상하기, 스토리텔링을 적용하여 명화 작품 제작하기, 명화 작품 소개 및 감상하기의 단계를 거쳤으며, 명화를 활용한 스토리텔링 인성교육 프로그램 활동은 총 8개가 개발되었다. 본 프로그램의 효과검증을 위한 연구대상은 U대학교의 2학년 유아교육과 20명(실험집단), D대학교의 유아교육과 2학년 20명(비교집단)으로 총 40명이었다. 검사도구로는 인성측정은 전재선(2011)에 의해 개발된 인성 자기평가도구를 사용하였고, 창의적 인성측정은 하주현·한윤영·유경재(2012)에 의해 개발된 KEDI 교사용 창의적 인성 평정체크리스트를 사용하였다. 연구결과, 첫째, 명화를 활용한 스토리텔링 인성교육 프로그램은 예비유아교사의 인성에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 나타났다. 둘째, 명화를 활용한 스토리텔링 인성교육 프로그램은 예비유아교사의 창의적 인성에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 나타났다. The purpose of this study was to examine the effects of personality education program based on storytelling using famous picture on the personality and creative personality of pre-kindergarten teachers. The classroom process of this program was to understand the storytelling, appreciation and storytelling of famous picture, selecting a theme for reconstruction of the famous picture and making ideas, creating a famous picture using storytelling, introducing and appreciating famous picture. A total of eight activities were developed for literacy based personality education program based on famous picture using storytelling. In order to verify the effectiveness of the program, the subjects of the study were 20 students in the 2nd grade and 20 students in the second grade and 20 students in the second grade. As a test tool, the personality self-assessment tool developed by Koo & Yu (2000) was used to measure personality, and the personality self-assessment tool developed by Koo & Yu (2000) was used to measure creative personality. The results of this study were as follows: First, it was shown that the personality education program based on storytelling using famous picture has a positive effect on the personality of the pre-kindergarten teachers. Second, it was shown that the personality education program based on storytelling using famous picture has a positive effect on the creative personality of pre-kindergarten teachers.
[정밀가공 부문] 10 nm급 반도체 디바이스구현을 위한 CMP기술
김형재(Hyoungjae Kim) Korean Society for Precision Engineering 2021 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 Vol.2021 No.11월
현재의 추세로 디지털세상이 발전한다면 사물인터넷(Internet of Things)의 증가, 모바일 기기의 발달 그리고 기기간의 연결(Connected Devices) 가속화로 2025년에는 매일 약 4.6억 Tb의 데이터가 생성될 것으로 예측되며, 이러한 데이터 기반 사회의 뿌리에는 끊임없이 진화하는 반도체 디바이스의 제조기술 발전이 뒷받침 하고 있다. 역사적으로 오랜 기간 동안 광학부품의 초정밀 연마기술이었던 화학기계적연마(Chemical Mechanical Polishing, CMP)공정은 1983년 IBM에서 반도체 소자의 단차 극복을 위해 최초로 반도체 공정에 적용되었다. 이후 매년 지수적인 집적도 증가(Moore’s Law)에 맞추어 최소선폭은 감소하고, 이러한 기술적 장벽에 대응하기 위해 CMP는 연마라는 본질적인 기술바탕 위에 완전히 새로운 기술적 요구를 가진 평탄화(Chemical Mechanical Planarization)라는 기술 특성을 끊임없이 발전시켜 왔다. 최초 절연막 평탄화 공정에서 시작하여 공정적인 측면에서는 수직배선, 수평배선, 소자분리, 고단차 극복 등의 공정으로 확대되었으며, 이러한 공정을 구현하기 위하여 배선영역에서의 디싱(Dishing)결함, 고밀도 영역에서의 에로젼(Erosion) 결함, 위치별 패턴밀도 차이에 의해 발생하는 평탄도 오차, 10x nm급의 소자에서 발생하는 나노토포그라피 기인 평탄도 오차 등을 극복하기 위하여 가공종점 검출기술과 슬러리 성능의 고도화, 패드의 물성변화, 장비의 발전, 공정조건의 다변화라는 기술적 발전을 이루어 왔다. 다른 한편으로, 재료적인 측면에서 실리콘산화막, 질화실리콘, a-Si, Low-k 및 High-k산화막, 알루미늄, 구리, 텅스텐, Ta, TaN, Ti, TiN, 코발트, 루테늄, 폴리머 등으로 연마대상물질이 다양화 되었다. 이러한 재료의 다양화와 여러 재료가 동시에 드러나면서 연마가 이루어지는 복합적인 상황은 상대적으로 개발주기가 긴 패드에 기술변화를 부여하기 보다 패드변수를 고정하고 화학적 제어의 범위가 크고 다양한 접근이 가능한 슬러리에서의 기술 변화를 더욱 가속화 시켰다. 연마재 측면에서는 퓸드 및 콜로이달 실리카, 폴리머 연마재, 표면 모폴로지 제어입자, 콜로이달 세륨옥사이드, 망간옥사이드 등의 다양한 입자가 평가되고 적용되었으며, 용액측면에서는 pH제어제, 계면활성제, 산화제, 촉매, 착화제, 킬레이트제 등의 다변화를 불러왔다. 또한 웨이퍼 단위로 진행되는 공정 특성상 웨이퍼전면에서의 연마균일도확보(WIWNU)와 가장자리 영역(Edge Exclusion)에서의 수율증가를 위하여 10구역이 넘는 멤브레인 압력 제어시스템과 리테이너링 구조의 발달, 그리고 이들과 웨이퍼 압력프로파일 실시간 제어를 위한 웨이퍼 표면 모니터링 기술의 발전을 가속화 시켜 분당 100미터가 넘는 속도로 100 μm수준의 굴곡을 가진 패드위를 달리는 물리적 외란 조건하에서 웨이퍼 표면 박막에서 일어나는 단 수십개의 원자층 변화도 감지할 수 있기에 이르렀다. 마지막으로 소자의 크기가 10x nm급에서 10 nm 이하 영역으로 미세화되면서 소자가 작아지는 만큼 킬러결함의 상대적 비율도 증가하게 되었으며, 연마재로 연마함에도 불구하고 스크래치를 남기지 않도록 입자 크기제어, 반응 생성층의 형성과 제거의 평형상태 유지해야 하며, 연마후 잔류 연마입자를 남기지 않기 위해 연마 후 초청정 세정(Post CMP Cleaning)기술은 CMP기술 분야에서 어느 때 보다 중요한 핵심기술로 자리매김 하고 있다.