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3차원센서를 이용한 반도체 Wire Bonding 측정/검사 장비 개발
구영모(Young Mo Koo),허종욱(Chong wook Heo) 한국지능시스템학회 2009 한국지능시스템학회 학술발표 논문집 Vol.19 No.1
백색광간섭계 ( White Light Scanning Interferometry : WSI ) 를 사용한 비접촉식 반도체 Wire Bonding 측정/검사 장비를 개발하였다. 평면표시장치(FPD), 반도체, MEMS 등의 분야에서 패턴 관찰시 nano급 3차원 측정기가 요구되고 있어 이에 대한 유용한 대응 방법이 될 수 있다. 또한, 터렛을 사용하여 다양한 배율변경에 유연하게 대응할 수 있도록 하였다. 개발된 장비의 성능을 확인하기 위한 측정 시스템 분석 실험을 하였으며 이에 따른 반복성(Repeatability)과 재현성(Reproducibility)시험 결과를 제시한다.
구영모(Young Mo Koo),황만수(Hwang Mansoo) 한국지능시스템학회 2009 한국지능시스템학회논문지 Vol.19 No.2
Mobile용 TFT-LCD는 근거리에서, 세밀한 관찰 작업용으로 사용되는 경우가 많아 높은 수준의 품질관리가 요구되고 있으나, 높은 휘도값, 큰 휘도편차, 높은 검사 정밀도 등의 특징을 가지고 있어 동일한 검사기준을 적용하여도 작업자 혹은 제조라인에 따라 판단의 차이가 있으며 정량적인 품질관리가 어렵다. 또한, 다품종 대량생산 추세에 따라 검사 속도, 작업자의 피로도, 검사 시야의 한계 등 육안검사의 문제점이 대두되고 있다. 본 논문은 Mobile용 TFT-LCD 화면의 품질관리 및 검사기준과 통일한 기준에 의거하여 현장에 적용하기 쉬운 탁상형의 Mobile용 TFT-LCD 화면 검사 장비를 개발하였다. 그리고 개발된 장비를 사용한 실험에서, 육안검사에 비하여 개선된 결과를 기반으로 안정적이고 수치화된 Mobile용 TFT-LCD 화면 품질 검사의 표준화 가능성을 제시한다. High level quality control is required for mobile TFT-LCD modules which are frequently used for fine observation. However, quantitative quality control is difficult. Defect inspection using naked eyes makes irregular inspection results. This paper developed desk type defect inspection equipment for mobile TFT-LCD modules using the same inspection criterion with that of naked eyes. From experiments using this equipments, possibilities of standardization in defect inspection equipment for mobile TFT-LCD modules are presented.
구영모(Young Mo Koo) 대한전기학회 2021 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2021 No.10
제조 현장에서 보다 많은 정보를 획득하여 그에 대응하는 적절한 조치를 진행하기 위해 다양한 방법들이 시도되고 있으며 그 중 대표적인 방안이 사물인터넷을 적용한 제조현장 정보의 인터넷 접근성 확보 방안이다. 제조 현장의 정보가 인터넷에 연결되면 제조 현장을 더 똑똑하게 만들 수 있고, 더 똑똑할수록 효율성이 높아져서 좋은 결과를 낼 수 있다. 사물인터넷은 세 가지 분산된 환경 요소인 인간, 사물 그리고 서비스에 대해서 인간이 직접적으로 개입하지 않고 상호 협력을 통한 센싱(Sensing), 데이터 처리(Data processing), 네트워킹(Networking) 등 지능적 관계를 형성하는 사물 공간 연결 네트워크라 할 수 있다[1]. 이를 위해 제조현장에 고가의 대형 장비가 설치되어야 하는 것은 아니므로, 중소제조현장에 사물인터넷을 응용하기 위한 시도를 사례와 함께 고찰한다. 사물 인터넷을 가능하게 하는 인터넷 접속과 센싱 도구의 예를 제시하도록 한다.