http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
$BCl_3/Cl_2/Ar$ 고밀도 플라즈마에 의한 $(Ba, Sr)TiO_3$ 박막의 식각 메커니즘 연구
김승범,김창일,Kim, Seung-Bum,Kim, Chang-Il 대한전자공학회 2000 電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices) Vol.37 No.11
(Ba,Sr)$TiO_3$ 박막은 ULSI-DRAM 즉 1-4 Gbit급 DRAM용 셀(cell) 커패시터의 새로운 유전물질로 각광받고 있다. 본 연구에서는 ICP 장비에서 $BCl_3/Cl_2/Ar$ 플라즈마로 (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막을 식각하였다. 이때 RF power/dc bias voltage는 600W/-250V, 반응로의 압력은 10mTorr 이었다. $Cl_2/(Cl_2+Ar)$은 0.2로 고정하였고, $BCl_3$ 가스를 첨가하면서 (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막을 식각하였다. $BCl_3$ 가스를 10% 첨가하였을 때, $480{\AA}/min$으로 (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막은 가장 높은 식각 속도를 나타내었다. $Cl_2/Ar$가스에 $BCl_3$의 첨가 비에 따른 Cl, BCl 및 B의 라디칼 밀도를 optical emission spectroscopy(OES)에 의해 구하였다. $BCl_3$를 10% 첨가하였을 때 Cl의 라디칼 밀도가 가장 높았다. (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막의 표면반응을 규명하기 위하여 XPS 분석을 수행한 결과 이온 bombardment 식각이 Ba-O 결합을 파괴하고 Ba와 Cl의 결합형태인 $BaCl_2$을 제거하기 위하여 필요하다. Sr과 Cl의 결합의 양은 많지 않고, Sr은 주로 물리적인 스퍼터링에 의하여 제거된다. Ti와 Cl은 화학적으로 반응하여 $TiCl_4$ 결합형태로 용이하게 제거된다. 식각후 단면사진을 SEM을 통해 본 결과 식각단면이 약 65~70$^{\circ}$ 정도였다. (Ba,Sr)$TiO_3$ thin films have attracted great interest as new dielectric materials of capacitors for ultra-large-scale integrated dynamic random access memories (ULSI-DRAMs) such as 1 Gbit or 4 Gbit. In this study, inductively coupled $BCl_3/Cl_2/Ar$ plasmas was used to etch (Ba,Sr)$TiO_3$ thin films. RF power/dc bias voltage=600 W/-250 V and chamber pressure was 10 mTorr. The $Cl_2/(Cl_2+Ar)$ was fixed at 0.2 the (Ba,Sr)$TiO_3$ thin films were etched adding $BCl_3$. The highest (Ba,Sr)$TiO_3$ etch rate is $480{\AA}/min$ at 10 % $BCl_3$ to $Cl_2/Ar$. The change of Cl, B radical density measured by optical emission spectroscopy(OES) as a function of $BCl_3$ percentage in $Cl_2/Ar$. The highest Cl radical density was shown at the addition of 10% $BCl_3$ to $Cl_2/Ar$. To study on the surface reaction of (Ba, Sr)$TiO_3$ thin films was investigated by XPS analysis. Ion bombardment etching is necessary to break Ba-O bond and to remove $BaCl_2$. There is a little chemical reaction between Sr and Cl, but Sr is removed by physical sputtering. There is a chemical reaction between Ti and Cl, and $TiCl_4$ is removed with ease. The cross-sectional of (Ba,Sr)$TiO_3$ thin film was investigated by scanning electron microscopy (SEM), the etch slope is about 65~70$^{\circ}$.
김승범 ( Seung-bum Kim ),전인오 ( In-oh Jeon ),양해술 ( Hae-sool Yang ) 한국정보처리학회 2008 한국정보처리학회 학술대회논문집 Vol.15 No.2
국방 정보의 실시간 공유와 변화관리를 위해 자원관리분야 정보화사업 초기에 선행 사업으로 모든 국방정보화사업의 모체가 되었어야할 조직 및 정원관리체계를 이제야 그 중대함을 인식하여 소요제기 전력화 단계에서 분석과 설계, 시험 및 평가를 통해 전략적 변화관리와 SO 및 e-Business에 맞는 시스템을 구축하는 방향을 제시하고자 한다.
김승범(Kim, Seung-Bum) 대한건축학회 2013 대한건축학회논문집 Vol.29 No.10
The purpose of this study was to examine social interaction in the production process of ‘Ground Zero’, rebuilding of World Trade Center site in New York. By tracing the progress of the major selected foci, the actors including human and non-human elements were structurally clarified with network diagrams based on Actor-Network Theory. Social interaction was found generally on the relationships not only among the human actors like ordering organizations, architects, pressure group, and the public but also among non-human actors like political position, economic situation, public opinion, right boundaries for the development, etc. By considering whole production progress not as negotiation between humans but as social interaction between human and non-human elements, relationship which had not been found beforehand could be rediscovered. At the same time, considering the actors as active elements which can be changable leads participants of the project to the new point of view which can change the background and conditions of the project.
헬리콥터 초기 설계 모델에 대한 민감도 분석 및 매개변수 연구
김승범(Seung Bum Kim),최종수(Jong Soo Choi) 한국항공우주학회 2015 韓國航空宇宙學會誌 Vol.43 No.4
본 논문은 헬리콥터 초기 설계를 위해 수정된 추정식을 적용한 헬리콥터 초기 설계 모델 정립 연구의 응용에 대한 내용으로 헬리콥터 초기 설계의 효율성을 제고하고 개선하고자 하였다. 헬리콥터 설계 시 중량계수 영향성을 확인하고 적정한 중량계수 적용방법을 제시하였으며, 중량계수 및 회전면 하중, 블레이드 개수, 블레이드 종횡비와 같은 주요 매개변수에 대한 민감도 분석과 연관관계에 대해 고찰하였다. 연구 결과, 설계 시 변수에 대한 연관관계 및 민감도의 양을 고려하여 설계 할 헬기 특성을 최적화해야하며, 주요 매개변수들 사이에는 복합적인 연관관계가 존재하므로 설계 시 설계자는 설계 인자들에 대한 신중한 고려가 필요한 것으로 분석되었다. This paper is the study on the establishment of design model to improve design efficiency using modified weight estimation equation on the initial design stage for development of a helicopter. The methodology to extract coefficients of the weight estimation equation was proposed through the influence investigation for the weight of components and the parameter study and sensitivity analysis for design variables such as the rotor disk loading, the number of blade and the aspect ratio of blade were also performed. As a result of study, the relation of parameters and degree of sensitivity of parameters on helicopter design are considerable points for optimization of helicopter characteristics, and it is necessary for designer to consider the complex relation of main parameters.